CN218282938U - 一种多面间接性超声波清洗槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及泛半导体及半导体清洗技术领域，具体涉及一种多面间接性超声波清洗槽，具有外槽，外槽设有石英内槽，石英内槽设有花篮，外槽设有多个对应于石英内槽的超声波振子。本实用新型利用超声波可以穿透特定厚度石英的特性，采用双层槽结构，外层槽设置成水浴槽，工件及药液则在石英内槽反应。配置超声波振子能够利用水能传导超声波，穿透石英槽，使超声波传导至内槽药液中，对工件进行超声波清洗。此清洗过程中，超声波振子不与石英内槽内的药液直接接触，可有效避免超声波振子的腐蚀以及药液的高温影响，大大地延长了使用寿命。

Description

一种多面间接性超声波清洗槽

技术领域

本实用新型涉及泛半导体及半导体清洗技术领域，具体涉及一种多面间接性超声波清洗槽。

背景技术

现有的泛半导体及半导体清洗工艺中，因超声波震子为不锈钢集成件并且对环境温度有要求，使部分高温碱洗工艺及酸洗工艺受到了使用局限。目前通俗的做法是对超声波震子的不锈钢外壳做镀铬或者喷氟(含氟涂层)处理，因受表面震动影响，整体使用寿命不长，且此类方法不能使用在高温药液中。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种多面间接性超声波清洗槽。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种多面间接性超声波清洗槽，具有外槽，所述外槽设有石英内槽，所述石英内槽设有花篮，所述外槽设有多个对应于所述石英内槽的超声波振子。

上述技术方案所述超声波振子设有连接于所述外槽内壁的三个。

上述技术方案三个所述超声波振子分别对应于所述花篮的下方和四周共5个方位中的任意三个。

上述技术方案三个所述超声波振子分别对应于所述花篮的下方、以及四周中的两个对立方位。

上述技术方案所述外槽设有加热装置，所述加热装置用以加热外槽水。

上述技术方案所述外槽设有冷却装置，所述冷却装置用以冷却外槽水。

上述技术方案所述外槽包括镂空安装平台，所述石英内槽固定于所述镂空安装平台。

上述技术方案所述石英内槽的上端设有溢流口、以及对应于所述溢流口的溢流槽。

上述技术方案所述溢流口为锯齿形，所述溢流槽设有内槽排液口。

上述技术方案所述石英内槽设有花篮限位座，所述花篮限位连接于所述花篮限位座。

采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：

本实用新型利用超声波可以穿透特定厚度石英的特性，采用双层槽结构，外槽设置成水浴槽，工件及药液则在石英内槽反应。配置超声波振子能够利用水能传导超声波，穿透石英槽，使超声波传导至内槽药液中，对工件进行超声波清洗。此清洗过程中，超声波振子不与石英内槽内的药液直接接触，可有效避免超声波振子的腐蚀以及药液的高温影响，大大地延长了使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：外槽1、石英内槽2、花篮3、超声波振子4、镂空安装平台11、溢流口21、溢流槽22、内槽排液口23、花篮限位座5。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

见图1，本实用新型提供一种多面间接性超声波清洗槽，具有外槽1，外槽1设有石英内槽2，石英内槽2设有花篮3，外槽1设有多个对应于石英内槽2的超声波振子4。外槽1为塑料材质。石英内槽2为石英材质，内部装有清洗工件用的药液，药液可以是碱洗药液、酸洗药液或有机药液，根据不同的清洗工序进行调整。花篮3用以放置工件晶圆。外槽1内部使用水浴加热石英内槽2内部的药液，药液被加热后，外槽1的超声波振子4工作，利用水能传导超声波，超声波穿透石英内槽2到达其内部的药液，对工件进行超声波清洗。

在本实施例中，根据工艺要求，超声波振子4设有连接于外槽1内壁的三个。

进一步地，三个超声波振子4分别对应于花篮3的下方和四周共5个方位中的任意三个。

再进一步地，三个超声波振子4分别对应于花篮3的下方、以及四周中的两个对立方位，能够充分对工件进行超声波清洗。当然可以理解的是，也可以设置在四周中的两个非对立方位。

在本实施例中，为了能够使得外槽1能够对石英内槽2的药液进行水浴加热，外槽1设有加热装置(图中未示出，可以但不仅限于使用加热管、加热板等等)，加热装置用以加热外槽水，加热装置的安装位置避开与超声波振子4可能干涉的位置即可。

同时，为了能够使得外槽1能够对石英内槽2的药液进行水浴冷却，外槽1设有冷却装置(图中未示出，可以但不仅限于使用冷却水热交换管等等)，冷却装置用以冷却外槽水，其安装位置避开与超声波振子4、加热装置可能干涉的位置即可。

在本实施例中，外槽1包括镂空安装平台11，石英内槽2固定于镂空安装平台11。镂空安装平台11的镂空设计目的主要在于，在能够固定石英内槽2，保持结构稳定性的同时能够节约材料，其形状、大小在此不做具体设置。

在本实施例中，石英内槽2的上端设有溢流口21、以及对应于溢流口21的溢流槽22。在工件进行清洗时，石英内槽2内的药液需要不断注入，然后药液会溢出，溢流口21和溢流槽22的设计主要是为防止石英内槽2的药液直接溢流到外槽1造成污染。

在本实施例中，溢流口21为锯齿形，溢流槽22设有内槽排液口23。溢流槽22的内槽排液口23可以配合管道、循环泵等将溢出的药液进行循环排出。

在本实施例中，石英内槽2设有花篮限位座5，花篮3限位连接于花篮限位座5。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多面间接性超声波清洗槽，具有外槽(1)，所述外槽(1)设有石英内槽(2)，所述石英内槽(2)设有花篮(3)，其特征在于：所述外槽(1)设有多个对应于所述石英内槽(2)的超声波振子(4)。

2.根据权利要求1所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：所述超声波振子(4)设有连接于所述外槽(1)内壁的三个。

3.根据权利要求2所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：三个所述超声波振子(4)分别对应于所述花篮(3)的下方和四周共5个方位中的任意三个。

4.根据权利要求3所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：三个所述超声波振子(4)分别对应于所述花篮(3)的下方、以及四周中的两个对立方位。

5.根据权利要求1所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：所述外槽(1)设有加热装置，所述加热装置用以加热外槽水。

6.根据权利要求1所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：所述外槽(1)设有冷却装置，所述冷却装置用以冷却外槽水。

7.根据权利要求1所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：所述外槽(1)包括镂空安装平台(11)，所述石英内槽(2)固定于所述镂空安装平台(11)。

8.根据权利要求1所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：所述石英内槽(2)的上端设有溢流口(21)、以及对应于所述溢流口(21)的溢流槽(22)。

9.根据权利要求8所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：所述溢流口(21)为锯齿形，所述溢流槽(22)设有内槽排液口(23)。

10.根据权利要求1所述的一种多面间接性超声波清洗槽，其特征在于：所述石英内槽(2)设有花篮限位座(5)，所述花篮(3)限位连接于所述花篮限位座(5)。

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