CN218445654U - 一种半导体器件测试用探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针台技术领域，公开了一种半导体器件测试用探针台，包括台架，所述台架的一侧固接有设备台，所述设备台的外表面开设有圆孔，当半导体器件放置于放置台的顶部时，通过在滑口分别滑动两个螺纹块，利用两个螺纹块的滑动调节两个滑动块，以及两个滑动块之间的间距，当调整至适合位置时，通过升降机构的升降位置调整，从而将两个压块的一端转动至与半导体器件外表面接触的位置，从而利用两个压块的一端将半导体器件夹持，避免半导体器件在利用探针检测时移位，从而降低检测效率的问题。

Description

一种半导体器件测试用探针台

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，具体为一种半导体器件测试用探针台。

背景技术

半导体器件通常利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波。三端器件一般是有源器件，典型代表是各种晶体管。晶体管又可以分为双极型晶体管和场效应晶体管两类。

现有的半导体器件在测试时需要用到探针台，而现有的探针台在将半导体器件放置后，由于半导体器件的大小不一，很难固定在摆放台，所以在利用探针对半导体器件进行检测时，半导体器件很容易移位，从而导致影响检测效果和降低了检测效率的问题

因此，基于上述技术问题，本领域的技术人员有必要研发一种半导体器件测试用探针台。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种半导体器件测试用探针台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括台架，所述台架的一侧固接有设备台，所述设备台的外表面开设有圆孔，所述台架的顶部固接有两个支撑柱，两个所述支撑柱的顶部共同固接有一个放置台，所述设备台在放置台的两侧均开设有滑口，两个所述滑口的内部均滑动设置有螺纹块，两个所述螺纹块的顶部均固接有滑动块，两个所述滑动块的内部均通过轴承转动设置有转动柱，两个所述转动柱的外表面均固定套接有压块，所述压块远离放置台的一端设有开口，所述开口的内部设置有升降机构。

优选的，所述升降机构包括两个齿轮和两个齿条，两个所述压块的一端均开设有缺口，两个所述缺口的内部均固接有圆柱，两个所述齿轮分别固定套接两个圆柱的外表面，两个所述齿条滑动插接于两个滑动块和螺纹杆的内部，且两个所述齿条的一侧通过齿槽分别与两个齿轮相啮合，两个所述齿条的底部共同滑动套接一个升降板，所述升降板的底部固接有气缸。

优选的，所述台架的一侧固接有电机，所述电机的输出轴固接有螺纹杆，所述螺纹杆的两端分别螺纹插接于两个螺纹块的内部，且所述螺纹杆的一端贯穿放置台，从而对半导体器件进行夹持。

优选的，所述升降板的顶部开设有两个滑槽，两个所述升降板的底部分别滑动设置于两个滑槽内部，方便后续利用升降板的升降调节齿条的升降。

优选的，两个所述齿条的外表面均开设有方口，所述螺纹杆的两端分别贯穿两个方口，便于当两个齿条滑动时，不受螺纹杆的阻挡，且两个齿条可在方口处升降。

优选的，所述齿条的底部为T形，所述压块在放置台的一端开设有弧面，便于两个齿条在升降板上滑动时不容易脱落，且通过压块的弧面，方便与探针卡表面接触。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)通过本实用新型的压块和滑动块的结构设计，当半导体器件放置于放置台的顶部时，通过在滑口分别滑动两个螺纹块，利用两个螺纹块的滑动调节两个滑动块，以及两个滑动块之间的间距，当调整至适合位置时，通过升降机构的升降位置调整，从而将两个压块的一端转动至与半导体器件外表面接触的位置，从而利用两个压块的一端将半导体器件夹持，避免半导体器件在利用探针检测时移位，从而降低检测效率的问题。

(2)通过本实用新型的齿条和升降板的结构设计，当两个滑动块移动时，升降机构上的两个齿条会同步在升降板的顶部滑动，从而跟随两个滑动块移位，当两个滑动块移动至所需位置时，通过气缸的伸缩，从而利用升降板的升降带动两个齿条升降，两个齿条的一端将会分别带动两个齿轮转动，此时两个齿轮的转动会分别带动两个压块在两个齿轮上转动，从而使得两个压块的一端均能与半导体器件接触，从而对半导体器件进行夹持。

(3)通过本实用新型的电机和螺纹杆的结构设计，便于开启电机时，利用螺纹杆的转动分别带动两个螺纹块相向或相离运动，从而调节两个滑动块之间的间距，最终调节两个压块之间的间距。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的又一结构示意图；

图3为本实用新型的平面结构示意图；

图4为本实用新型的A-A方向剖面结构示意图。

附图标记中：1、台架；2、滑动块；3、齿条；4、转动柱；5、压块；6、齿轮；7、升降板；8、气缸；9、支撑柱；10、放置台；11、电机；12、螺纹杆；13、螺纹块；14、设备台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

实施例

请参阅图1-4所示，本实用新型提供一种半导体器件测试用探针台技术方案：包括台架1，所述台架1的一侧固接有设备台14，所述设备台14的外表面开设有圆孔，所述台架1的顶部固接有两个支撑柱9，两个所述支撑柱9的顶部共同固接有一个放置台10，所述设备台14在放置台10的两侧均开设有滑口，两个所述滑口的内部均滑动设置有螺纹块13，两个所述螺纹块13的顶部均固接有滑动块2，两个所述滑动块2的内部均通过轴承转动设置有转动柱4，两个所述转动柱4的外表面均固定套接有压块5，所述压块5远离放置台10的一端设有开口，所述开口的内部设置有升降机构。

在本实施方式中，当半导体器件放置于放置台10的顶部时，通过在滑口分别滑动两个螺纹块13，利用两个螺纹块13的滑动调节两个滑动块2，以及两个滑动块2之间的间距，当调整至适合位置时，通过升降机构的升降位置调整，从而将两个压块5的一端转动至与半导体器件外表面接触的位置，从而利用两个压块5的一端将半导体器件夹持，避免半导体器件在利用探针检测时移位，从而降低检测效率的问题。

进一步的，所述升降机构包括两个齿轮6和两个齿条3，两个所述压块5的一端均开设有缺口，两个所述缺口的内部均固接有圆柱，两个所述齿轮6分别固定套接两个圆柱的外表面，两个所述齿条3滑动插接于两个滑动块2和螺纹杆12的内部，且两个所述齿条3的一侧通过齿槽分别与两个齿轮6相啮合，两个所述齿条3的底部共同滑动套接一个升降板7，所述升降板7的底部固接有气缸8。

在本实施方式中，当两个滑动块2移动时，升降机构上的两个齿条3会同步在升降板7的顶部滑动，从而跟随两个滑动块2移位，当两个滑动块2移动至所需位置时，通过气缸8的伸缩，从而利用升降板7的升降带动两个齿条3升降，两个齿条3的一端将会分别带动两个齿轮6转动，此时两个齿轮6的转动会分别带动两个压块5在两个齿轮6上转动，从而使得两个压块5的一端均能与半导体器件接触，从而对半导体器件进行夹持。

进一步的，所述台架1的一侧固接有电机11，所述电机11的输出轴固接有螺纹杆12，所述螺纹杆12的两端分别螺纹插接于两个螺纹块13的内部，且所述螺纹杆12的一端贯穿放置台10。

在本实施方式中，便于通过开启电机11，利用螺纹杆12的转动分别带动两个螺纹块13相向或相离运动，从而调节两个滑动块2之间的间距，最终调节两个压块5之间的间距。

进一步的，所述升降板7的顶部开设有两个滑槽，两个所述升降板7的底部分别滑动设置于两个滑槽内部。

在本实施方式中，便于在两个滑动块2之间的间距调整时，两个齿条3能同步在滑槽内部滑动，方便后续利用升降板7的升降调节齿条3的升降。

进一步的，两个所述齿条3的外表面均开设有方口，所述螺纹杆12的两端分别贯穿两个方口。

在本实施方式中，便于当两个齿条3滑动时，不受螺纹杆12的阻挡，且两个齿条3可在方口处升降。

进一步的，所述齿条3的底部为T形，所述压块5在放置台10的一端开设有弧面。

在本实施方式中，便于两个齿条3在升降板7上滑动时不容易脱落，且通过压块5的弧面，方便与探针卡表面接触。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体器件测试用探针台，包括台架(1)，其特征在于，所述台架(1)的一侧固接有设备台(14)，所述设备台(14)的外表面开设有圆孔，所述台架(1)的顶部固接有两个支撑柱(9)，两个所述支撑柱(9)的顶部共同固接有一个放置台(10)，所述设备台(14)在放置台(10)的两侧均开设有滑口，两个所述滑口的内部均滑动设置有螺纹块(13)，两个所述螺纹块(13)的顶部均固接有滑动块(2)，两个所述滑动块(2)的内部均通过轴承转动设置有转动柱(4)，两个所述转动柱(4)的外表面均固定套接有压块(5)，所述压块(5)远离放置台(10)的一端设有开口，所述开口的内部设置有升降机构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试用探针台，其特征在于：所述升降机构包括两个齿轮(6)和两个齿条(3)，两个所述压块(5)的一端均开设有缺口，两个所述缺口的内部均固接有圆柱，两个所述齿轮(6)分别固定套接两个圆柱的外表面，两个所述齿条(3)滑动插接于两个滑动块(2)和螺纹杆(12)的内部，且两个所述齿条(3)的一侧通过齿槽分别与两个齿轮(6)相啮合，两个所述齿条(3)的底部共同滑动套接一个升降板(7)，所述升降板(7)的底部固接有气缸(8)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试用探针台，其特征在于：所述台架(1)的一侧固接有电机(11)，所述电机(11)的输出轴固接有螺纹杆(12)，所述螺纹杆(12)的两端分别螺纹插接于两个螺纹块(13)的内部，且所述螺纹杆(12)的一端贯穿放置台(10)。

4.根据权利要求2所述的一种半导体器件测试用探针台，其特征在于：所述升降板(7)的顶部开设有两个滑槽，两个所述升降板(7)的底部分别滑动设置于两个滑槽内部。

5.根据权利要求2所述的一种半导体器件测试用探针台，其特征在于：两个所述齿条(3)的外表面均开设有方口，所述螺纹杆(12)的两端分别贯穿两个方口。

6.根据权利要求2所述的一种半导体器件测试用探针台，其特征在于：所述齿条(3)的底部为T形，所述压块(5)在放置台(10)的一端开设有弧面。

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