CN218486766U - 一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，涉及等离子体清洗的技术领域，包括等离子体清洗机本体，等离子体清洗机本体的内部设置有清洗室，等离子体清洗机本体的下表面均匀固定连接有万向轮，等离子体清洗机本体的下表面开设有进风口，进风口与清洗室相连通，等离子体清洗机本体的底部卡接有第一安装头，使用时，将需要清洗的芯片等半导体组件放入清洗室的内部，启动风机通过排尘管与漏斗吸尘口配合，将清洗室内部带有微粒的空气向外抽，从而尽量避免在对芯片等半导体组件进行清洗时，出现超出无尘车间微尘规格的颗粒沾附在制作半导体组件的芯片上，影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路严重后果的情况。

Description

一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置

技术领域

本申请涉及等离子体清洗的技术领域，尤其是涉及一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置。

背景技术

等离子体是物质的一种状态，也叫物质的第四态，它是通过对气体施加足够的能量使之离化而成的。等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。

公告号为CN213887438U的实用新型专利公开了一种等离子体清洗装置，包括箱体与两个等离子发生器，箱门装配有控制面板，两个等离子发生器分别装配在箱体左右两侧，箱门上侧装配有电机，转轴下侧固定连接有与箱体下侧内壁转动连接的支撑柱，转盘绕转轴环形均匀转动装配有转杆，箱体上侧内壁设有与四个齿轮相啮合的齿圈，四个转杆下端均穿过固定杆装配有夹紧机构，控制面板电源输出端与电机电源输入端电连接，本装置可将待清洗物悬挂在箱体内，在清洗过程中，使清洗物在箱体内绕支撑柱公转，且在公转的同时待清洗物自转，并通过箱体两侧的等离子清洗物对待清洗物进行清理，可对待清洗物四周进行清理，不用人工对待清洗物翻面。

上述技术方案在使用时，将待清洗物悬挂在箱体内，通过箱体两侧的等离子清洗物对待清洗物进行清理，但是箱体的内部可能会有粒子大小5um和0.5um数值远远超出无尘车间微尘规格的颗粒，微尘颗粒沾附在制作半导体组件的芯片上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路的严重后果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，旨在能够有效的解决现有技术中将待清洗物悬挂在箱体内，通过箱体两侧的等离子清洗物对待清洗物进行清理，但是箱体的内部可能会有粒子大小数值远远超出无尘车间微尘规格的颗粒，微尘颗粒沾附在制作半导体组件的芯片上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路的严重后果的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，包括等离子体清洗机本体，所述等离子体清洗机本体的内部设置有清洗室，所述等离子体清洗机本体的下表面均匀固定连接有万向轮，所述等离子体清洗机本体的下表面开设有进风口，所述进风口与所述清洗室相连通，所述等离子体清洗机本体的底部卡接有第一安装头，所述第一安装头位于所述进风口的内部，所述第一安装头的内部放置有过滤片，所述过滤片的上表面设置有限位机构，所述限位机构的外壁与所述第一安装头的内壁相卡接，所述等离子体清洗机本体的内部开设有置物槽，所述等离子体清洗机本体的内部设置有位于所述置物槽内部的排尘管，所述排尘管上均匀固定连接有漏斗吸尘口，所述漏斗吸尘口远离所述排尘管的一端与所述清洗室的内部相连通，所述排尘管的底端设置有风机，所述等离子体清洗机本体的底部卡接有第二安装头，所述第二安装头位于所述风机的底部，所述风机和所述第二安装头均位于所述置物槽的内部，使用时，将需要清洗的芯片等半导体组件放入清洗室的内部，启动风机通过排尘管与漏斗吸尘口配合，将清洗室内部带有微粒的空气向外抽，从而尽量避免在对芯片等半导体组件进行清洗时，出现超出无尘车间微尘规格的颗粒沾附在制作半导体组件的芯片上，影响到其上精密导线布局的样式的情况。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一安装头与所述第二安装头的结构相同，所述第一安装头包括位于所述进风口内部的安装环，所述安装环的下表面固定连接有弧形拆卸柄，所述安装环的两侧对称设置有卡机构，所述卡机构远离所述安装环的一端与所述等离子体清洗机本体的内部相卡接，所述安装环的内壁固定连接有隔离网，所述过滤片位于所述隔离网的上表面。

作为本实用新型的一种优选方案，所述风机的上表面抵接有防护圈，所述防护圈远离所述风机的一侧与所述排尘管相抵接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述等离子体清洗机本体的两侧对称固定连接有安装板，所述安装板上对称螺纹连接有限位支撑机构。

作为本实用新型的一种优选方案，所述限位机构包括位于所述过滤片上表面的环形部，所述环形部的外壁固定连接有弧形凸出部，所述弧形凸出部远离所述环形部的一侧与所述安装环的内壁相卡接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述卡机构包括位于所述安装环内部的弹簧，所述弹簧远离所述安装环的一端固定连接有弧形卡块，所述弧形卡块远离所述弹簧的一端与所述等离子体清洗机本体的内部相卡接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述限位支撑机构包括与所述安装板螺纹连接的螺纹杆，所述螺纹杆的下表面固定连接有支撑脚，所述支撑脚的下表面固定连接有防滑垫。

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

(1)本申请设置的清洗室的内部用来放置需要清洗的芯片等半导体组件，进风口使等离子体清洗机本体外部的气体能够进入清洗室的内部，第一安装头的通过与限位机构配合，能够限制过滤片的安装位置，过滤片能够对进入清洗室内部的气体进行一定的过滤，排尘管通过漏斗吸尘口与清洗室内部相连通，在风机启动时能够将清洗室内部带有微粒的空气向外抽，从而尽量避免在对芯片等半导体组件进行清洗时，出现超出无尘车间微尘规格的颗粒沾附在制作半导体组件的芯片上，影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路严重后果的情况，第二安装头能够限制风机的安装位置。

(2)本申请设置的弧形拆卸柄能够便于安装环进行拆卸和安装，卡机构能够限制安装环的安装位置，隔离网能够限制过滤片的安装位置，弹簧在弧形卡块受到挤压时能够进行收缩，弧形卡块收进安装环内后，能够便于安装环进行拆卸，环形部能够限制过滤片的安装位置，弧形凸出部能够限制环形部在安装环内部的安装位置。

(3)本申请设置的安装板能够限制限位支撑机构的安装位置，限位支撑机构能够根据需要进行调节，在限位支撑机构下移时能够与地面接触，从而能够对等离子体清洗机本体起到一定的支撑作用，同时限制等离子体清洗机本体的位置，螺纹杆能够根据需要进行转动，从而对支撑脚的位置进行调节，设置的支撑脚能够在下移后对等离子体清洗机本体起到一定的支撑作用，防滑垫能够增大支撑脚与地面之间的摩擦力。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的局部剖视结构示意图；

图3为本实用新型图2中的A处结构放大示意图；

图4为本实用新型图2中的B处结构放大示意图。

图中标号说明：

1、等离子体清洗机本体；2、清洗室；3、限位支撑机构；301、螺纹杆；302、支撑脚；303、防滑垫；4、万向轮；5、进风口；6、第一安装头；601、安装环；602、弧形拆卸柄；603、卡机构；6031、弹簧；6032、弧形卡块；604、隔离网；7、过滤片；8、限位机构；801、环形部；802、弧形凸出部；9、置物槽；10、排尘管；11、漏斗吸尘口；12、风机；13、第二安装头；14、防护圈；15、安装板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

请参阅图1-4，一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，包括等离子体清洗机本体1，等离子体清洗机本体1的内部设置有清洗室2，等离子体清洗机本体1的下表面均匀固定连接有万向轮4，等离子体清洗机本体1的下表面开设有进风口5，进风口5与清洗室2相连通，等离子体清洗机本体1的底部卡接有第一安装头6，第一安装头6位于进风口5的内部，第一安装头6的内部放置有过滤片7，过滤片7的上表面设置有限位机构8，限位机构8的外壁与第一安装头6的内壁相卡接，等离子体清洗机本体1的内部开设有置物槽9，等离子体清洗机本体1的内部设置有位于置物槽9内部的排尘管10，排尘管10上均匀固定连接有漏斗吸尘口11，漏斗吸尘口11远离排尘管10的一端与清洗室2的内部相连通，排尘管10的底端设置有风机12，等离子体清洗机本体1的底部卡接有第二安装头13，第二安装头13位于风机12的底部，风机12和第二安装头13均位于置物槽9的内部。

本实施例中，本应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置中设置的清洗室2的内部用来放置需要清洗的芯片等半导体组件，万向轮4便于人员对等离子体清洗机本体1进行移动，进风口5使等离子体清洗机本体1外部的气体能够进入清洗室2的内部，第一安装头6的通过与限位机构8配合，能够限制过滤片7的安装位置，过滤片7能够对进入清洗室2内部的气体进行一定的过滤，尽量避免有影响芯片上精密导线布局的微粒进入清洗室2的内部，物槽9能够限制排尘管10的安装位置，排尘管10通过漏斗吸尘口11与清洗室2内部相连通，在风机12启动时能够将清洗室2内部带有微粒的空气向外抽，从而尽量避免在对芯片等半导体组件进行清洗时，出现超出无尘车间微尘规格的颗粒沾附在制作半导体组件的芯片上，影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路严重后果的情况，第二安装头13能够限制风机12的安装位置。

请参阅图1和图2，等离子体清洗机本体1的两侧对称固定连接有安装板15，安装板15上对称螺纹连接有限位支撑机构3。

本实施例中，安装板15能够限制限位支撑机构3的安装位置，设置的限位支撑机构3能够根据需要进行调节，在限位支撑机构3下移时能够与地面接触，从而能够对等离子体清洗机本体1起到一定的支撑作用，同时限制等离子体清洗机本体1的位置。

请参阅图1和图3，限位支撑机构3包括与安装板15螺纹连接的螺纹杆301，螺纹杆301的下表面固定连接有支撑脚302，支撑脚302的下表面固定连接有防滑垫303。

本实施例中，设置的螺纹杆301能够根据需要进行转动，从而对支撑脚302的位置进行调节，支撑脚302能够在下移后对等离子体清洗机本体1起到一定的支撑作用，防滑垫303能够增大支撑脚302与地面之间的摩擦力。

请参阅图2、图3和图4，第一安装头6与第二安装头13的结构相同，第一安装头6包括位于进风口5内部的安装环601，安装环601的下表面固定连接有弧形拆卸柄602，安装环601的两侧对称设置有卡机构603，卡机构603远离安装环601的一端与等离子体清洗机本体1的内部相卡接，安装环601的内壁固定连接有隔离网604，过滤片7位于隔离网604的上表面。

本实施例中，弧形拆卸柄602能够便于安装环601进行拆卸和安装，设置的卡机构603能够限制安装环601的安装位置，隔离网604能够限制过滤片7的安装位置。

请参阅图3，限位机构8包括位于过滤片7上表面的环形部801，环形部801的外壁固定连接有弧形凸出部802，弧形凸出部802远离环形部801的一侧与安装环601的内壁相卡接。

本实施例中，设置的环形部801能够限制过滤片7的安装位置，弧形凸出部802能够限制环形部801在安装环601内部的安装位置。

请参阅图3，卡机构603包括位于安装环601内部的弹簧6031，弹簧6031远离安装环601的一端固定连接有弧形卡块6032，弧形卡块6032远离弹簧6031的一端与等离子体清洗机本体1的内部相卡接。

本实施例中，弹簧6031在弧形卡块6032受到挤压时能够进行收缩，弧形卡块6032收进安装环601内后，能够便于安装环601进行拆卸。

请参阅图4，风机12的上表面抵接有防护圈14，防护圈14远离风机12的一侧与排尘管10相抵接。

本实施例中，设置的防护圈14为橡胶材质，能够起到一定的隔离防护作用，尽量避免风机12直接碰触排尘管10。

工作原理：

本实用新型，使用时，将需要清洗的芯片等半导体组件放入清洗室2的内部，进风口5内通过第一安装头6和限位机构8安装的过滤片7能够对进入清洗室2内部的气体进行一定的过滤，尽量避免有影响芯片上精密导线布局的微粒进入清洗室2的内部，启动风机12通过排尘管10与漏斗吸尘口11配合，将清洗室2内部带有微粒的空气向外抽，从而尽量避免在对芯片等半导体组件进行清洗时，出现超出无尘车间微尘规格的颗粒沾附在制作半导体组件的芯片上，影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路严重后果的情况。

以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，其特征在于，包括：

等离子体清洗机本体(1)，所述等离子体清洗机本体(1)的内部设置有清洗室(2)，所述等离子体清洗机本体(1)的下表面均匀固定连接有万向轮(4)，所述等离子体清洗机本体(1)的下表面开设有进风口(5)，所述进风口(5)与所述清洗室(2)相连通，所述等离子体清洗机本体(1)的底部卡接有第一安装头(6)，所述第一安装头(6)位于所述进风口(5)的内部，所述第一安装头(6)的内部放置有过滤片(7)，所述过滤片(7)的上表面设置有限位机构(8)，所述限位机构(8)的外壁与所述第一安装头(6)的内壁相卡接，所述等离子体清洗机本体(1)的内部开设有置物槽(9)，所述等离子体清洗机本体(1)的内部设置有位于所述置物槽(9)内部的排尘管(10)，所述排尘管(10)上均匀固定连接有漏斗吸尘口(11)，所述漏斗吸尘口(11)远离所述排尘管(10)的一端与所述清洗室(2)的内部相连通，所述排尘管(10)的底端设置有风机(12)，所述等离子体清洗机本体(1)的底部卡接有第二安装头(13)，所述第二安装头(13)位于所述风机(12)的底部，所述风机(12)和所述第二安装头(13)均位于所述置物槽(9)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，其特征在于：所述第一安装头(6)与所述第二安装头(13)的结构相同，所述第一安装头(6)包括位于所述进风口(5)内部的安装环(601)，所述安装环(601)的下表面固定连接有弧形拆卸柄(602)，所述安装环(601)的两侧对称设置有卡机构(603)，所述卡机构(603)远离所述安装环(601)的一端与所述等离子体清洗机本体(1)的内部相卡接，所述安装环(601)的内壁固定连接有隔离网(604)，所述过滤片(7)位于所述隔离网(604)的上表面。

3.根据权利要求1所述的一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，其特征在于：所述风机(12)的上表面抵接有防护圈(14)，所述防护圈(14)远离所述风机(12)的一侧与所述排尘管(10)相抵接。

4.根据权利要求1所述的一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，其特征在于：所述等离子体清洗机本体(1)的两侧对称固定连接有安装板(15)，所述安装板(15)上对称螺纹连接有限位支撑机构(3)。

5.根据权利要求2所述的一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，其特征在于：所述限位机构(8)包括位于所述过滤片(7)上表面的环形部(801)，所述环形部(801)的外壁固定连接有弧形凸出部(802)，所述弧形凸出部(802)远离所述环形部(801)的一侧与所述安装环(601)的内壁相卡接。

6.根据权利要求2所述的一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，其特征在于：所述卡机构(603)包括位于所述安装环(601)内部的弹簧(6031)，所述弹簧(6031)远离所述安装环(601)的一端固定连接有弧形卡块(6032)，所述弧形卡块(6032)远离所述弹簧(6031)的一端与所述等离子体清洗机本体(1)的内部相卡接。

7.根据权利要求4所述的一种应用于等离子体清洗机减少微尘的吸附装置，其特征在于：所述限位支撑机构(3)包括与所述安装板(15)螺纹连接的螺纹杆(301)，所述螺纹杆(301)的下表面固定连接有支撑脚(302)，所述支撑脚(302)的下表面固定连接有防滑垫(303)。

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