CN218301686U - 一种电极装置、加热器供电结构以及单晶炉的炉底结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种电极装置、加热器供电结构以及单晶炉的炉底结构，涉及太阳能光伏技术领域，以提供一种能够提高加热器的加热效率的技术方案。电极装置，应用于加热器中，所述电极装置包括电极本体；所述电极本体的第一端具有用于与所述加热器配合连接的预设结构，所述预设结构具有相对的第一端面和第二端面，以及连接所述第一端面和所述第二端面的侧壁，所述第二端面的面积大于所述第一端面的面积。

Description

一种电极装置、加热器供电结构以及单晶炉的炉底结构

技术领域

本实用新型太阳能光伏技术领域，尤其涉及一种电极装置、加热器供电结构以及单晶炉的炉底结构。

背景技术

冷却电极是真空炉连接炉内加热器的端口，是连接炉外电源与加热器的关键部件。因此，冷却电极性能的好坏直接关系到真空炉能否达到指标要求。

但目前，冷却电极与加热器之间的电阻较大，从而导致加热器的加热效率下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电极装置、加热器供电结构以及单晶炉的炉底结构，以提供一种能够提高加热器的加热效率的技术方案。

第一方面，本实用新型提供的电极装置，应用于加热器中，所述电极装置包括电极本体；

所述电极本体的第一端具有用于与所述加热器配合连接的预设结构，所述预设结构具有相对的第一端面和第二端面，以及连接所述第一端面和所述第二端面的侧壁，其中，所述第二端面的面积大于所述第一端面的面积。

进一步的，自所述第一端面至第二端面的方向，所述预设结构的侧壁向外倾斜设置。

在采用上述技术方案的情况下，在本实用新型中，电极本体通过第一端与加热器配合连接，其中，电极本体的第一端具有预设结构，且该预设结构第二端面的面积大于第一端面的面积，也就是说，沿第一端面至第二端面的方向，该预设结构具有的侧壁具有一定的倾角。应理解，具有一定倾角的侧壁相对于垂直的侧壁，增大了表面积。在实际中，电极本体通过预设结构与加热器相配合，当预设结构的侧壁的表面积增大后，预设结构与加热器的接触面积也相应的增大，此时，预设结构与加热器之间的电阻会相应减小，从而使电极本体加热器之间的导电性更好，进而提高了加热器的加热效率。

在一种可能的实现方式中，所述电极装置还包括冷却管，所述电极本体具有自所述第二端向所述第一端开设的第一空腔；所述冷却管至少部分设置于所述第一空腔中，所述第一空腔与所述冷却管之间具有间隙。

在采用上述技术方案的情况下，所述电极本体具有自所述第二端向所述第一端开设的第一空腔，冷却管置于所述第一空腔中，故冷却管可以对电极本体进行降温。

在一种可能的实现方式中，所述冷却管的进液口靠近所述电极本体的第二端，所述冷却管的出液口靠近所述电极本体的第一端，且位于所述预设结构中。

在采用上述技术方案的情况下，冷却液可沿着冷却管的进液口进入冷却管中，从冷却管的进液口进入第一腔体中，以贯穿整个电极本体，实现对电极本体的降温。

第二方面，本实用新型提供了一种加热器供电结构，包括加热器支撑件以及上述电极装置；

所述加热器支撑件具有与所述预设结构形状相匹配的连接孔，所述电极本体的预设结构穿设于所述连接孔内，所述侧壁与所述连接孔的孔壁相接触。

在采用上述技术方案的情况下，加热器支撑件与电极装置通过连接孔和预设结构相连接，且预设结构的侧壁与连接孔的孔壁相接触，基于此，可增大电极装置与加热器支撑件之间接触面积，此时，电极装置与加热器支撑件之间的电阻会相应减小，从而使电极装置与加热器支撑件之间的导电性更好，进而提高了加热器的加热效率。

在一种可能的实现方式中，所述加热器供电结构还包括安装座和第一密封件；所述安装座连接于所述电极装置的第二端，所述第一密封件设置在所述电极本体的第二端与所述安装座的连接处。

在采用上述技术方案的情况下，所述第一密封件设置在所述电极本体和所述安装座的连接处，实现了对加热器供电结构内部冷却液的密封，确保加热器供电结构不漏冷却液。

在一种可能的实现方式中，所述电极装置还包括冷却管，所述电极本体具有自第二端向第一端开设的第一空腔；

所述安装座上具有第二空腔，且所述第二空腔靠近所述电极本体的一端具有第二开口，所述第一空腔的第一开口与所述第二开口相匹配，所述安装座与所述电极本体的第二端相连接后，所述第一空腔和第二空腔形成中空腔体；所述冷却管置于所述中空腔体中；所述冷却管与所述电极本体同轴设置。

在采用上述技术方案的情况下，可将冷却管置于中空腔体内，以在第一空腔和第二空腔形成的中空腔体内对电极装置进行降温处理。

在一种可能的实现方式中，所述安装座具有冷却液入口和冷却液出口，所述加热器供电结构还包括设置在所述冷却液入口处的第一水冷接头，设置所述冷却液出口处的第二水冷接头；所述冷却管的进液口与所述第一水冷接头相连接，所述第二水冷接头密封连接于所述冷却液出口，冷却液从所述第一水冷接头进入所述冷却管中，从所述冷却管的出液口流出，进入所述中空腔体中，并从所述第二水冷接头流出。

在采用上述技术方案的情况下，冷却液通过冷却液入口进入冷却管中，并从冷却管的出液口流出，进入中空腔体中，然后从冷却液出口流出，应理解，由于冷却管的出液口位于电极本体远离安装座的一端，冷却液出口位于安装座上，故当冷却液沿着电极本体远离安装座的一端进入中空腔体中，并从安装座中流出时，冷却液就贯穿了整个中空腔体，实现了对整个电极装置的冷却。

在一种可能的实现方式中，所述加热器供电结构还包括石墨压环，所述石墨压环设置所述电极本体的第一端，且设置在所述加热器支撑件背离所述电极本体的第二端的一侧，用于将所述加热器支撑件与所述电极本体相固定。

第三方面，本实用新型还提供了一种单晶炉的炉底结构，包括炉底板以及上述加热器供电结构；所述炉底板上开设有通孔，所述炉底板通过所述通孔套设在所述电极本体的外侧，且设置与所述加热器供电结构的冷却管的进液口与出液口之间。

进一步的，所述单晶炉的炉底结构还包括设置于所述炉底板与电极本体之间的绝缘材料层。

在采用上述技术方案的情况下，由于电极本体与炉底板均为导体，为了防止漏电，本实用新型实施例在电极本体与炉底板之间设置绝缘层，用于将电极装置与炉底板之间进行电性隔离。

在一种可能的实现方式中，所述炉底板具有相对的第一侧和第二侧，所述电极装置包括冷却管，所述加热器供电结构中具有中空腔体，所述冷却管置于所述中空腔体中；

所述安装座具有冷却液入口和冷却液出口，所述冷却管的进液口设置于所述冷却液入口处，所述冷却管的出液口位于所述电极本体的第一端，所述炉底板的第一侧位于所述冷却管的进液口与所述冷却管的出液口之间，所述炉底板的第二侧位于所述炉底板的第一侧与所述冷却管的出液口之间。

在一种可能的实现方式中，所述电极装置还包括紧固件、绝缘件以及绝缘弹性组件，所述电极本体与所述炉底板的第一侧的连接处具有凸台结构，所述炉底板的第一侧通过所述绝缘件与所述凸台结构相抵接，所述紧固件设置在所述电极本体与所述炉底板的第二侧的连接处，用于紧固所述炉底板与所述电极本体，所述绝缘弹性组件设置与所述紧固件与所述炉底板的第二侧之间。

在采用上述技术方案的情况下，电极本体与所述炉底板的第二侧的连接处通过紧固件连接，由于紧固件大多为导体，故紧固件与所述炉底板的第一侧设置绝缘件，在紧固件与炉底板的第二侧之间设置绝缘弹性组件，以实现炉底板与电极本体之间的绝缘。

进一步的，所述电极装置还包括第二密封件以及第三密封件；所述第二密封件设置与所述绝缘弹性组件与所述电极本体之间，所述第三密封件设置与所述绝缘弹性组件与所述炉底板的第二侧之间。

基于此，通过第二密封件、第三密封件实现了对炉底板第二侧的密封，从而使炉底板上下侧空间被隔离开来，保证炉底板的第一侧处于高真空的状态下，炉底板第二侧处于大气状态。

更进一步的，所述绝缘弹性组件包括绝缘弹性件以及绝缘垫圈，所述电极装置还包括第四密封件；所述绝缘垫圈和所述绝缘弹性件依次设置在所述紧固件与所述炉底板的第二侧之间，所述第二密封件设置在所述绝缘弹性件与所述电极本体之间，所述第三密封件设置在所述绝缘弹性件与所述炉底板的第二侧之间；所述第四密封件设置于所述绝缘弹性件与所述绝缘垫圈之间。

在采用上述技术方案的情况下，实现了对炉底板第二侧的密封和紧固作用。

在一种可能的实现方式中，所述电极装置还包括流量调节器、温度传感器以及与所述流量调节器、温度传感器和所述温度传感器电连接的控制器；

所述流量调节器设置于所述冷却管中，所述温度传感器靠近所述电极本体设置，用于采集所述电极本体的温度，并发送至所述控制器，所述流量调节器用于调节所述冷却管中冷却液的流量。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过流量调节器、温度传感器以及控制器调节电极装置中冷却液的流量，从而可以在电极装置温度过高时，增大电极装置中冷却液的流量，以对电极装置进行降温，以避免电极装置温度过热。也可以在电极装置温度正常时，减小电极装置中冷却液的流量，以实现节水节能。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型实施例提供的一种电极装置的剖视图；

图2示出了本实用新型实施例提供的一种加热器供电结构的剖视图；

图3示出了本实用新型实施例提供的一种单晶炉的炉底结构的结构示意图；

图4示出了本实用新型实施例提供的一种单晶炉的炉底结构的剖视图。

附图标记：

1-电极本体，101-第一端，102-第二端，103-第一端面，104-第二端面，105-侧壁，2-安装座，3-中空腔体，4-冷却管，5-第一密封件，6-石墨压环，7-炉底板，8-绝缘层，9-紧固件，10-绝缘件，11-绝缘垫圈，12-绝缘弹性件，13-第二密封件，14-第三密封件，15-第四密封件，16-第一水冷接头，17-第二水冷接头，18-加热器支撑件。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

冷却电极是真空炉连接炉内加热器的端口，是连接炉外电源与加热器的关键部件。因此，冷却电极性能的好坏直接关系到真空炉能否达到指标要求。

但目前，冷却电极与加热器之间的电阻较大，从而导致加热器的发热效率下降。

基于此，第一方面，参照图1，本实用新型实施例提供了一种电极装置，该电极装置应用于加热器中，包括电极本体1。其中，电极本体1的第一端101具有用于与所述加热器配合连接的预设结构，所述预设结构具有相对的第一端面103和第二端面104，以及连接所述第一端面103和所述第二端面104的侧壁105，所述第二端面104的面积大于所述第一端面103的面积。应理解，具有一定倾角的侧壁相对于垂直的侧壁，增大了表面积。在实际中，电极本体1通过预设结构与加热器相配合，当预设结构的侧壁105的表面积增大后，预设结构与加热器的接触面积也相应的增大，此时，预设结构与加热器之间的电阻会相应减小，应理解，在电阻减小的情况下，流过电极本体1与加热器之间的电流就会相应的增大，从而使电极本体1加热器之间的导电性更好，进而提高了加热器的加热效率。

参照图1，更进一步的，自所述第一端面103至第二端面104的方向，所述预设结构的侧壁向外倾斜设置。基于此，该预设结构可以为圆台形结构，也可以是侧壁为曲面的类圆台结构，本实用新型实施例对此不作具体限定。

参照图1，所述电极装置还包括冷却管4，所述电极本体1具有自所述第二端102向所述第一端101开设的第一空腔；所述冷却管4至少部分设置于所述第一空腔中，所述第一空腔与所述冷却管4之间具有间隙。基于此，冷却管4位于电极本体1的内部，当冷却管4中通入冷却液后，用于对电极本体1进行降温。第一空腔与冷却管4之间的间隙用于使从冷却管4中流出的冷却液流通至冷却液出口，以实现冷却液在电极本体1中的循环。

具体的，所述冷却管4的进液口靠近所述电极本体1的第二端102，所述冷却管4的出液口靠近所述电极本体1的第一端101，且位于所述预设结构中。基于此，冷却液从电极本体1的第一端101进入电极本体1中，从电极本体1的第二端102流出进入第一腔体中，由于冷却管4与第一空腔之间具有间隙，冷却液会再次从电极本体1的第二端102流通至冷却液出口，也就是说冷却液贯穿了整个电极本体1，实现对电极本体1的降温。

第二方面，参照图2，本实用新型实施例还提供了一种加热器供电结构，包括加热器支撑件18以及第一方面提供的电极装置，其中，所述加热器支撑件18具有与所述预设结构形状相匹配的连接孔，所述电极本体1的预设结构穿设于所述连接孔内，所述侧壁与所述连接孔的孔壁相接触。

根据第一方面的描述可知，电极本体1的预设结构具有相对的第一端面和第二端面，以及连接所述第一端面和所述第二端面的侧壁，所述第二端面的面积大于所述第一端面的面积。基于此，可以看出，预设结构的侧壁具有一定的倾角，应理解，具有一定倾角的侧壁相对于垂直的侧壁，增大了表面积。在实际中，当预设结构的侧壁的表面积增大后，预设结构与加热器支撑件的接触面积也相应的增大，此时，预设结构与加热器支撑件之间的电阻会相应减小，从而使电极本体1加热器支撑件之间的导电性更好，进而提高了加热器的加热效率。预设结构的设计同时能够避免电极装置在高电压、低电流的使用环境中打火。

示例性的，所述预设结构的侧壁与底部之间的夹角范围包括45°-80°。优选的，为了方便安装和制作，该预设结构的第一端面和第二端面同轴设置，且该预设结构的侧壁各处与底部的夹角相同。

基于以上预设结构的侧壁与底部之间的夹角范围，不仅能够保证加热器与电极装置之间的接触面积，还能够保证预设结构的制作工艺简单。

进一步的，上述加热器供电结构还包括石墨压环6，其中，石墨压环6设置在电极本体1的第一端，且位于加热器支撑件背离电极本体1第二端的一侧，用于将加热器支撑件与电极本体1相固定。作为一种可能的实现方式，电极本体1的第一端的上侧具有与石墨压环6相匹配的外螺纹，石墨压环6通过该外螺纹与电极本体1可拆卸连接，且可通过该方式将加热器支撑件与电极本体1固定在一起。

在一些实现方式中，所述加热器供电结构还包括安装座2和第一密封件5；所述安装座2连接于所述电极装置的第二端，所述第一密封件5设置在所述电极本体1的第二端与所述安装座2的连接处。在实际中，安装座2用于装入通电电缆，以对电极装置进行供电。安装座2设置在电极装置的第二端，且与电极本体1固定连接，为了防止加热器供电结构中的冷却液流出，本实用新型实施例还在电极本体1与安装座2之间设置有第一密封件5，实现了对加热器供电结构内部冷却液的密封，确保加热器供电结构不漏冷却液。

根据上述第一方面的描述可知，电极装置还包括冷却管4，且电极本体1具有自第二端向第一端开设的第一空腔，安装座2上具有第二空腔，且所述第二空腔靠近所述电极本体1的一端具有第二开口，所述第一开口与所述第二开口相匹配，所述安装座2与所述电极本体1的第二端相连接后，所述第一空腔和第二空腔形成中空腔体3；所述冷却管4置于所述中空腔体3中。

在实际中，向冷却管4中通入冷却液，通过冷却液在冷却管4和中空腔体3中的流通，以对加热器供电结构工作时产生的热量进行散失。其中，上述冷却液可以为冷却水，也可以为其他具有冷却功能的液体，本实用新型实施例对此不作具体的限定。

进一步的，上述冷却管4与所述电极本体1同轴设置，基于此，可以使得从冷却管4出液口流出的冷却液在进入中空腔体3中时，能够均匀的分布在中空腔体3中，以对加热器供电结构进行均匀的散失。

在具体的实现过程中，由于需要冷却液的进入和流出，本实用新型实施例在安装座2上设置有冷却液入口和冷却液出口，该冷却液入口和冷却液出口相对设置，以使冷却液可从一侧进入后，从另一侧流出。所述加热器供电结构还包括设置在所述冷却液入口处的第一水冷接头16，设置所述冷却液出口处的第二水冷接头17；其中，第一水冷接头16和第二水冷接头17均与外部的水冷管相连接，其中第一水冷接头16通过水冷管与外部的冷却水提供端相连接，第二水冷接头17通过水冷管与外部的冷却水回收端相连接。上述冷却管4的进液口与所述第一水冷接头16相连接，所述第二水冷接头17密封连接于所述冷却液出口，冷却液从所述第一水冷接头16进入所述冷却管4中，从所述冷却管4的出液口流出，进入所述中空腔体3中，并从所述第二水冷接头17流出。由于冷却管4的出液口位于电极本体1远离安装座2的一端，冷却液出口位于安装座2上，故当冷却液沿着电极本体1远离安装座2的一端进入中空腔体中，并从安装座2中流出时，冷却液就贯穿了整个中空腔体，实现了对整个电极装置的冷却。

第三方面，参照图3和图4.本实用新型实施例还提供了一种单晶炉的炉底结构，包括炉底板7以及上述加热器供电结构；所述炉底板7上开设有通孔，所述炉底板7通过所述通孔套设在所述电极本体1的外侧，且设置于所述加热器供电结构的冷却管4的进液口与出液口之间。

进一步的，由于电极本体1与炉底板7均为导体，为了防止漏电，本实用新型实施例在电极本体1与炉底板7之间设置绝缘层8，用于将电极装置与炉底板之间进行电性隔离。示例性的，上述绝缘层8的材质可以为绝缘陶瓷。由于陶瓷材料脆性较大，故沿电极装置的轴向，陶瓷材料的尺寸小于炉底板7的尺寸，以防止在对炉底板7进行紧固时，挤压绝缘层8，造成绝缘层8破裂。

所述炉底板具有相对的第一侧和第二侧，所述电极装置包括冷却管4，所述加热器供电结构中具有中空腔体3，所述冷却管4置于所述中空腔体3中；

所述安装座具有冷却液入口和冷却液出口，所述冷却管的进液口设置于所述冷却液入口处，所述冷却管的出液口位于所述电极本体的第一端，所述炉底板的第一侧位于所述冷却管的进液口与所述冷却管的出液口之间，所述炉底板的第二侧位于所述炉底板的第一侧与所述冷却管的出液口之间。

进一步的，所述电极装置还包括紧固件9、绝缘件10以及绝缘弹性组件，所述电极本体1与所述炉底板7的第一侧的连接处具有凸台结构，所述炉底板7的第一侧通过所述绝缘件10与所述凸台结构相抵接，所述紧固件9设置在所述电极本体1与所述炉底板7的第二侧的连接处，用于紧固所述炉底板7与所述电极本体1，所述绝缘弹性组件设置与所述紧固件9与所述炉底板7的第二侧之间。

应理解，上述紧固件9以及凸台结构可以实现炉底板7与电极本体1之间的紧固连接。且由于电极本体1与炉底板7均为导体，本实用新型在电极本体1与所述炉底板7的第一侧的连接处设置有绝缘件10，以实现电极本体1与所述炉底板7的第一侧的绝缘。进一步的，该绝缘件10可以为绝缘陶瓷垫圈。电极本体1与所述炉底板7的第二侧的连接处通过紧固件9连接，由于紧固件9大多为导体，故在紧固件9与炉底板7的第二侧之间设置绝缘弹性组件，以实现绝缘和密封。示例性的，上述紧固件9为蝶形螺母。

具体的，所述电极装置还包括第二密封件13以及第三密封件14；所述第二密封件13设置与所述绝缘弹性组件与所述电极本体1之间，所述第三密封件14设置与所述绝缘弹性组件与所述炉底板7的第二侧之间。基于此，可以通过第二密封件13、第三密封件14实现了对炉底板7第二侧的密封，从而使炉底板7上下侧空间被隔离开来，保证炉底板7的第一侧处于高真空的状态下，炉底板7第二侧处于大气状态。

示例性的，上述第二密封件13和第三密封件14均为密封圈，本实用新型利用第二密封件13通过面密封实现对炉底板7第二侧的密封，利用第三密封件14通过轴密封实现对炉底板7第二侧的密封。

更进一步的，所述绝缘弹性组件包括绝缘弹性件12以及绝缘垫圈11，所述电极装置还包括第四密封件15；所述绝缘垫圈11和所述绝缘弹性件12依次设置在所述紧固件9与所述炉底板7的第二侧之间，所述第二密封件13设置在所述绝缘弹性件12与所述电极本体1之间，所述第三密封件14设置在所述绝缘弹性件12与所述炉底板7的第二侧之间；所述第四密封件15设置于所述绝缘弹性件12与所述绝缘垫圈11之间。基于此，可以实现炉底板7与电极本体1的紧固作用，以及炉底板7第二侧与电极本体1的密封。

示例性的，上述绝缘垫圈11为陶瓷垫圈，绝缘弹性件12为高分子绝缘垫片。由于陶瓷垫圈的脆性大，本实用新型利用高分子绝缘垫圈11可以软件紧固件9对炉底板7的紧固力，防止绝缘垫圈11破裂。

本实用新型实施例提供的电极装置还包括流量调节器、温度传感器以及与所述流量调节器、温度传感器和所述温度传感器电连接的控制器。

所述流量调节器设置于所述冷却管4中，所述温度传感器靠近所述电极本体1设置，用于采集所述电极本体1的温度，并发送至所述控制器，所述控制器用于根据所述电极本体1的温度控制所述流量调节器，以调节所述冷却管4中冷却液的流量。

在采用上述技术方案的情况下，本实用新型实施例可以通过流量调节器、温度传感器以及控制器调节电极装置中冷却液的流量，从而可以在电极装置温度过高时，增大电极装置中冷却液的流量，以对电极装置进行降温，以避免电极装置温度过热。也可以在电极装置温度正常时，减小电极装置中冷却液的流量，以实现节水节能。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (16)

1.一种电极装置，其特征在于，应用于加热器中，所述电极装置包括电极本体；所述电极本体具有相对的第一端和第二端；

所述电极本体的第一端具有用于与所述加热器配合连接的预设结构，所述预设结构具有相对的第一端面和第二端面，以及连接所述第一端面和所述第二端面的侧壁，所述第二端面的面积大于所述第一端面的面积。

2.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极装置还包括冷却管，所述电极本体具有自所述第二端向所述第一端开设的第一空腔；所述冷却管至少部分设置于所述第一空腔中，所述电极本体的内径大于所述冷却管的外径。

3.根据权利要求2所述的电极装置，其特征在于，所述冷却管的进液口靠近所述电极本体的第二端，所述冷却管的出液口靠近所述电极本体的第一端，且位于所述预设结构中。

4.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，自所述第一端面至第二端面的方向，所述预设结构的侧壁向外倾斜设置。

5.一种加热器供电结构，其特征在于，所述加热器供电结构包括加热器支撑件以及权利要求1-4任一项所述的电极装置；

所述加热器支撑件具有与所述预设结构形状相匹配的连接孔，所述电极本体的预设结构穿设于所述连接孔内，所述侧壁与所述连接孔的孔壁相接触。

6.根据权利要求5所述的加热器供电结构，其特征在于，所述加热器供电结构还包括安装座和第一密封件；所述安装座连接于所述电极装置的第二端，所述第一密封件设置在所述电极本体的第二端与所述安装座的连接处。

7.根据权利要求6所述的加热器供电结构，其特征在于，所述电极装置还包括冷却管，所述电极本体具有自第二端向第一端开设的第一空腔；

所述安装座上具有第二空腔，且所述第二空腔靠近所述电极本体的一端具有第二开口，所述第一空腔的第一开口与所述第二开口相匹配，所述安装座与所述电极本体的第二端相配合，所述第一空腔和第二空腔形成中空腔体；所述冷却管置于所述中空腔体中；

所述冷却管与所述电极本体同轴设置。

8.根据权利要求7所述的加热器供电结构，其特征在于，所述安装座具有冷却液入口和冷却液出口，所述加热器供电结构还包括设置在所述冷却液入口处的第一水冷接头，设置所述冷却液出口处的第二水冷接头；所述冷却管的进液口与所述第一水冷接头相连接，所述第二水冷接头密封连接于所述冷却液出口，冷却液从所述第一水冷接头进入所述冷却管中，从所述冷却管的出液口流出，进入所述中空腔体中，并从所述第二水冷接头流出。

9.根据权利要求5所述的加热器供电结构，其特征在于，所述加热器供电结构还包括石墨压环，所述石墨压环设置所述电极本体的第一端，且设置在所述加热器支撑件背离所述电极本体的第二端的一侧，用于将所述加热器支撑件与所述电极本体相固定。

10.一种单晶炉的炉底结构，其特征在于，包括炉底板以及权利要求5-9任一项所述的加热器供电结构；所述炉底板上开设有通孔，所述炉底板通过所述通孔套设在所述电极本体的外侧，且设置与所述加热器供电结构的冷却管的进液口与出液口之间。

11.根据权利要求10所述的单晶炉的炉底结构，其特征在于，所述单晶炉的炉底结构还包括设置于所述炉底板与电极本体之间的绝缘材料层。

12.根据权利要求10所述的单晶炉的炉底结构，其特征在于，所述炉底板具有相对的第一侧和第二侧，所述电极装置包括冷却管，所述加热器供电结构中具有中空腔体，所述冷却管置于所述中空腔体中；

所述安装座具有冷却液入口和冷却液出口，所述冷却管的进液口设置于所述冷却液入口处，所述冷却管的出液口位于所述电极本体的第一端，所述炉底板的第一侧位于所述冷却管的进液口与所述冷却管的出液口之间，所述炉底板的第二侧位于所述炉底板的第一侧与所述冷却管的出液口之间。

13.根据权利要求12所述的单晶炉的炉底结构，其特征在于，所述单晶炉的炉底结构还包括紧固件、绝缘件以及绝缘弹性组件，所述电极本体与所述炉底板的第一侧的连接处具有凸台结构，所述炉底板的第一侧通过所述绝缘件与所述凸台结构相抵接，所述紧固件设置在所述电极本体与所述炉底板的第二侧的连接处，用于紧固所述炉底板与所述电极本体，所述绝缘弹性组件设置与所述紧固件与所述炉底板的第二侧之间。

14.根据权利要求13所述的单晶炉的炉底结构，其特征在于，所述单晶炉的炉底结构还包括第二密封件以及第三密封件；所述第二密封件设置与所述绝缘弹性组件与所述电极本体之间，所述第三密封件设置与所述绝缘弹性组件与所述炉底板的第二侧之间。

15.根据权利要求14所述的单晶炉的炉底结构，其特征在于，所述绝缘弹性组件包括绝缘弹性件以及绝缘垫圈，所述单晶炉的炉底结构还包括第四密封件；

所述绝缘垫圈和所述绝缘弹性件依次设置在所述紧固件与所述炉底板的第二侧之间，所述第二密封件设置在所述绝缘弹性件与所述电极本体之间，所述第三密封件设置在所述绝缘弹性件与所述炉底板的第二侧之间；所述第四密封件设置于所述绝缘弹性件与所述绝缘垫圈之间。

16.根据权利要求12-15任一项所述的单晶炉的炉底结构，其特征在于，所述单晶炉的炉底结构还包括流量调节器、温度传感器以及与所述流量调节器和所述温度传感器电连接的控制器；

所述流量调节器设置于所述冷却管中，所述温度传感器靠近所述电极本体设置，用于采集所述电极本体的温度，并发送至所述控制器，所述流量调节器用于调节所述冷却管中冷却液的流量。

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