CN218341807U - 一种自动测量磨削后单晶边长的装置 - Google Patents
一种自动测量磨削后单晶边长的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218341807U CN218341807U CN202221625633.8U CN202221625633U CN218341807U CN 218341807 U CN218341807 U CN 218341807U CN 202221625633 U CN202221625633 U CN 202221625633U CN 218341807 U CN218341807 U CN 218341807U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- single crystal
- probe
- sensor
- mechanical arm
- side length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 76
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 28
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 230000005012 migration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000013508 migration Methods 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract 1
- 208000012266 Needlestick injury Diseases 0.000 description 7
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/02—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent
- B24B49/04—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent involving measurement of the workpiece at the place of grinding during grinding operation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括检测台、第一驱动装置、机械臂、探针组件，所述检测台用于放置所述待测单晶，所述测量装置对称设置在所述检测台两侧，所述第一驱动装置一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动，所述机械臂设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧，所述探针组件设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。本实用新型的有益效果是提高了磨削后单晶边长的测量精度，提升了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能单晶检测领域，尤其是涉及一种自动测量磨削后单晶边长的装置。
背景技术
在太阳能单晶硅片制造过程中，需要将单晶硅棒磨削切方。磨削完成后，需要对磨削后的单晶进行边长检验。在现有技术中，操作人员使用游标卡尺对磨削后的单晶进行检测，测量误差大，精度不准确，无法保证后续的生产，且人工测量速度缓慢，工作效率较低。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种自动测量磨削后单晶边长的装置，有效的解决了人工测量误差大，工作效率低的问题，克服了现有技术的不足。
本实用新型采用的技术方案是：一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括：
检测台，用于放置所述待测单晶，所述测量装置对称设置在所述检测台两侧；
第一驱动装置，一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动；
机械臂，设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧；
探针组件，设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。
进一步，所述机械臂上设有第一传感器，用于测量所述探针组件的水平移动距离，所述检测台侧面为所述第一传感器的感应面。
进一步，所述机械臂靠近所述立柱的一端设有第二驱动装置，所述第二驱动装置可带动所述机械臂水平移动。
进一步，所述第一驱动装置和第二驱动装置为气缸或者电动伸缩杆。
进一步，所述探针组件包括探针和第二传感器，所述探针水平放置在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述第二传感器设置在所述探针远离所述检测台的一端，所述探针可沿水平方向收缩，所述第二传感器用来测量所述探针的收缩距离。
进一步，所述探针包括底座和针棒，所述底座设置在所述械臂远离所述立柱的一端，所述针棒水平设置在所述底座靠近所述待测单晶的一端，且与所述底座间隙配合，所述针棒可沿所述底座水平移动，所述底座另外一端设置所述第二传感器。
进一步，所述针棒远离所述待测单晶的一端设有顶板，所述顶板与所述底座之间设有弹簧，所述顶板侧面为所述第二传感器的感应面。
进一步，所述针棒靠近所述待测单晶的一端为圆弧状。
进一步，所述探针组件包括三个探针和三个第二传感器，所述三个探针水平放置，竖直排列在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述三个传感器分别设置在所述三个探针远离所述检测台的一端。
本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，提高了磨削后单晶边长的测量精度，提升了工作效率。
附图说明
图1是本实用新型实施例一种自动测量磨削后单晶边长的装置的整体结构示意图。
图2是本实用新型实施例一种自动测量磨削后单晶边长的装置的探针结构示意图。
图中：
1、检测台 2、第一气缸 3、立柱
4、第二气缸 5、机械臂 6、探针
61、底座 62、针棒 63、顶板
64、弹簧 65、透光孔 7、第一传感器
8、第二传感器 9、安装支架 10、待测单晶
具体实施方式
本实用新型实施例提供了一种自动测量磨削后单晶边长的装置，下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。
如图1所示，本实用新型实施例一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括检测台1用于放置待测单晶10，测量装置对称安装在检测台1两侧，待测单晶10的长度方向垂直于两侧测量装置的连线。检测台1的侧面安装有第一驱动装置，第一驱动装置一端与检测台1连接，另外一端上方设有立柱3，第一驱动装置可带动立柱3水平移动。立柱3靠近检测台1的一侧安装有水平的机械臂5，机械臂5远离立柱3一端安装有探针组件。
具体的，机械臂5上设有第一传感器7，检测台1侧面为第一传感器7的感应面。第一驱动装置带动立柱3和机械臂5水平移动时，带动探头组件移动，第一传感器7相对于感应面的距离发生变化，从而能够检测出探头组件的水平移动距离。
优选的，机械臂5靠近所述立柱3的一端设有第二驱动装置，第二驱动装置可带动所述机械臂5水平移动。为了便于将待测晶体放置在检测台1上，在机械臂5靠近立柱3的一端安装第二驱动装置，第二驱动装置可带动机械臂5水平伸缩。
具体的，第一驱动装置和第二驱动装置可为气缸或者电动伸缩杆。
具体的，探针组件包括探针6和第二传感器8，探针6水平放置在机械臂5远离立柱3的一端，第二传感器8设置在探针6远离检测台1的一端，探针6可沿水平方向收缩，第二传感器8用来测量所述探针6的收缩距离。当第二传感器8感应到探针6接触到待测物体表面以后，探针6不再移动时，第一传感器7检测出探针6的水平移动距离，立柱3到检测台1中心的距离是已知固定的，立柱3到探针6的距离也是已知的，即可计算出待测晶体侧面到操作台中心的距离，通过对称设置的测量装置，可测出另外一侧待测晶体侧面到操作台中心的距离，相对的两侧面到操作台中心的距离相加即可得出待测单晶10的边长。当探针6接触到待测晶体侧面以后，探针6继续移动，探针6收缩，第二传感器8能够检测出探针6的收缩距离。
具体的，如图2所示，探针6包括底座61和针棒62，底座61设置在械臂远离立柱3的一端，针棒62水平设置在底座61靠近待测单晶10的一端，且与底座61间隙配合，针棒62可沿底座61水平移动，底座61另外一端设置第二传感器8。
具体的，如图2所示，针棒62远离待测单晶10的一端设有顶板63，顶板63与底座61之间设有弹簧64，顶板63侧面为第二传感器8的感应面。当针棒62接触到待测单晶10时，若针棒62继续移动，待测单晶10推动针棒62沿底座61移动，针棒62带动顶板63移动，第二传感器8即可检测出针棒62的移动距离。
优选的，针棒62靠近所述单晶的一端为圆弧状。为避免针棒62与待测单晶10接触时，对待测单晶10造成划伤，针棒62靠近待测单晶10的一端设置成圆弧状、
优选的，探针组件包括三个探针6和三个第二传感器8，三个探针6水平放置，竖直排列在机械臂5远离立柱3的一端，三个传感器分别设置在所述三个探针6远离所述检测台1的一端。设置一个探针6和一个传感器只能测得一个边长，设置上、中、下三组探针6可以测得单晶上、中、下三组边长，同时能够监测待测单晶10的边长误差，得到单晶的锥度，保证单晶的平整度。
实施例：一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括检测台1、第一气缸2、立柱3、第二气缸4、机械臂5、探针6、第一传感器7、第二传感器8，测量装置对称设置在检测台1两侧。第一气缸2一端与检测台1侧面连接，另外一端上方固定有立柱3，第二气缸4一端与立柱3靠近检测台1的一侧连接，另外一端与机械臂5一端连接，机械臂5的另外一端设置三个探针6，探针6水平放置，竖直排列在机械臂5上。机械臂5上设有安装支架9用来安装第一传感器7，检测台1的侧面为第一传感器7的感应面。在三个探针6远离待测单晶10的一端分别设有第二传感器8。探针6由底座61和针棒62组成，底座61设置在械臂远离第二气缸4的一端，底座61水平方向靠近针棒62的一端设置阶梯孔，针棒62与阶梯孔间隙配合，可沿阶梯孔水平移动。针棒62远离待测单晶10的一端设有顶板63，顶板63一侧与阶梯孔接触，另外一侧与底座61之间设有弹簧64。底座61远离针棒62的一端安装有第二传感器8，底座61与第二传感器8的安装端设有透光孔65，顶板63为第二传感器8的感应面，通过透光孔65，第二传感器8能够感应顶板63的收缩距离。在本实施例中，第一传感器7和第二传感器8均为激光传感器。
工作流程：将待测单晶10放置在检测台1上，待测单晶10的长度方向垂直于两侧测量装置的连线。启动第二气缸4，带动机械臂5朝向待测单晶10的方向水平移动，待机械臂5完全伸出时，第二气缸4停止移动。启动第一气缸2，第一气缸2带动立柱3、第二气缸4、机械臂5、探针6朝向待测单晶10的方向水平移动。当三个探针6都接触到待测单晶10时，第一气缸2停止移动，完成测量，然后复位。
测量原理：由于单晶的侧面有可能存在锥度，所以三个探针6并不是同时接触到待测单晶10的。当最后一个探针6接触到待测单晶10时，第一气缸2停止移动，探针6也停止移动，机械臂5上的第一传感器7检测出探针6的水平移动距离，立柱3到检测台1中心的距离是已知固定的，立柱3到探针6的距离也是已知的，即可计算出待测晶体侧面到操作台中心的距离，通过对称设置的测量装置，可测出对称一侧待测晶体侧面到操作台中心的距离，相对的两侧面到操作台中心的距离相加即可得出待测单晶10此处的边长。其余两个探针6，由于待测单晶10推动，在水平方向移动，推动各自的顶板63移动，安装在探针6上的第二传感器8测量出各自的收缩距离，即可计算出三个探针6接触位置的边长误差。
本实用新型具有的优点和积极效果是：通过竖直设置的三个探针6，能够快速测量出上、中、下三个位置的的边长及边长误差，缩短了测量时间，提高了测量精度，避免了人为测量的误差产生，提高了工作效率。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (9)
1.一种自动测量磨削后单晶边长的装置，对称设置在待测单晶两侧，其特征在于，包括：
检测台，用于放置所述待测单晶；
第一驱动装置，一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动；
机械臂，设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧；
探针组件，设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。
2.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述机械臂上设有第一传感器，用于测量所述探针组件的水平移动距离，所述检测台侧面为所述第一传感器的感应面。
3.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述机械臂靠近所述立柱的一端设有第二驱动装置，所述第二驱动装置可带动所述机械臂水平移动。
4.根据权利要求3所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述第一驱动装置和第二驱动装置为气缸或者电动伸缩杆。
5.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述探针组件包括探针和第二传感器，所述探针水平放置在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述第二传感器设置在所述探针远离所述检测台的一端，所述探针可沿水平方向收缩，所述第二传感器用来测量所述探针的收缩距离。
6.根据权利要求5所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述探针包括底座和针棒，所述底座设置在所述械臂远离所述立柱的一端，所述针棒水平设置在所述底座靠近所述待测单晶的一端，且与所述底座间隙配合，所述针棒可沿所述底座水平移动，所述底座另外一端设置所述第二传感器。
7.根据权利要求6所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述针棒远离所述待测单晶的一端设有顶板，所述顶板与所述底座之间设有弹簧，所述顶板侧面为所述第二传感器的感应面。
8.根据权利要求7所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述针棒靠近所述待测单晶的一端为圆弧状。
9.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述探针组件包括三个探针和三个第二传感器，所述三个探针水平放置，竖直排列在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述三个传感器分别设置在所述三个探针远离所述检测台的一端。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221625633.8U CN218341807U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种自动测量磨削后单晶边长的装置 |
| PCT/CN2023/102456 WO2024002018A1 (en) | 2022-06-27 | 2023-06-26 | Device for automatically measuring side length of monocrystal after grinding |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221625633.8U CN218341807U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种自动测量磨削后单晶边长的装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218341807U true CN218341807U (zh) | 2023-01-20 |
Family
ID=84911568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221625633.8U Active CN218341807U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种自动测量磨削后单晶边长的装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218341807U (zh) |
| WO (1) | WO2024002018A1 (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024002018A1 (en) * | 2022-06-27 | 2024-01-04 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Device for automatically measuring side length of monocrystal after grinding |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN204295504U (zh) * | 2014-11-21 | 2015-04-29 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置 |
| CN205825837U (zh) * | 2016-06-04 | 2016-12-21 | 无锡茂仕精密机械有限公司 | 一种测量规 |
| CN207326735U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-05-08 | 青岛迈特园林机械零部件有限公司 | 成型磨床自动测量装置 |
| CN110026877A (zh) * | 2018-01-11 | 2019-07-19 | 昆山瑞咏成精密设备有限公司 | 一种抛光机及抛光方法 |
| CN207971833U (zh) * | 2018-01-26 | 2018-10-16 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种用于多晶硅块加工一体机的晶棒尺寸检测装置 |
| CN110411634B (zh) * | 2019-07-17 | 2021-04-20 | 上海理工大学 | 圆锥滚子球基面磨削力测量装置及方法 |
| JP7464412B2 (ja) * | 2020-03-09 | 2024-04-09 | 株式会社東京精密 | 加工装置 |
| CN218341807U (zh) * | 2022-06-27 | 2023-01-20 | 内蒙古中环晶体材料有限公司 | 一种自动测量磨削后单晶边长的装置 |
-
2022
- 2022-06-27 CN CN202221625633.8U patent/CN218341807U/zh active Active
-
2023
- 2023-06-26 WO PCT/CN2023/102456 patent/WO2024002018A1/en unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024002018A1 (en) * | 2022-06-27 | 2024-01-04 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Device for automatically measuring side length of monocrystal after grinding |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2024002018A1 (en) | 2024-01-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN218341807U (zh) | 一种自动测量磨削后单晶边长的装置 | |
| CN210036639U (zh) | 一种晶棒外形尺寸测量装置 | |
| CN106989712B (zh) | 一种高精度自复位探针式位移测量装置及测量方法 | |
| CN115235402A (zh) | 一种高精度检测机 | |
| CN210664177U (zh) | 一种计量校准钢直尺检定台 | |
| CN202403689U (zh) | 薄膜连续测厚装置 | |
| WO2024041322A1 (en) | Surface flatness detecting device for single crystal square rod | |
| WO2020062361A1 (zh) | 一种滑块返向孔位置测量设备 | |
| CN207132981U (zh) | 一种半导体激光器封装过程中波长自动测试装置 | |
| CN213021403U (zh) | 一种市政道路沥青路面平整度检测装置 | |
| CN201867166U (zh) | 气门盘锥面跳动、杆端面跳动和杆部圆度自动测量装置 | |
| CN210570589U (zh) | 一种检测钢管内外径的测量仪 | |
| CN213932332U (zh) | 一种高度可调节的高精度垂直检测尺 | |
| CN216694759U (zh) | 一种夹持稳定的轴承套环直径检测装置 | |
| CN202361937U (zh) | 一种绝缘子端面平行度检测装置 | |
| CN213147732U (zh) | 一种电梯导轨支架间距测试仪 | |
| CN206756127U (zh) | 一种高精度自复位探针式位移测量装置 | |
| CN217006262U (zh) | 一种水池满水试验的检测装置 | |
| CN219572994U (zh) | 一种路用位移传感器的校准台座装置 | |
| CN218974265U (zh) | 一种建筑建材检测用扫查架 | |
| CN220322334U (zh) | 一种高度校验工具 | |
| CN210719091U (zh) | 一种预制构件尺寸检验装置 | |
| CN216348613U (zh) | 一种自动量测棱镜高度的全站仪大棱镜组件 | |
| CN109708551B (zh) | 一种用于千分表的调零装置及其调零方法 | |
| CN219161246U (zh) | 一种房间顶板面平整度检测设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |