CN218459910U - 一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，包括外箱体、加料管、镀膜液箱、观察窗和固定座，所述外箱体内部底端安装有固定座，所述外箱体内部顶端安装有镀膜液箱，所述外箱体顶端安装有加料管，且加料管底端穿过外箱体与镀膜液箱相连接，所述镀膜液箱底端安装有电子枪，且电子枪底端安装有连接软管，所述连接软管底端安装有镀膜头，所述外箱体前端安装有观察窗。本实用新型不仅能够通过往复丝杆转动带动滑块往复移动，进而带动镀膜头往复移动进行均匀镀膜，而且能够通过转动杆转动带动锥形块移动带动，进而推动清洁条转动，还能够通过清洁条与限位块贴合，便于清洁条对锥形块进行挤压，进而便于转动杆越过清洁条。

Description

一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜加工装备技术领域，尤其涉及一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置。

背景技术

镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，真空镀膜机在镀膜完成时不便于观察镀膜情况，而且在镀膜过程中镀膜的涂料会飞溅到装置上，影响观察的情况。

目前使用的镀抗反射薄膜装置存在一定缺陷，缺少均匀镀膜功能，造成镀膜头不方便均匀往复移动，进而不方便将镀膜液均匀喷涂在固定座上工件上，因此，提出一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置显得非常必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，包括外箱体、加料管、镀膜液箱、观察窗和固定座，所述外箱体内部底端安装有固定座，所述外箱体内部顶端安装有镀膜液箱，所述外箱体顶端安装有加料管，且加料管底端穿过外箱体与镀膜液箱相连接，所述镀膜液箱底端安装有电子枪，且电子枪底端安装有连接软管，所述连接软管底端安装有镀膜头，所述外箱体前端安装有观察窗，所述外箱体内部右壁上固定安装有空心壳，且空心壳内部转动安装往复丝杆，所述往复丝杆环形侧面上转动安装有滑块，且滑块端固定安装有连接杆，所述连接杆另一端固定安装在镀膜头上，所述外箱体后端固定安装有电动机，且电动机前端与往复丝杆相连接，所述往复丝杆前端延伸至空心壳前端并固定安装有转动杆，所述外箱体内部前壁右侧转动安装有清洁条，所述外箱体内部前壁左侧固定安装有限位块。

进一步的，所述外箱体内部前壁右侧固定安装有固定销，所述固定销环形侧面上转动安装有清洁条。

进一步的，所述固定销环形侧面上固定安装有扭簧，且扭簧外侧固定安装在清洁条内部。

进一步的，所述镀膜头底端固定安装有布液管，且布液管底端均匀安装两个以上喷嘴，所述布液管环形侧面上固定安装有固定环，所述连接杆一端固定安装在固定环上。

进一步的，所述转动杆后端滑动安装有T型块，所述T型块前端穿过转动杆并固定安装有锥形块，所述锥形块与清洁条处于同一竖直面内部。

进一步的，所述T型块环形侧面上安装有弹簧，且弹簧两端分别固定安装在转动杆上以及T型块上。

进一步的，所述空心壳右端固定安装有固定杆，所述固定杆右端固定安装在外箱体内壁上。

本实用新型的有益效果为：

1.通过往复丝杆转动带动滑块往复移动，进而带动镀膜头往复移动进行均匀镀膜，启动电动机，电动机工作带动往复丝杆转动，往复丝杆转动带动滑块沿着往复丝杆往复移动，滑块移动通过连接杆带动镀膜头往复移动，实现布液管和喷头的往复移动，同时启动电子枪，进而将镀膜液箱内部的镀膜液通过连接软管引流至镀膜头内部，进而通过喷头喷出，实现均匀镀膜的功能。

2.通过转动杆转动带动锥形块移动带动，进而推动清洁条转动，在往复丝杆转动过程中带动转动杆转动，转动杆转动带动T型块和锥形块移动，使得锥形块上环形侧面上的斜面与清洁条贴合，进而推动清洁条围绕固定销转动，清洁条转动对观察窗进行清理。

3.通过清洁条与限位块贴合，便于清洁条对锥形块进行挤压，进而便于转动杆越过清洁条，当清洁条转动与限位块贴合时，清洁条停止转动，转动杆继续转动使得清洁条对锥形块的斜面进行挤压，使得锥形块向后移动，锥形块向后移动带动T型块移动，T型块移动对弹簧进行拉伸，当锥形块跟随转动杆移动越过清洁条时，在弹簧弹力的作用下，T型块移动带动锥形块移动复位，进而便于再次对清洁条进行推动，在扭簧扭力的作用下，清洁条转动复位，不仅便于对观察窗进行再次清理，同时便于锥形块下次推动清洁条转动。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置的局部剖视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置的局部放大结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置的限位块装配结构示意图。

图中：1、外箱体；2、加料管；3、镀膜液箱；4、电子枪；5、连接软管；6、镀膜头；7、观察窗；8、固定座；9、空心壳；10、往复丝杆；11、滑块；12、连接杆；13、转动杆；14、清洁条；15、T型块；16、弹簧；17、锥形块；18、限位块；19、固定销；20、扭簧；21、电动机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-图4，一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，包括外箱体1、加料管2、镀膜液箱3、观察窗7和固定座8，外箱体1内部底端通过螺栓安装有固定座8，固定座8的设计便于工件的安装，进而便于对工件进行镀膜，外箱体1内部顶端安装有镀膜液箱3，外箱体1顶端安装有加料管2，且加料管2底端穿过外箱体1与镀膜液箱3相连接，加料管2的设计便于向镀膜液箱3内部加注镀膜液，镀膜液箱3底端通过螺栓安装有电子枪4，且电子枪4底端套装有连接软管5，连接软管5底端安装有镀膜头6，电子枪4的设计便于将镀膜液箱3内部的镀膜液引出，连接软管5的设计便于镀膜液的引流，同时便于镀膜头6的水平移动，镀膜头6的设计便于镀膜液的喷出，外箱体1前端安装有观察窗7，观察窗7的设计便于观察外箱体1内部的镀膜工作进度，外箱体1内部右壁上通过固定杆安装有空心壳9，且空心壳9内部通过轴承转动安装往复丝杆10，往复丝杆10环形侧面上转动安装有滑块11，滑块11的设计便于沿着往复丝杆10往复移动，且滑块11端固定安装有连接杆12，连接杆12另一端固定安装在镀膜头6上，滑块11移动通过连接杆12带动镀膜头6往复移动，进而实现均匀镀膜的功能，外箱体1后端通过螺栓安装有电动机21，且电动机21前端与往复丝杆10通过联轴器相连接，电动机21的设计便于带动往复丝杆10转动，往复丝杆10前端延伸至空心壳9前端并焊接有转动杆13，外箱体1内部前壁右侧转动安装有清洁条14，清洁条14的设计便于对观察窗7进行清理，外箱体1内部前壁左侧固定安装有限位块18，限位块18的设计便于对清洁条14的转动进行限位。

本实用新型中，需要说明的是，外箱体1内部前壁右侧固通过螺钉安装有固定销19，固定销19环形侧面上通过轴承转动安装有清洁条14，该设计便于清洁条14的转动安装，固定销19环形侧面上焊接有扭簧20，且扭簧20外侧焊接在清洁条14内部，扭簧20的设计便于清洁条14的转动复位，便于对观察窗7进行周期性清理，镀膜头6底端通过螺纹连接安装有布液管，且布液管底端均匀安装两个以上喷嘴，布液管和喷嘴的设计便于镀膜液的均匀喷出，布液管环形侧面上通过螺钉安装有固定环，连接杆12一端固定安装在固定环上，该设计便于滑块11与镀膜头6的连接。

尤其的，转动杆13后端滑动安装有T型块15，T型块15前端穿过转动杆13并焊接有锥形块17，锥形块17与清洁条14处于同一竖直面内部，锥形块17的设计便于推动清洁条14转动，进而便于清洁条14对观察窗7进行清理，T型块15环形侧面上装配有弹簧16，且弹簧16两端分别焊接在转动杆13上以及T型块15上，弹簧16的设计便于T型块15和锥形块17的移动复位，空心壳9右端焊接有固定杆，固定杆右端焊接在外箱体1内壁上，固定杆的设计便于空心壳9的固定安装。

工作原理：当需要进行均匀镀膜时，启动电动机21，电动机21工作带动往复丝杆10转动，往复丝杆10转动带动滑块11沿着往复丝杆10往复移动，滑块11移动通过连接杆12带动镀膜头6往复移动，实现布液管和喷头的往复移动，同时启动电子枪4，进而将镀膜液箱3内部的镀膜液通过连接软管5引流至镀膜头6内部，进而通过喷头喷出，实现均匀镀膜的功能，在往复丝杆10转动过程中带动转动杆13转动，转动杆13转动带动T型块15和锥形块17移动，使得锥形块17上环形侧面上的斜面与清洁条14贴合，进而推动清洁条14围绕固定销19转动，清洁条14转动对观察窗7进行清理，清洁条14转动对扭簧20进行挤压，使得扭簧20产生扭力，当清洁条14转动与限位块18贴合时，清洁条14停止转动，转动杆13继续转动使得清洁条14对锥形块17的斜面进行挤压，使得锥形块17向后移动，锥形块17向后移动带动T型块15移动，T型块15移动对弹簧16进行拉伸，使得弹簧16产生弹力，当锥形块17跟随转动杆13移动越过清洁条14时，在弹簧16弹力的作用下，T型块15移动带动锥形块17移动复位，进而便于再次对清洁条14进行推动，在扭簧20扭力的作用下，清洁条14转动复位，不仅便于对观察窗7进行再次清理，同时便于锥形块17下次推动清洁条14转动。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接、或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

Claims (7)

1.一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，包括外箱体(1)、加料管(2)、镀膜液箱(3)、观察窗(7)和固定座(8)，所述外箱体(1)内部底端安装有固定座(8)，所述外箱体(1)内部顶端安装有镀膜液箱(3)，所述外箱体(1)顶端安装有加料管(2)，且加料管(2)底端穿过外箱体(1)与镀膜液箱(3)相连接，所述镀膜液箱(3)底端安装有电子枪(4)，且电子枪(4)底端安装有连接软管(5)，所述连接软管(5)底端安装有镀膜头(6)，所述外箱体(1)前端安装有观察窗(7)，其特征在于，所述外箱体(1)内部右壁上固定安装有空心壳(9)，且空心壳(9)内部转动安装往复丝杆(10)，所述往复丝杆(10)环形侧面上转动安装有滑块(11)，且滑块(11)端固定安装有连接杆(12)，所述连接杆(12)另一端固定安装在镀膜头(6)上，所述外箱体(1)后端固定安装有电动机(21)，且电动机(21)前端与往复丝杆(10)相连接，所述往复丝杆(10)前端延伸至空心壳(9)前端并固定安装有转动杆(13)，所述外箱体(1)内部前壁右侧转动安装有清洁条(14)，所述外箱体(1)内部前壁左侧固定安装有限位块(18)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，其特征在于，所述外箱体(1)内部前壁右侧固定安装有固定销(19)，所述固定销(19)环形侧面上转动安装有清洁条(14)。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，其特征在于，所述固定销(19)环形侧面上固定安装有扭簧(20)，且扭簧(20)外侧固定安装在清洁条(14)内部。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，其特征在于，所述镀膜头(6)底端固定安装有布液管，且布液管底端均匀安装两个以上喷嘴，所述布液管环形侧面上固定安装有固定环，所述连接杆(12)一端固定安装在固定环上。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，其特征在于，所述转动杆(13)后端滑动安装有T型块(15)，所述T型块(15)前端穿过转动杆(13)并固定安装有锥形块(17)，所述锥形块(17)与清洁条(14)处于同一竖直面内部。

6.根据权利要求5所述的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，其特征在于，所述T型块(15)环形侧面上安装有弹簧(16)，且弹簧(16)两端分别固定安装在转动杆(13)上以及T型块(15)上。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的镀抗反射薄膜装置，其特征在于，所述空心壳(9)右端固定安装有固定杆，所述固定杆右端固定安装在外箱体(1)内壁上。

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