CN218365804U - 固定装置和加工设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种固定装置和加工设备。一种固定装置，用于固定晶圆安装架，固定装置包括底座、第一限位件和第二限位组件，底座具有用于承载晶圆安装架的承载面，第一限位件设置于底座的承载面，第二限位组件沿第一方向与第一限位件间隔布设于底座的承载面，且与第一限位件配合用于限制晶圆安装架沿第一方向的移动，第二限位组件被构造为能够限制晶圆安装架沿第二方向的移动。第一方向和第二方向彼此相交，且均平行于承载面。能够很好地利用第一限位件和第二限位组件将晶圆安装架固定于底座的承载面，以便对晶圆安装架上的晶圆进行加工，一定程度上能够利用该固定装置提高晶圆的加工准确性。

Description

固定装置和加工设备

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及固定装置和加工设备。

背景技术

相关技术中，通常采用晶圆安装架固定晶圆，再对晶圆安装架上的晶圆进行加工。然而，传统的晶圆安装架固定方式的固定效果不好，导致影响晶圆的加工。

实用新型内容

基于此，有必要针对因传统的晶圆安装架固定方式的固定效果不好而导致影响晶圆的加工的问题，提供一种固定装置和加工设备。

根据本申请的一个方面，提供了一种固定装置，用于固定晶圆安装架，所述固定装置包括：

底座，具有用于承载所述晶圆安装架的承载面；

第一限位件，设置于所述底座的所述承载面；

第二限位组件，沿第一方向与所述第一限位件间隔布设于所述底座的所述承载面，且与所述第一限位件配合用于限制所述晶圆安装架沿所述第一方向的移动，所述第二限位组件被构造为能够限制所述晶圆安装架沿第二方向的移动；

所述第一方向和所述第二方向彼此相交，且均平行于所述承载面。

在其中一个实施例中，所述第二限位组件包括沿所述第二方向间隔设置的两个第二限位件，两个所述第二限位件被构造为能够限制所述晶圆安装架沿所述第二方向的移动。

在其中一个实施例中，所述晶圆安装架包括沿所述第二方向间隔且相对设置的两个安装支架，以及连接于两个所述安装支架之间的加强梁，两个所述安装支架用于安装晶圆；

所述安装支架包括沿所述第一方向凸伸出所述加强梁的凸出部分；

每一所述第二限位件设有与所述凸出部分相适配的卡槽，所述安装支架和同一侧的所述第二限位件借助于所述凸出部分和所述卡槽连接，以限制所述晶圆安装架沿所述第二方向的移动。

在其中一个实施例中，所述第二限位件包括沿所述第一方向延伸的第一部分，以及连接于所述第一部分且沿所述第二方向延伸的第二部分；

同一所述第二限位件的所述第一部分和所述第二部分界定出所述卡槽。

在其中一个实施例中，所述第一部分连接于对应的所述第二部分沿所述第一方向的内侧，且沿所述第一方向抵接于所述加强梁。

在其中一个实施例中，同一所述第二限位件中，所述第二部分在第三方向上的高度大于所述第一部分在第三方向上的高度；

所述第三方向垂直于所述底座的所述承载面。

在其中一个实施例中，所述第二限位件的所述第一部分上设有第一连接孔，所述底座的所述承载面上设有第二连接孔；

所述第二限位件和所述底座的所述承载面借助于所述第一连接孔和所述第二连接孔连接。

在其中一个实施例中，所述第二限位件的所述第一部分上设有沿所述第一方向间隔布设的多个所述第一连接孔，所述底座的所述承载面上设有与所述第一连接孔一一对应的多个所述第二连接孔。

根据本申请的另一个方面，提供了一种加工设备，包括：

上述的固定装置；

晶圆安装架，借助于所述第一限位件和所述第二限位组件固定于所述底座的所述承载面，且用于固定晶圆；

机加工机构，用于对固定于所述晶圆安装架的所述晶圆进行加工。

在其中一个实施例中，所述加工设备还包括：

至少一感应器，设置于所述底座的所述承载面，且用于感测所述晶圆安装架的在位信号；

其中，所述感应器与所述机加工机构电性连接。

上述固定装置和加工设备，该固定装置使用时，可将晶圆安装架放置于底座的承载面，并利用第一限位件和第二限位组件限制该晶圆安装架沿第一方向的移动，且利用第二限位组件限制该晶圆安装架沿第二方向的移动，由于第一方向和第二方向彼此相交，且均平行于承载面，可以理解的是，能利用该固定装置限制放置于承载面上的晶圆安装架沿互不平行的两个不同方向的移动，如此能够很好地利用第一限位件和第二限位组件将晶圆安装架固定于底座的承载面，以便对晶圆安装架上的晶圆进行加工，一定程度上能够利用该固定装置提高晶圆的加工准确性。

附图说明

图1示出了本申请一实施例中的固定装置的结构示意图；

图2示出了本申请一实施例中的固定装置和晶圆安装架的结构示意图；

图3示出了本申请一实施例中的第二限位件的结构示意图。

图中：10、固定装置；110、底座；111、承载面；120、第一限位件；121、第一限位部；122、第二限位部；130、第二限位组件；131、第二限位件；1311、第一部分；1312、第二部分；1313、卡槽；132、连接件；140、感应器；141、压力感应器；142、光电感应器；20、晶圆安装架；210、安装支架；211、凸出部分；212、支撑部；220、加强梁。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

图1示出了本申请一实施例中的固定装置10的结构示意图。

请参阅图1，并结合参阅图2，本申请一实施例提供的固定装置10，用于固定晶圆安装架20，固定装置10包括底座110、第一限位件120和第二限位组件130，能够利用第一限位件120和第二限位组件130将晶圆安装架20固定于底座110，以便对晶圆安装架20上的晶圆进行加工。

底座110具有用于承载晶圆安装架20的承载面111，第一限位件120设置于底座110的承载面111，第二限位组件130沿第一方向F₁与第一限位件120间隔布设于底座110的承载面111，且与第一限位件120配合用于限制晶圆安装架20沿第一方向F₁的移动，第二限位组件130被构造为能够限制晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动，第一方向F₁和第二方向F₂彼此相交，且均平行于承载面111。

该固定装置10使用时，可将晶圆安装架20放置于底座110的承载面111，并利用第一限位件120和第二限位组件130限制该晶圆安装架20沿第一方向F₁的移动，且利用第二限位组件130限制该晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动，由于第一方向F₁和第二方向F₂彼此相交，且均平行于承载面111，可以理解的是，能利用该固定装置10限制放置于承载面111上的晶圆安装架20沿互不平行的两个不同方向的移动，如此，能够很好地利用第一限位件120和第二限位组件130将晶圆安装架20固定于底座110的承载面111，以便对晶圆安装架20上的晶圆进行加工，一定程度上能够利用该固定装置10提高晶圆的加工准确性。

需要说明的是，第一方向F₁和第二方向F₂均为相对方向。

具体到如图1及图2所示的实施例中，第一方向F₁与第二方向F₂彼此垂直，第一方向F₁平行于底座110的长度方向，第二方向F₂平行于底座110的宽度方向，如此，能够利用该固定装置10限制晶圆安装架20沿底座110的长度方向和宽度方向的移动，提高固定装置10的可靠性。

底座110的承载面111可以设置一个第一限位件120，也可以设置两个第一限位件120，只要能利用全部第一限位件120和第二限位组件130限制晶圆安装架20沿第一方向F₁的移动即可，在此不作具体限制。

请参阅图1及图2，第一限位件120包括沿第二方向F₂延伸的第一限位部121和连接于第一限位部121沿第二方向F₂的相对两侧的两个第二限位部122，晶圆安装架20限位于两个第二限位部122之间，且限位于第一限位部121和第二限位组件130之间，如此，可以更好地利用第一限位件120和第二限位组件130限制晶圆安装架20沿第一方向F₁和第二方向F₂的移动。

第一限位件120可拆卸地连接于底座110的承载面111，方便根据需要更换或安装第一限位件120。

在一些实施例中，请参阅图1，第二限位组件130包括沿第二方向F₂间隔设置的两个第二限位件131，两个第二限位件131被构造为能够限制晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动。

如此，能够利用两个第二限位件131限制晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动。

在一些实施例中，请参阅图2，晶圆安装架20包括沿第二方向F₂间隔且相对设置的两个安装支架210，以及连接于两个安装支架210之间的加强梁220，两个安装支架210用于安装晶圆，安装支架210包括沿第一方向凸伸出加强梁220的凸出部分211，每一第二限位件131设有与凸出部分211相适配的卡槽1313，安装支架210和同一侧的第二限位件131借助于凸出部分211和卡槽1313连接，以限制晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动。

如此，可以利用两个第二限位件131的卡槽1313限制晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动，也能够利用第一限位件120和第二限位件131的卡槽1313限制晶圆安装架20沿第一方向F₁的移动，以将晶圆安装架20固定于底座110的承载面111。

在一些实施例中，请参阅图2，两个安装支架210朝向彼此的一侧设有沿第三方向F₃间隔布设且用于承载晶圆的多个支撑部212，每一晶圆放置于两个安装支架210中位于同一高度的两个支撑部212上，且卡接于同一安装支架210中相邻的两个支撑部212之间，同一高度的两个支撑部212是指该两个支撑部212在第三方向F₃上的高度相同，其中，第三方向F₃垂直于底座110的承载面111。

可将晶圆沿第一方向F₁的相对两端分别放置在两个安装支架210中位于同一高度的两个支撑部212上，且将晶圆卡接于同一安装支架210中相邻的两个支撑部212之间，能够利用该晶圆安装架20固定多个晶圆。

需要说明的是，晶圆安装架20上的晶圆不会接触到安装支架210的凸出部分211，也不会影响凸出部分211和卡槽1313的连接。

在一些实施例中，请参阅图3，第二限位件131包括沿第一方向F₁延伸的第一部分1311，以及连接于第一部分1311且沿第二方向F₂延伸的第二部分1312，同一第二限位件131的第一部分1311和第二部分1312界定出卡槽1313。

如此，能够利用两个第二限位件131的第一部分1311限制晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动，也能够利用第一限位件120和第二限位件131的第二部分1312限制晶圆安装架20沿第一方向F₁的移动，以将晶圆安装架20固定于底座110的承载面111。

在一些实施例中，第一部分1311连接于对应的第二部分1312沿第一方向F₁的内侧，且沿第一方向F₁抵接于加强梁220。

可以理解，将晶圆安装架20放置于底座110的承载面111上时，安装支架210的凸出部分211能够很方便地与同一侧的第二限位件131的卡槽1313连接，能很好地晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动，也能将晶圆安装架20限位于第二限位件131的第一部分1311和第一限位件120之间，并将晶圆安装架20限位于第二限位件131的第二部分1312和第一限位件120之间，以更好地限制晶圆安装架20沿第一方向F₁的移动。

在一些实施例中，同一第二限位件131中，第二部分1312在第三方向F₃上的高度大于第一部分1311在第三方向F₃上的高度，其中，第三方向F₃垂直于底座110的承载面111。

也就是说，第三方向F₃平行于底座110的厚度方向。

由于第二部分1312在第三方向F₃上的高度大于第一部分1311在第三方向F₃上的高度，结合第二部分1312沿在第二方向F₂延伸，如此，能够有效地避免晶圆安装架20靠近第二限位件131的一端高于第二限位件131，以更好地将晶圆安装架20限位于第二限位件131的第二部分1312和第一限位件120之间。

在一些实施例中，第二限位件131的第一部分1311上设有第一连接孔，底座110的承载面111上设有第二连接孔，第二限位件131和底座110的承载面111借助于第一连接孔和第二连接孔连接。

如此，可将第二限位件131可拆卸地连接于底座110的承载面111，方便拆装第二限位件131，以便根据使用需要更换第二限位件131。

请参阅图1，并结合参阅图3，固定装置10还包括分别与第一连接孔和第二连接孔相适配的连接件132，第二限位件131通过连接件132可拆卸地连接于底座110的承载面111。

第一连接孔和第二连接孔可以是螺纹孔，也可以其他能够使第二限位件131可拆卸地连接于底座110的承载面111的孔，在此不作具体限制。

在一些实施例中，第二限位件131的第一部分1311上设有沿第一方向F₁间隔布设的多个第一连接孔，底座110的承载面111上设有与第一连接孔一一对应的多个第二连接孔。

如此，能够利用多个第一连接孔和多个第二连接孔更牢固地将第二限位件131连接于底座110的承载面111，进而能够更好地利用两个第二限位件131限制晶圆安装架20沿第二方向F₂的移动。

具体到图1-3所示的实施例中，第二限位件131通过两个连接件132可拆卸地连接于底座110的承载面111，第一连接孔和第二连接孔为螺纹孔，连接件132为与螺纹孔相适配的螺钉。

本申请一实施例提供的加工设备包括上述的固定装置10、晶圆安装架20和机加工机构，晶圆安装架20借助于第一限位件120和第二限位组件130固定于底座110的承载面111，且晶圆安装架20用于固定晶圆，机加工机构用于对固定于晶圆安装架20的晶圆进行加工。

能够很好地利用第一限位件120和第二限位组件130将晶圆安装架20固定于底座110的承载面111，以便利用机加工机构对晶圆安装架20上的晶圆进行加工，一定程度上能够利用该固定装置10提高晶圆的加工准确性。

机加工机构可以是切割机构，也可以打磨机构，也可以能够对晶圆进行机加工的机构，在此不作具体限制。

在一些实施例中，加工设备还包括至少一感应器140，至少一感应器140设置于底座110的承载面111，且用于感测晶圆安装架20的在位信号，其中，感应器140与机加工机构电性连接。

可先将多个晶圆安装于晶圆安装架20，然后利用第一限位件120和第二限位组件130将晶圆安装架20固定于底座110的承载面111，当感应器140感测到晶圆安装架20的在位信号时，机加工机构就可以对固定于晶圆安装架20的晶圆进行加工。

在一些实施例中，加工设备包括两个感应器140，两个感应器140沿第一方向F₁或第二方向F₂间隔布设于底座110的承载面111。

当两个感应器140均感测到晶圆安装架20的在位信号时，机加工机构会对固定于晶圆安装架20的晶圆进行加工。如此，可以通过两个感应器140提高该固定装置10的可靠性。

在一些实施例中，两个感应器140分别为压力感应器141和光电感应器142，压力感应器141被配置为能够响应于放置于底座110的承载面111的晶圆安装架20施加于压力感应器141的压力，而向机加工机构发出晶圆安装架20的在位信号。光电感应器142被配置为能够放置于底座110的承载面111的晶圆安装架20的挡设，而向机加工机构发出晶圆安装架20的在位信号。如此，能够通过两个感应器140提高该固定装置10的可靠性。

在一些实施例中，固定装置10包括底座110、第一限位件120和第二限位组件130，第二限位组件130包括沿第二方向F₂间隔设置的两个第二限位件131，第二限位件131包括沿第一方向F₁延伸的第一部分1311，以及连接于第一部分1311且沿第二方向F₂延伸的第二部分1312。同一第二限位件131的第一部分1311和第二部分1312界定出卡槽1313。同一第二限位件131中，第二部分1312在第三方向F₃上的高度大于第一部分1311在第三方向F₃上的高度，其中，第一方向F₁、第二方向F₂和第三方向F₃两两垂直，且第三方向F₃垂直于底座110的承载面111。

如此，将晶圆安装架20放置于底座110的承载面111上时，能够有效地避免晶圆安装架20靠近第二限位件131的一端高于第二限位件131，使得安装支架210的凸出部分211能够很好地与同一侧的第二限位件131的卡槽1313连接，有效避免出现感应器140误报的情况，有利于提高该固定装置10的可靠性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种固定装置，用于固定晶圆安装架(20)，其特征在于，所述固定装置(10)包括：

底座(110)，具有用于承载所述晶圆安装架(20)的承载面(111)；

第一限位件(120)，设置于所述底座(110)的所述承载面(111)；

第二限位组件(130)，沿第一方向与所述第一限位件(120)间隔布设于所述底座(110)的所述承载面(111)，且与所述第一限位件(120)配合用于限制所述晶圆安装架(20)沿所述第一方向的移动，所述第二限位组件(130)被构造为能够限制所述晶圆安装架(20)沿第二方向的移动；

所述第一方向和所述第二方向彼此相交，且均平行于所述承载面(111)。

2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第二限位组件(130)包括沿所述第二方向间隔设置的两个第二限位件(131)，两个所述第二限位件(131)被构造为能够限制所述晶圆安装架(20)沿所述第二方向的移动。

3.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述晶圆安装架(20)包括沿所述第二方向间隔且相对设置的两个安装支架(210)，以及连接于两个所述安装支架(210)之间的加强梁(220)，两个所述安装支架(210)用于安装晶圆；

所述安装支架(210)包括沿所述第一方向凸伸出所述加强梁(220)的凸出部分(211)；

每一所述第二限位件(131)设有与所述凸出部分(211)相适配的卡槽(1313)，所述安装支架(210)和同一侧的所述第二限位件(131)借助于所述凸出部分(211)和所述卡槽(1313)连接，以限制所述晶圆安装架(20)沿所述第二方向的移动。

4.根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述第二限位件(131)包括沿所述第一方向延伸的第一部分(1311)，以及连接于所述第一部分(1311)且沿所述第二方向延伸的第二部分(1312)；

同一所述第二限位件(131)的所述第一部分(1311)和所述第二部分(1312)界定出所述卡槽(1313)。

5.根据权利要求4所述的固定装置，其特征在于，所述第一部分(1311)连接于对应的所述第二部分(1312)沿所述第一方向的内侧，且沿所述第一方向抵接于所述加强梁(220)。

6.根据权利要求4所述的固定装置，其特征在于，同一所述第二限位件(131)中，所述第二部分(1312)在第三方向上的高度大于所述第一部分(1311)在第三方向上的高度；

所述第三方向垂直于所述底座(110)的所述承载面(111)。

7.根据权利要求4所述的固定装置，其特征在于，所述第二限位件(131)的所述第一部分(1311)上设有第一连接孔，所述底座(110)的所述承载面(111)上设有第二连接孔；

所述第二限位件(131)和所述底座(110)的所述承载面(111)借助于所述第一连接孔和所述第二连接孔连接。

8.根据权利要求7所述的固定装置，其特征在于，所述第二限位件(131)的所述第一部分(1311)上设有沿所述第一方向间隔布设的多个所述第一连接孔，所述底座(110)的所述承载面(111)上设有与所述第一连接孔一一对应的多个所述第二连接孔。

9.一种加工设备，其特征在于，包括：

如权利要求1-8任一项所述的固定装置(10)；

晶圆安装架(20)，借助于所述第一限位件(120)和所述第二限位组件(130)固定于所述底座(110)的所述承载面(111)，且用于固定晶圆；

机加工机构，用于对固定于所述晶圆安装架(20)的所述晶圆进行加工。

10.根据权利要求9所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括：

至少一感应器(140)，设置于所述底座(110)的所述承载面(111)，且用于感测所述晶圆安装架(20)的在位信号；

其中，所述感应器(140)与所述机加工机构电性连接。

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