CN215696397U - 一种具有分级清理机构的集成电路检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，包括包括操作台，所述操作台上固定有立柱，所述立柱设置有两组，两组所述立柱之间设置有移动组件和固定组件，所述固定组件设置有完全相同的两组，所述移动组件上固定有第三电动推杆，所述第三电动推杆的输出端固定有清理组件，所述操作台上还设置有外壳，且所述立柱设置于外壳的内腔中，所述外壳上设置有除尘组件、进气组件和控制器，所述操作台上且位于外壳的一侧设置有检测器。本实用新型通过设置清理组件，便于对集成电路表面进行多重清理，从而使附着在集成电路上的灰尘快速进行脱离，防止灰尘对集成电路的检测结果产生影响。

Description

一种具有分级清理机构的集成电路检测设备

技术领域

本实用新型涉及集成电路加工辅助技术领域，具体为一种具有分级清理机构的集成电路检测设备。

背景技术

现有的集成电路是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。

集成电路在生产之后需要进行检测，由于在集成电路加工完成后，其表面会产生粘附的灰尘,从而使检测出现误差，因此集成电力检测之前需要进行清理，目前集成电路的清洗检测通常需要将清洗过的集成电路取出再进行检测，在此过程中，集成电路上又不可避免的混入杂质，集成电路的检测，从而使检测结果产生误差。因此我们需要提出一种具有分级清理机构的集成电路检测设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，具有清理、检测一体化等优点，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，包括包括操作台，所述操作台上固定有立柱，所述立柱设置有两组，两组所述立柱之间设置有移动组件和固定组件，所述固定组件设置有完全相同的两组，所述移动组件上固定有第三电动推杆，所述第三电动推杆的输出端固定有清理组件，所述操作台上还设置有外壳，且所述立柱设置于外壳的内腔中，所述外壳上设置有除尘组件、进气组件和控制器，所述操作台上且位于外壳的一侧设置有检测器，所述清理组件包括有第一清理组件和第二清理组件，所述第一清理组件包括有连接板和毛刷，所述连接板的一端固定于第三电动推杆的输出端，所述连接板远离第三电动推杆的一端开设有螺纹孔，所述毛刷上设置有螺栓，所述螺栓螺纹连接于螺纹孔呢，所述毛刷通过螺栓螺纹连接于连接板远第三电动推杆的一端。

优选的，所述进气组件包括有第一风机箱，所述第一风机箱的内部设置有第一风机，所述第一风机的进气口设置有第一进气管，所述第一进气管的一端贯穿第一风机箱的侧壁与外部相连通，所述第一风机的排气口设置有第一排气管，所述第一排气管贯穿第一风机箱和外壳的侧壁并延伸至外壳的内部。

优选的，第二清理组件包括有喷气管和固定板，所述喷气管的一端设置有喷气头，所述喷气管固定于固定板上，所述固定板固定于连接板上，所述喷气管以连接板为中心对称设置有完全相同的两组，两组所述喷气管均与第一排气管远离第一风机的一端相连通。

优选的，所述固定组件包括有第一电动推杆、固定块、第二电动推杆和压板，所述第一电动推杆固定于立柱上，所述固定块固定于第一电动推杆的输出端，所述第二电动推杆设置于固定块上，所述压板固定于第二电动推杆的输出端。

优选的，所述移动组件包括有驱动电机、导杆、丝杆和移动块，所述导杆和丝杆均设置于两组立柱之间，且所述导杆位于丝杆的上方，所述丝杆的一端贯穿立柱与驱动电机的输出端相连接，所述移动块设置于导杆和丝杆上，所述移动块与导杆滑动连接，所述移动块与丝杆螺纹连接，所述第三电动推杆固定于移动块的底部。

优选的，所述除尘组件包括有第二风机、第二风机箱，所述第二风机设置于第二风机箱的内部，所述第二风机的出风口设置有第二排气管，所述第二风机的进风口设置有第二进气管，所述第二进气管远离第二风机的一端贯穿第二风机箱和外壳的顶部并与外壳相连通。

优选的，所述第二进气管内设置有过滤框，所述过滤框的内部设置有过滤网，所述操作台的底部设置有支撑柱，所述控制器与除尘组件、进气组件、移动组件、固定组件、检测器和第三电动推杆均电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置清理组件，便于对集成电路表面进行多重清理，从而使附着在集成电路上的灰尘快速进行脱离，防止灰尘对集成电路的检测结果产生影响；

2、本实用新型通过设置过滤框，便于将过滤网从过滤框中拆除，对过滤网进行清洗或更换，提高了过滤网的使用寿命，也便于对过滤网进行更换，提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型毛刷的结构示意图；

图3为本实用新型过滤框的结构示意图。

图中：1、操作台；2、支撑柱；3、第一电动推杆；4、固定块；5、喷气管；6、固定板；7、压板；8、第二电动推杆；9、第一排气管；10、第一风机；11、第一进气管；12、第一风机箱；13、立柱；14、驱动电机；15、外壳；16、第二排气管；17、第二风机箱；18、第二风机；19、第二进气管；20、过滤框；21、移动块；22、导杆；23、丝杆；24、控制器；25、第三电动推杆；26、连接板；27、检测器；28、毛刷；29、螺栓；30、过滤网。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，包括包括操作台1，操作台1上固定有立柱13，立柱13设置有两组，两组立柱13之间设置有移动组件和固定组件，固定组件设置有完全相同的两组，移动组件上固定有第三电动推杆25，第三电动推杆25的输出端固定有清理组件，操作台1上还设置有外壳15，且立柱13设置于外壳15的内腔中，外壳15上设置有除尘组件、进气组件和控制器24，操作台1上且位于外壳15的一侧设置有检测器27，清理组件包括有第一清理组件和第二清理组件，第一清理组件包括有连接板26和毛刷28，连接板26的一端固定于第三电动推杆25的输出端，连接板26远离第三电动推杆25的一端开设有螺纹孔，毛刷28上设置有螺栓29，螺栓29螺纹连接于螺纹孔呢，毛刷28通过螺栓29螺纹连接于连接板26远第三电动推杆25的一端，设置螺栓29，便于对毛刷28进行更换处理，使得毛刷28在长时间使用后可以快速方便的进行更换，避免毛刷28在长时间使用后磨损而影响灰尘的清理，保证毛刷28对集成电路板表面的灰尘的清理脱离质量；

进气组件包括有第一风机箱12，第一风机箱12的内部设置有第一风机10，第一风机10的进气口设置有第一进气管11，第一进气管11的一端贯穿第一风机箱12的侧壁与外部相连通，第一风机10的排气口设置有第一排气管9，第一排气管9贯穿第一风机箱12和外壳15的侧壁并延伸至外壳15的内部，第一进气管11上也设置有过滤框20，从而防止外部空气中的杂物或灰尘进入外壳15内，对集成电路造成损坏和灰尘的二次污染；

第二清理组件包括有喷气管5和固定板6，喷气管5的一端设置有喷气头，喷气管5固定于固定板6上，固定板6固定于连接板26上，喷气管5以连接板26为中心对称设置有完全相同的两组，两组喷气管5均与第一排气管9远离第一风机10的一端相连通，设置喷气管5，便于对集成电路进行清理，通过高压气体对集成电路进行冲刷，避免有灰尘的残留；

固定组件包括有第一电动推杆3、固定块4、第二电动推杆8和压板7，第一电动推杆3固定于立柱13上，固定块4固定于第一电动推杆3的输出端，第二电动推杆8设置于固定块4上，压板7固定于第二电动推杆8的输出端，压板7的底部设置有粘接有橡胶垫，橡胶垫增加了压板7与集成电路之间的摩擦力，使得集成电路的固定更加稳定；

移动组件包括有驱动电机14、导杆22、丝杆23和移动块21，导杆22和丝杆23均设置于两组立柱13之间，且导杆22位于丝杆23的上方，丝杆23的一端贯穿立柱13与驱动电机14的输出端相连接，移动块21设置于导杆22和丝杆23上，移动块21与导杆22滑动连接，移动块21与丝杆23螺纹连接，第三电动推杆25固定于移动块21的底部，设置移动组件，便于对清理组件进行移动，从而使清理组件可以对集成电路的任意位置进行清理；

除尘组件包括有第二风机18、第二风机箱17，第二风机18设置于第二风机箱17的内部，第二风机18的出风口设置有第二排气管16，第二风机18的进风口设置有第二进气管19，第二进气管19远离第二风机18的一端贯穿第二风机箱17和外壳15的顶部并与外壳15相连通，将清理组件清理出来的灰尘，在进行过滤后排出，防止除尘装置排出的粉尘扩散对工作人员的身体产生危害，也防止了外壳15内存在灰尘，对集成电路造成二次污染；

第二进气管19内设置有过滤框20，过滤框20的内部设置有过滤网30，操作台1的底部设置有支撑柱2，控制器24与除尘组件、进气组件、移动组件、固定组件、检测器27和第三电动推杆25均电性连接，设置检测器27，便于对集成电路进行检测，检测器27设置在外壳15的外部，防止外壳15内清理组件在清理灰尘时，导致灰尘进入检测器27内，从而对检测器27造成污染，产生损坏。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)上固定有立柱(13)，所述立柱(13)设置有两组，两组所述立柱(13)之间设置有移动组件和固定组件，所述固定组件设置有完全相同的两组，所述移动组件上固定有第三电动推杆(25)，所述第三电动推杆(25)的输出端固定有清理组件，所述操作台(1)上还设置有外壳(15)，且所述立柱(13)设置于外壳(15)的内腔中，所述外壳(15)上设置有除尘组件、进气组件和控制器(24)，所述操作台(1)上且位于外壳(15)的一侧设置有检测器(27)，所述清理组件包括有第一清理组件和第二清理组件，所述第一清理组件包括有连接板(26)和毛刷(28)，所述连接板(26)的一端固定于第三电动推杆(25)的输出端，所述连接板(26)远离第三电动推杆(25)的一端开设有螺纹孔，所述毛刷(28)上设置有螺栓(29)，所述螺栓(29)螺纹连接于螺纹孔呢，所述毛刷(28)通过螺栓(29)螺纹连接于连接板(26)远离第三电动推杆(25)的一端。

2.根据权利要求1所述的一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，其特征在于：所述进气组件包括有第一风机箱(12)，所述第一风机箱(12)的内部设置有第一风机(10)，所述第一风机(10)的进气口设置有第一进气管(11)，所述第一进气管(11)的一端贯穿第一风机箱(12)的侧壁与外部相连通，所述第一风机(10)的排气口设置有第一排气管(9)，所述第一排气管(9)贯穿第一风机箱(12)和外壳(15)的侧壁并延伸至外壳(15)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，其特征在于：所述第二清理组件包括有喷气管(5)和固定板(6)，所述喷气管(5)的一端设置有喷气头，所述喷气管(5)固定于固定板(6)上，所述固定板(6)固定于连接板(26)上，所述喷气管(5)以连接板(26)为中心对称设置有完全相同的两组，两组所述喷气管(5)均与第一排气管(9)远离第一风机(10)的一端相连通。

4.根据权利要求3所述的一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，其特征在于：所述固定组件包括有第一电动推杆(3)、固定块(4)、第二电动推杆(8)和压板(7)，所述第一电动推杆(3)固定于立柱(13)上，所述固定块(4)固定于第一电动推杆(3) 的输出端，所述第二电动推杆(8)设置于固定块(4)上，所述压板(7)固定于第二电动推杆(8)的输出端。

5.根据权利要求4所述的一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，其特征在于：所述移动组件包括有驱动电机(14)、导杆(22)、丝杆(23)和移动块(21)，所述导杆(22)和丝杆(23)均设置于两组立柱(13)之间，且所述导杆(22)位于丝杆(23)的上方，所述丝杆(23)的一端贯穿立柱(13)与驱动电机(14)的输出端相连接，所述移动块(21)设置于导杆(22)和丝杆(23)上，所述移动块(21)与导杆(22)滑动连接，所述移动块(21)与丝杆(23)螺纹连接，所述第三电动推杆(25)固定于移动块(21)的底部。

6.根据权利要求5所述的一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，其特征在于：所述除尘组件包括有第二风机(18)、第二风机箱(17)，所述第二风机(18)设置于第二风机箱(17)的内部，所述第二风机(18)的出风口设置有第二排气管(16)，所述第二风机(18)的进风口设置有第二进气管(19)，所述第二进气管(19)远离第二风机(18)的一端贯穿第二风机箱(17)和外壳(15)的顶部并与外壳(15)相连通。

7.根据权利要求6所述的一种具有分级清理机构的集成电路检测设备，其特征在于：所述第二进气管(19)内设置有过滤框(20)，所述过滤框(20)的内部设置有过滤网(30)，所述操作台(1)的底部设置有支撑柱(2)，所述控制器(24)与除尘组件、进气组件、移动组件、固定组件、检测器(27)和第三电动推杆(25)均电性连接。

Images