CN218270256U - 一种多晶硅制备节能回收系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种多晶硅制备节能回收系统，还原炉的尾气出口与冷却换热系统的尾气进口相连，冷却换热系统的气相出口与吸收塔的废气进口相连，冷却换热系统的液相出口与第一换热器的管程进口相连，吸收塔的冷氢出口与冷却换热系统的冷媒进口相连，吸收塔的富液出口与第一换热器的管程进口相连通，解析塔的贫液出口与第一换热器的壳程进口相连。上述系统利用所回收的低温氢气作为冷却换热系统的冷媒，代替氟利昂冷却剂，同时，回收氯硅烷富液中的冷量以冷却氯硅烷贫液，以使氯硅烷贫液仅需额外少量的冷量便达到吸收塔的工作温度，减少氟利昂冷却剂的使用量，从而能够降低尾气回收成本，能够有效缓解对大气环境的污染，避免严重影响大气环境安全。

Description

一种多晶硅制备节能回收系统

技术领域

本申请涉及多晶硅尾气回收技术领域，特别是涉及一种多晶硅制备节能回收系统。

背景技术

多晶硅作为光伏产业中最基础的原材料，其需求与日俱增，2021年伊始，大规模产能多晶硅生产项目不断涌现。单个多晶硅生产项目产能越大，单位产能的成本越低。但产能越大，对电能的消耗就会越高。同时，双碳政策的落地，也要求多晶硅产业进一步降低能耗和排放。

改良西门子法生产高纯多晶硅是现阶段主流的多晶硅生产工艺，还原炉是多晶硅生产中的核心设备，其原理是在超过10000V的高压击穿高纯硅芯，持续向还原炉内通入高纯氢气和三氯氢硅，在约1100℃下氢气还原高纯三氯氢硅生成单质硅并沉积在硅芯表面，回收利用反应后尾气中的氢气和氯硅烷，从而达到一个闭环生产的工艺。

现有技术中，在回收尾气中的氢气和氯硅烷的过程中，首先需要对尾气进行冷却，通常采用氟利昂冷却剂进行冷却尾气，由于氟利昂冷却剂价格较高，导致尾气回收成本较高，同时氟利昂冷却剂使用后排放到大气中会造成大气氟利昂污染，造成大气环境污染，严重影响大气环境安全。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的技术中，在回收尾气中的氢气和氯硅烷的过程中，首先需要对尾气进行冷却，通常采用氟利昂冷却剂进行冷却尾气，由于氟利昂冷却剂价格较高，导致尾气回收成本较高，同时氟利昂冷却剂使用后排放到大气中会造成大气氟利昂污染，造成大气环境污染，严重影响大气环境安全的问题。提供一种多晶硅制备节能回收系统，直接使用回收的低温氢气作为冷却换热系统的冷媒，代替现有技术中的氟利昂冷却剂，同时，将温度较高的氯硅烷贫液与温度较低的氯硅烷富液在第一换热器内进行换热，回收利用液相氯硅烷富液中的冷量，110℃的氯硅烷贫液在冷却后仅需额外增加少量的冷量便可以达到吸收塔的工作温度，减少氟利昂冷却剂的使用量，从而能够降低尾气回收成本，能够有效缓解对大气环境的污染，避免严重影响大气环境安全。

一种多晶硅制备节能回收系统，包括还原炉、第一换热器、冷却换热系统、吸收塔和解析塔，所述还原炉的尾气出口与所述冷却换热系统的尾气进口相连，所述冷却换热系统的气相出口与所述吸收塔的废气进口相连，所述冷却换热系统的液相出口与所述第一换热器的管程进口相连，所述第一换热器的管程出口与所述解析塔的富液进口相连，所述吸收塔的冷氢出口与所述冷却换热系统的冷媒进口相连，所述吸收塔的富液出口与所述第一换热器的管程进口相连通，所述解析塔的贫液出口与所述第一换热器的壳程进口相连，所述第一换热器的壳程出口与所述吸收塔的贫液进口相连通。

优选地，上述一种多晶硅制备节能回收系统中，所述冷却换热系统包括一级换热器和二级换热器，所述还原炉的尾气出口与所述一级换热器的壳程进口相连通，所述一级换热器的气相出口与所述二级换热器的壳程进口相连，所述二级换热器的气相出口与所述吸收塔的废气进口相连，所述一级换热器和所述二级换热器的液相出口均与所述第一换热器的管程进口相连，所述吸收塔的冷氢出口与所述二级换热器管程进口相连，所述二级换热器管程出口与所述一级换热器的管程进口相连。

优选地，上述一种多晶硅制备节能回收系统中，所述冷却换热系统还包括初级换热器和压缩机，所述初级换热器为空气冷却器，所述还原炉的尾气出口与所述初级换热器的壳程进口相连，所述初级换热器的气相出口与所述压缩机的进口相连，所述压缩机的出口与所述一级换热器的壳程进口相连，所述初级换热器的液相出口与所述第一换热器的管程进口相连。

优选地，上述一种多晶硅制备节能回收系统中，还包括第二换热器，所述吸收塔的富液出口与所述第二换热器的管程进口相连，所述第二换热器的管程出口与所述第一换热器的管程进口相连，所述第一换热器的壳程出口与所述第二换热器的壳程进口相连，所述第二换热器的壳程出口与所述吸收塔的贫液进口相连。

优选地，上述一种多晶硅制备节能回收系统中，所述第二换热器的壳程进口处连接有氯硅烷回收管道，或，所述第二换热器的壳程出口处连接有所述氯硅烷回收管道。

优选地，上述一种多晶硅制备节能回收系统中，还包括活性炭吸附柱、第三换热器和第一加热器，所述冷却换热系统的冷媒出口与所述活性炭吸附柱的吸附进口相连，所述活性炭吸附柱的吸附出口连接有氢气储罐，所述氢气储罐与所述第三换热器的管程进口相连，所述第三换热器的管程出口与所述第一加热器的加热进口相连，所述第一加热器的加热出口与所述活性炭吸附柱的脱附进口相连，所述活性炭吸附柱的脱附出口与所述第三换热器的壳程进口相连，所述第三换热器的壳程出口与所述冷却换热系统的尾气进口相连。

优选地，上述一种多晶硅制备节能回收系统中，所述活性炭吸附柱的数量为至少三个，且至少三个所述活性炭吸附柱并联设置，所述氢气储罐还连接有氢气回收管道。

优选地，上述一种多晶硅制备节能回收系统中，还包括硅粉除尘装置，所述还原炉的尾气出口与所述硅粉除尘装置的进口相连，所述硅粉除尘装置的出口与所述冷却换热系统的尾气进口相连。

本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本申请实施例公开的一种多晶硅制备节能回收系统中，首先，由于回收的氢气温度较低，直接使用回收的低温氢气作为冷却换热系统的冷媒，充分回收利用氢气中的冷量，即使用回收的低温氢气代替现有技术中的氟利昂冷却剂，直接利用回收的低温氢气冷却尾气，能够降低尾气回收成本，避免使用氟利昂冷却剂而造成大气氟利昂污染，防止尾气回收过程造成大气环境污染，避免影响大气环境安全。同时，由于解析塔解析后的氯硅烷贫液温度约110℃，而需要通入到吸收塔内的液相氯硅烷贫液温度约-65℃，将温度较高的氯硅烷贫液与温度较低的氯硅烷富液在第一换热器内进行换热，以使-58℃的氯硅烷富液冷却110℃的氯硅烷贫液，回收利用液相氯硅烷富液中的冷量，110℃的氯硅烷贫液在冷却后仅需额外增加少量的冷量便可以达到吸收塔的工作温度，减少氟利昂冷却剂的使用量，从而能够进一步降低尾气回收成本，降低氟利昂冷却剂的使用量能够有效缓解其对大气环境的污染，避免严重影响大气环境安全。

附图说明

图1为本申请实施例公开的一种多晶硅制备节能回收系统的示意图。

其中：还原炉100、第一换热器210、第二换热器220、第三换热器230、第一加热器240、冷却换热系统300、一级换热器310、二级换热器320、初级换热器340、压缩机350、吸收塔400、解析塔500、氯硅烷回收管道600、活性炭吸附柱700、氢气储罐710、氢气回收管道720、硅粉除尘装置800。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“底端”、“顶端”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参考图1，本申请实施例公开一种多晶硅制备节能回收系统，还原炉100、第一换热器210、冷却换热系统300、吸收塔400和解析塔500，其中：

还原炉100生产尾气的温度约220℃，其主要成分为：氯化氢、氢气和氯硅烷（三氯氢硅和四氯化硅），还原炉100的尾气出口与冷却换热系统300的尾气进口相连，将以将还原炉100内的尾气通入到冷却换热系统300中进行冷却，尾气在冷却后得到液相的氯硅烷富液（液体中有少量的氯化氢）和气态的废气（主要为氯化氢和氢气）。

冷却换热系统300的气相出口与吸收塔400的废气进口相连，以将废气通入到吸收塔400内，通过液相的氯硅烷贫液喷淋吸收废气中的氯化氢，废气中的氯化氢溶解到液相的氯硅烷贫液，废气中的氢气通过吸收塔400塔顶回收，在吸收塔400内，塔顶温度约-65℃，塔底温度约-58℃，即回收的氢气温度约-65℃，需要通入到吸收塔400内的液相氯硅烷贫液温度约-65℃，吸收废气中的氯化氢后的液相氯硅烷富液温度约-58℃。由于回收的氢气温度约-65℃，可以将回收的低温氢气作为冷却换热系统300的冷媒，以冷却尾气，吸收塔400的冷氢出口与冷却换热系统300的冷媒进口相连，从而将回收的氢气通入到冷却换热系统300冷却尾气，冷却后的废气温度约-58℃，直接使用回收的低温氢气作为冷却换热系统300的冷媒，充分回收利用氢气中的冷量，即使用回收的低温氢气代替现有技术中的氟利昂冷却剂，直接利用回收的低温氢气冷却尾气，能够降低尾气回收成本，避免使用氟利昂冷却剂而造成大气氟利昂污染，防止尾气回收过程造成大气环境污染，避免影响大气环境安全。

冷却换热系统300的液相出口与第一换热器210的管程进口相连，吸收塔400的富液出口与第一换热器210的管程进口相连通，以将液相的氯硅烷富液通入到第一换热器210的管程内，由于在在吸收塔400内，需要通入到吸收塔400内的液相氯硅烷贫液温度约-65℃，吸收废气中的氯化氢后的液相氯硅烷富液温度约-58℃，即将-58℃的液相氯硅烷富液通入到第一换热器210的管程内。解析塔500的贫液出口与第一换热器210的壳程进口相连，以将解析塔500内的氯硅烷贫液通入到第一换热器210的壳程内，由于在在解析塔500内，塔底温度约110℃，塔顶温度约60℃，即回收的氯化氢气体温度约60℃，需要通入到解析塔500内的氯硅烷富液温度约110℃，解析后的氯硅烷贫液温度约110℃，即将110℃的氯硅烷贫液通入到第一换热器210的壳程内，以使110℃的氯硅烷贫液加热-58℃的氯硅烷富液，回收利用氯硅烷贫液的中热量，-58℃的氯硅烷富液在加热后仅需额外增加少量的热量便可以达到解析塔500的工作温度。同时，以使-58℃的氯硅烷富液冷却110℃的氯硅烷贫液，回收利用液相氯硅烷富液中的冷量，110℃的氯硅烷贫液在冷却后仅需额外增加少量的冷量便可以达到吸收塔400的工作温度。以使温度较高的氯硅烷贫液与温度较低的氯硅烷富液在第一换热器210内进行换热，充分回收利用各自所携带的热量及冷量，降低尾气回收过程中热量以及冷量的使用量，避免温度较高的氯硅烷贫液中热量浪费，以及避免温度较低的氯硅烷富液中冷量的浪费，提高系统的环保性和冷量、热量回收利用效率。

第一换热器210的管程出口与解析塔500的富液进口相连，以将氯硅烷富液通入到解析塔500中进行解析工作，第一换热器210的壳程出口与吸收塔400的贫液进口相连通，以将氯硅烷贫液通入到吸收塔400内喷淋吸收废气中的氯化氢。

本申请实施例公开的一种多晶硅制备节能回收系统中，首先，由于回收的氢气温度较低，直接使用回收的低温氢气作为冷却换热系统300的冷媒，充分回收利用氢气中的冷量，即使用回收的低温氢气代替现有技术中的氟利昂冷却剂，直接利用回收的低温氢气冷却尾气，能够降低尾气回收成本，避免使用氟利昂冷却剂而造成大气氟利昂污染，防止尾气回收过程造成大气环境污染，避免影响大气环境安全。同时，由于解析塔500解析后的氯硅烷贫液温度约110℃，而需要通入到吸收塔400内的液相氯硅烷贫液温度约-65℃，将温度较高的氯硅烷贫液与温度较低的氯硅烷富液在第一换热器210内进行换热，以使-58℃的氯硅烷富液冷却110℃的氯硅烷贫液，回收利用液相氯硅烷富液中的冷量，110℃的氯硅烷贫液在冷却后仅需额外增加少量的冷量便可以达到吸收塔400的工作温度，减少氟利昂冷却剂的使用量，从而能够进一步降低尾气回收成本，降低氟利昂冷却剂的使用量能够有效缓解其对大气环境的污染，避免严重影响大气环境安全。

如上文所述，直接使用回收的低温氢气作为冷却换热系统300的冷媒，为充分回收利用低温氢气中的冷量，以提高对尾气的冷却效果，在一种可选的实施例中，冷却换热系统300可以包括一级换热器310和二级换热器320，还原炉100的尾气出口与一级换热器310的壳程进口相连通，一级换热器310的气相出口与二级换热器320的壳程进口相连，二级换热器320的气相出口与吸收塔400的废气进口相连，一级换热器310和二级换热器320的液相出口均与第一换热器210的管程进口相连，吸收塔400的冷氢出口与二级换热器320管程进口相连，二级换热器320管程出口与一级换热器310的管程进口相连。通过两级换热冷却尾气，以使尾气的冷却效果好，从而提高氯硅烷富液与废气分离效果，同时，通过两级冷却能够使得回收的低温氢气中的冷量得到充分利用，避免仅设置一级冷却而使氢气中的冷量仅利用一部分，从而提高氢气中冷量的回收利用效率，避免因低温氢气对尾气的冷却效果较差而需要额外引入氟利昂冷却剂，从而进一步防止使用氟利昂冷却剂而造成大气氟利昂污染，防止尾气回收过程造成大气环境污染，避免影响大气环境安全。

进一步地，冷却换热系统300还可以包括初级换热器340和压缩机350，初级换热器340为空气冷却器，还原炉100的尾气出口与初级换热器340的壳程进口相连，初级换热器340的气相出口与压缩机350的进口相连，压缩机350的出口与一级换热器310的壳程进口相连，初级换热器340的液相出口与第一换热器210的管程进口相连。通过压缩机350加压后冷却，一是能够提高尾气的冷却效果，从而提高氯硅烷富液与废气分离效果，同时，由于吸收塔400需要在高压低温的条件下工作，因此，相较于现有技术中仅在吸收塔400的废气进口处设置压缩装置以压缩废气，此处设置压缩机350压缩尾气既可以提高尾气的冷却效果，也可以后续直接通入到吸收塔400内，无需在吸收塔400的废气进口处设置压缩装置再压缩废气，起到一物两用的效果。

为充分回收利用从吸收塔400内排出的低温氯硅烷富液中的冷量以及与从解析塔500内排出的高温氯硅烷贫液中的热量，在一种可选的实施例中，本申请公开的一种多晶硅制备节能回收系统还可以包括第二换热器220，吸收塔400的富液出口与第二换热器220的管程进口相连，第二换热器220的管程出口与第一换热器210的管程进口相连，第一换热器210的壳程出口与第二换热器220的壳程进口相连，第二换热器220的壳程出口与吸收塔400的贫液进口相连。即首先使用从解析塔500内排出的高温氯硅烷贫液在第一换热器210内加热回收的氯硅烷富液，避免高温氯硅烷贫液直接与低温氯硅烷富液进行换热，由于回收的氯硅烷富液温度相较于低温氯硅烷富液温度较高，因此高温氯硅烷贫液能够将回收的氯硅烷富液加热至较高温度，从而仅需额外增加少量的热量，便能够使得回收的氯硅烷富液温度达到解析塔500的工作温度要求，同时，换热后的高温氯硅烷贫液温度下降，继续通入到第二换热器220与从吸收塔400内排出的低温氯硅烷富液进行换热，由于换热后的高温氯硅烷贫液温度下降，使得低温氯硅烷富液能够将温度下降后的氯硅烷贫液冷却至较低温度，从而仅需额外增加少量的冷量，便能够使得氯硅烷贫液温度冷却至吸收塔400的工作温度。从而充分回收利用从吸收塔400内排出的低温氯硅烷富液中的冷量以及与从解析塔500内排出的高温氯硅烷贫液中的热量，增加第二换热器220，与第一换热器210分级使用，分级回收利用系统中的热量和冷量，降低尾气回收过程中热量以及冷量的使用量，避免温度较高的氯硅烷贫液中热量浪费，以及避免温度较低的氯硅烷富液中冷量的浪费，进一步降低尾气回收成本，提高系统的环保性和冷量、热量回收利用效率。

作为优选，第二换热器220的壳程进口处可以连接有氯硅烷回收管道600，通过回收一部分温度较高的氯硅烷贫液，以减少通入到第二换热器220内换热的温度较高的氯硅烷贫液，以使在第二换热器220内，温度较低的氯硅烷富液能够将较少量的氯硅烷贫液冷却至较低温度，以使再仅需额外增加更少量的冷量便可以将氯硅烷贫液冷却至吸收塔400的工作温度，从而能够进一步减少氟利昂冷却剂的使用量，从而能够进一步降低尾气回收成本，进一步降低氟利昂冷却剂的使用量能够有效缓解其对大气环境的污染，避免严重影响大气环境安全。

当然，第二换热器220的壳程出口处也可以连接有氯硅烷回收管道600，通过回收一部分温度较低的氯硅烷富液，以减少通入到第二换热器220内换热的温度较低的氯硅烷富液，以使在第二换热器220内，温度较高的氯硅烷贫液能够将较少量的氯硅烷富液加热至较高温度，进一步降低额外需要加入的热量，以使再仅需额外增加更少量的热量便可以将氯硅烷富液加热至解析塔500的工作温度，从而能够进一步降低额外需要加入的热量，降低尾气回收过程中热量的使用量，进一步提高系统的环保性，降低尾气回收成本。

如上文所述，吸收塔400的冷氢出口与冷却换热系统300的冷媒进口相连，氢气在冷却换热系统300中冷却尾气后温度约为-15℃，然后对氢气进行回收重复利用，但是，此处回收的氢气中杂质（氯化氢）较多，氢气纯度较低，需要对氢气进一步净化，基于此，在一种可选的实施例中，本申请公开的一种多晶硅制备节能回收系统还可以包括活性炭吸附柱700，冷却换热系统300的冷媒出口与活性炭吸附柱700的吸附进口相连，以将在冷却换热系统300换热后的氢气通入到活性炭吸附柱700中吸附净化，回收高纯氢气，活性炭吸附柱700吸附净化的工作环境为高压低温，因此，在冷却换热系统300换热后的氢气温度约为-15℃，正好满足活性炭吸附柱700吸附净化的工作温度。活性炭吸附柱700的吸附出口连接有氢气储罐710，在活性炭吸附柱700内吸附净化后的氢气通过氢气储罐710回收储存。

在活性炭吸附柱700吸附饱和后，需要对活性炭吸附柱700进行脱附再生，活性炭吸附柱700脱附再生的工作条件是低压高温，需要温度为182℃氢气进行反吹，在一种可选的实施例中，本申请公开的一种多晶硅制备节能回收系统还可以包括第一加热器240，氢气储罐710与第一加热器240的加热进口相连通，以将回收的氢气加热至182℃，第一加热器240的加热出口与活性炭吸附柱700的脱附进口相连，以将加热至182℃的氢气通入到活性炭吸附柱700内进行反吹，氢气在反吹的过程中，将吸附在活性炭吸附柱700上的氯化氢等杂质吹走，以使活性炭吸附柱700脱附再生，从而使得活性炭吸附柱700能够循环重复使用。

由于回收的氢气温度约在-15℃，将这部分氢气加热至182℃，需要消耗较多的热量，导致尾气回收成本较大，基于此，在一种可选的实施例中，本申请公开的一种多晶硅制备节能回收系统还可以包括第三换热器230，氢气储罐710与第三换热器230的管程进口相连，第三换热器230的管程出口与第一加热器240的加热进口相连，第一加热器240的加热出口与活性炭吸附柱700的脱附进口相连，活性炭吸附柱700的脱附出口与第三换热器230的壳程进口相连。在182℃的氢气反吹活性炭吸附柱700后，氢气温度降至164℃，此部分氢气温度较高，以将吹扫后164℃的氢气通入到第三换热器230中对吹扫前的低温氢气进行预热，然后将预热后的氢气通入到第一加热器240内加热至182℃后对活性炭吸附柱700进行吹扫，此技术方案充分回收利用吹扫后164℃的氢气中的热量，避免造成热量的浪费，且预热后的氢气在第一加热器240较容易被加热至182℃，仅需少量的热量便能够加热至182℃，从而减少热量的使用量，降低尾气回收成本。

由于反吹后的氢气中携带有氯化氢等杂质，因此，第三换热器230的壳程出口与冷却换热系统300的尾气进口相连，以将携带有氯化氢等杂质的氢气重新进行回收。

同时，由于吹扫后的氢气通入到冷却换热系统300循环回收，即吹扫后的氢气需要进行冷却，这里的第三换热器230能够起到预先冷却的作用，以使通入到冷却换热系统300中氢气（携带有氯化氢杂质）的温度得到降低，从而能够降低冷却换热系统300的冷却负荷，起到一物两用的效果。

作为优选，活性炭吸附柱700的数量可以为至少三个，且至少三个活性炭吸附柱700并联设置，至少三个活性炭吸附柱700其中的一个或多个用于吸附净化氢气，其中的一个用于脱附再生，其中的一个用于备用，至少三个活性炭吸附柱700以使整个尾气回收过程能够连续不中断。氢气储罐710还连接有氢气回收管道720，通过氢气回收管道720将氢气通入到还原炉100内，作为还原炉100的生产原料，防止尾气中的氢气浪费，提高多晶硅生产过程的环保节能性和资源回收节约性。

还原炉100的尾气中，还含有硅粉，硅粉较容易堵塞后续系统中的管道，基于此，在一种可选的实施例中，本申请公开的一种多晶硅制备节能回收系统还可以包括硅粉除尘装置800，还原炉100的尾气出口与硅粉除尘装置800的进口相连，硅粉除尘装置800的出口与冷却换热系统300的尾气进口相连，以使还原炉100的高温尾气首先经过硅粉除尘装置800回收其中的硅粉，然后将除去硅粉后的尾气通入到后续的系统中，从而避免硅粉堵塞后续系统中的管道，提高系统的可靠性和稳定性。具体地，硅粉除尘装置800可以为布袋除尘器。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，包括还原炉（100）、第一换热器（210）、冷却换热系统（300）、吸收塔（400）和解析塔（500），所述还原炉（100）的尾气出口与所述冷却换热系统（300）的尾气进口相连，所述冷却换热系统（300）的气相出口与所述吸收塔（400）的废气进口相连，所述冷却换热系统（300）的液相出口与所述第一换热器（210）的管程进口相连，所述第一换热器（210）的管程出口与所述解析塔（500）的富液进口相连，所述吸收塔（400）的冷氢出口与所述冷却换热系统（300）的冷媒进口相连，所述吸收塔（400）的富液出口与所述第一换热器（210）的管程进口相连通，所述解析塔（500）的贫液出口与所述第一换热器（210）的壳程进口相连，所述第一换热器（210）的壳程出口与所述吸收塔（400）的贫液进口相连通。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，所述冷却换热系统（300）包括一级换热器（310）和二级换热器（320），所述还原炉（100）的尾气出口与所述一级换热器（310）的壳程进口相连通，所述一级换热器（310）的气相出口与所述二级换热器（320）的壳程进口相连，所述二级换热器（320）的气相出口与所述吸收塔（400）的废气进口相连，所述一级换热器（310）和所述二级换热器（320）的液相出口均与所述第一换热器（210）的管程进口相连，所述吸收塔（400）的冷氢出口与所述二级换热器（320）管程进口相连，所述二级换热器（320）管程出口与所述一级换热器（310）的管程进口相连。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，所述冷却换热系统（300）还包括初级换热器（340）和压缩机（350），所述初级换热器（340）为空气冷却器，所述还原炉（100）的尾气出口与所述初级换热器（340）的壳程进口相连，所述初级换热器（340）的气相出口与所述压缩机（350）的进口相连，所述压缩机（350）的出口与所述一级换热器（310）的壳程进口相连，所述初级换热器（340）的液相出口与所述第一换热器（210）的管程进口相连。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，还包括第二换热器（220），所述吸收塔（400）的富液出口与所述第二换热器（220）的管程进口相连，所述第二换热器（220）的管程出口与所述第一换热器（210）的管程进口相连，所述第一换热器（210）的壳程出口与所述第二换热器（220）的壳程进口相连，所述第二换热器（220）的壳程出口与所述吸收塔（400）的贫液进口相连。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，所述第二换热器（220）的壳程进口处连接有氯硅烷回收管道（600），或，所述第二换热器（220）的壳程出口处连接有所述氯硅烷回收管道（600）。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，还包括活性炭吸附柱（700）、第三换热器（230）和第一加热器（240），所述冷却换热系统（300）的冷媒出口与所述活性炭吸附柱（700）的吸附进口相连，所述活性炭吸附柱（700）的吸附出口连接有氢气储罐（710），所述氢气储罐（710）与所述第三换热器（230）的管程进口相连，所述第三换热器（230）的管程出口与所述第一加热器（240）的加热进口相连，所述第一加热器（240）的加热出口与所述活性炭吸附柱（700）的脱附进口相连，所述活性炭吸附柱（700）的脱附出口与所述第三换热器（230）的壳程进口相连，所述第三换热器（230）的壳程出口与所述冷却换热系统（300）的尾气进口相连。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，所述活性炭吸附柱（700）的数量为至少三个，且至少三个所述活性炭吸附柱（700）并联设置，所述氢气储罐（710）还连接有氢气回收管道（720）。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，还包括硅粉除尘装置（800），所述还原炉（100）的尾气出口与所述硅粉除尘装置（800）的进口相连，所述硅粉除尘装置（800）的出口与所述冷却换热系统（300）的尾气进口相连。

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