CN218329767U - 一种抛光垫沟槽尺寸检测仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，包括包括平行设置的两个支架一，支架一的相对面设置有滑轨一，X向滑块滑动连接在滑轨一上，且X向滑块之间连接有支架二，支架二的下端设置有滑轨二，滑轨二的下端沿其长度方向设置有滑轨二，滑轨二下端滑动连接有Y向滑块，Y向滑块的下方固定连接有非接触式测量器具，通过X向滑块在滑轨一上的移动以及Y向滑块在滑轨二上的移动，带动非接触式测量器具对下方抛光垫进行尺寸检测。该装置通过X向滑块与Y向滑块在滑轨上移动，使红外光线测量仪能够前后左右的移动，通过控制红外光线测量仪，可以精准检测抛光垫不同区域的沟槽尺寸，相较于人工检测，检测效率更高，且更加的精准。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光垫的技术领域，尤其涉及一种抛光垫沟槽尺寸检测仪。
背景技术
在对晶圆的加工过程中，需要使用到抛光垫对晶圆进行抛光，而抛光垫通常由聚氨酯材料构成，而现有的抛光垫的表面一般具有沟槽，以便储存和输运抛光液，同时可以去除加工中的残余物质，传递机械在和以及提高抛光效果等功能，因此抛光垫的沟槽尺寸是抛光垫的重要参数，在制造抛光垫时，需要严格控制沟槽的尺寸，但是现有的测量器具，如卡尺，千分尺会因为与抛光垫接触时导致抛光垫尺寸变形，从而无法精准的测出抛光垫的沟槽尺寸，影响整个抛光垫的制造与性能把控。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，包括平行设置的两个支架一，所述支架一的相对面设置有滑轨一；
X向滑块滑动连接在所述滑轨一上，且所述X向滑块之间连接有支架二；
所述支架二的下端设置有滑轨二，所述滑轨二的下端沿其长度方向设置有滑轨二，所述滑轨二下端滑动连接有Y向滑块，所述Y向滑块的下方固定连接有非接触式测量器具；
通过所述X向滑块在所述滑轨一上的移动以及所述Y向滑块在滑轨二上的移动，带动所述非接触式测量器具对下方抛光垫进行尺寸检测。
作为上述技术方案的进一步描述，所述X向滑块与所述Y向滑块的外部连接有直线电机。
作为上述技术方案的进一步描述，所述支架一放置与下方的真空吸附平台的上表面，抛光垫也放置与所述真空吸附平台的上表面，且处于检测仪的下方。
作为上述技术方案的进一步描述，所述非接触式测量器具为红外光线测量仪或激光测量仪。
作为上述技术方案的进一步描述，所述非接触式测量器具与所述抛光垫之间的垂直距离为5-10mm。
作为上述技术方案的进一步描述，所述支架二与两端所述X向滑块相卡接或者通过螺栓连接。
作为上述技术方案的进一步描述，所述滑轨二设置在所述支架二的下端，所述Y向滑块与其下方的所述非接触式测量器具沿所述滑轨二方向移动。
作为上述技术方案的进一步描述，所述滑轨二设置在所述支架二的侧面，所述Y向滑块的侧面与所述滑轨二滑动连接，所述非接触式测量器具固定连接在所述Y向滑块的下方。
本实用新型具有如下有益效果：
通过X向滑块与Y向滑块在滑轨上的移动，使非接触式测量器具能够前后左右的移动，通过控制非接触式测量器具即红外光线测量仪，可以精准检测抛光垫不同区域的沟槽尺寸，相较于人工检测，检测效率更高，且更加的精准。
附图说明
图1为实施例一中检测仪的立体图；
图2为实施例一中检测仪的仰视图；
图3为实施例三中检测仪的立体图。
图例说明：
1、支架一；2、滑轨一；3、X向滑块；4、支架二；5、滑轨二；6、Y向滑块；7、非接触式测量器具；8、真空吸附平台。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参照图1-图2，本实用新型提供的第一实施例：一种抛光垫沟槽尺寸检测仪。其中包括两个相互平行设置的支架一1，在两个支架1一的相对面上设置有沿其长度方向设置的滑轨一2，在每个滑轨一2上均滑动连接有X向滑块3，两个X向滑块3的之间连接有支架二4，支架二4与两端的X向滑块3的连接方式可以为通过螺栓进行固定，同时也可以根据实际的使用需要，例如为了方便安装，采用卡接的方式进行固定。在支架二4的下方固定连接有滑轨二5，Y向滑块6与滑轨二5之间滑动连接，在Y向滑块6的下方可通过螺栓固定连接有红外光线测量仪，通过该非接触式测量器具7可以对放置在下方的抛光垫上的复杂的沟槽进行精准测量，而非接触式测量器具7与下方的抛光垫的距离为5-10mm，已获得较好的测量效果，当然可以根据实际的情况，改变两者间的距离，通过在X方向的移动与Y方向的配合移动，其X向滑块3的移动与Y向滑块6的移动可以通过手动调整，能够对抛光垫表面任意一处沟槽进行测量，相较于现有的人工测量，测量的效率更高，且更加的精准。
参照图1-图2，本实用新型提供的第二实施例：一种抛光垫沟槽尺寸检测仪。与第一实施例不同的是，在X向滑块3与Y向滑块6的外部连接有高精度的直线电机(图中未示出)，通过控制直线电机的运动，可以精准控制X向滑块3与Y向滑块6的移动，实现对抛光垫某一区域处的沟槽进行精准的测量，且通过直线电机的控制可以更加方便快捷且更精确。
参照图3，本实用新型提供的第三实施例：一种抛光垫沟槽尺寸监测仪。与第一实施例不同的是，滑轨二5设置在支架二4的侧边，而Y向滑块6的侧边与滑轨二5滑动连接，非接触式测量器具7固定连接在Y向滑块6的下方，非接触式测量器具7可以沿着支架二4的侧边滑动，对下方的抛光垫的沟槽进行精准的测量，支架一1放置在下方的真空吸附平台8上方，且其与支架一1的连接方式可以为直接放置在上方或者通过螺栓固定连接在其上方，可以根据实际的场景选择，而在进行测量时，抛光垫放置在真空吸附平台的上方，并通过启动真空吸附平台将抛光垫进行固定，保证其不会在测量时发生移动。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，其特征在于：包括平行设置的两个支架一，所述支架一的相对面设置有滑轨一；
X向滑块滑动连接在所述滑轨一上，且所述X向滑块之间连接有支架二；
所述支架二的下端设置有滑轨二，所述滑轨二的下端沿其长度方向设置有滑轨二，所述滑轨二下端滑动连接有Y向滑块，所述Y向滑块的下方固定连接有非接触式测量器具；
通过所述X向滑块在所述滑轨一上的移动以及所述Y向滑块在滑轨二上的移动，带动所述非接触式测量器具对下方抛光垫进行尺寸检测。
2.根据权利要求1所述的一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，其特征在于：所述X向滑块与所述Y向滑块的外部连接有直线电机。
3.根据权利要求1所述的一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，其特征在于：所述支架一放置与下方的真空吸附平台的上表面，抛光垫也放置与所述真空吸附平台的上表面，且处于检测仪的下方。
4.根据权利要求1所述的一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，其特征在于：所述非接触式测量器具为红外光线测量仪或激光测量仪。
5.根据权利要求1所述的一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，其特征在于：所述非接触式测量器具与所述抛光垫之间的垂直距离为5-10mm。
6.根据权利要求1所述的一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，其特征在于：所述支架二与两端所述X向滑块相卡接或者通过螺栓连接。
7.根据权利要求1所述的一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，其特征在于：所述滑轨二设置在所述支架二的下端，所述Y向滑块与其下方的所述非接触式测量器具沿所述滑轨二方向移动。
8.根据权利要求1所述的一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，其特征在于：所述滑轨二设置在所述支架二的侧面，所述Y向滑块的侧面与所述滑轨二滑动连接，所述非接触式测量器具固定连接在所述Y向滑块的下方。
Priority Applications (1)
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| CN202222078176.1U CN218329767U (zh) | 2022-08-05 | 2022-08-05 | 一种抛光垫沟槽尺寸检测仪 |
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Publications (1)
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| CN218329767U true CN218329767U (zh) | 2023-01-17 |
Family
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Family Applications (1)
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2022
- 2022-08-05 CN CN202222078176.1U patent/CN218329767U/zh active Active
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