CN220310077U - 一种多晶硅生产尾气综合利用系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种多晶硅生产尾气综合利用系统，在尾气管道中尾气的流动方向上，尾气管道具有第一水冷夹套段和第二水冷夹套段，第一水冷夹套段的出口与第一闪蒸罐的进口相连，第二水冷夹套段的出口与第二闪蒸罐的进口相连，解析塔和TCS加热系统的蒸汽加热进口均与第二闪蒸罐的出口相连，解析塔和TCS加热系统的蒸汽加热出口均与第二水冷夹套段的进口相连。能够使尾气实现两级梯度冷却，实现尾气的快速冷却，无需使用氟利昂冷却剂进行冷却尾气，且通过两级梯度吸收尾气中的热量，用于产生饱和蒸汽，可用于为解析塔和TCS加热系统提供热量，防止造成能源、资源的浪费，节省采购外供蒸汽的费用，提高多晶硅生产的经济效益。

Description

一种多晶硅生产尾气综合利用系统

技术领域

本申请涉及多晶硅生产技术领域，特别是涉及一种多晶硅生产尾气综合利用系统。

背景技术

改良西门子法生产高纯多晶硅是现阶段主流的多晶硅生产工艺，还原炉是多晶硅生产中的核心设备，其原理是在超过10000V的高压击穿高纯硅芯，持续向还原炉内通入高纯氢气和三氯氢硅，在约1100℃下氢气还原高纯三氯氢硅生成单质硅并沉积在硅芯表面，还原炉排出大量尾气（多晶硅生产尾气），回收利用尾气中的氢气和氯硅烷，从而达到一个闭环生产的工艺。

现有技术中，由于整个还原反应的温度氛围约1100℃，从还原炉出来的尾气会携带的大量热量，尾气温度较高，在对尾气进行处理前，即回收尾气中的氢气和氯硅烷前，首先需要对尾气进行冷却，为了快速冷却，通常采用氟利昂冷却剂进行冷却尾气，由于氟利昂冷却剂价格较高，导致尾气回收成本较高，且氟利昂冷却剂使用后排放到大气中会造成大气氟利昂污染，造成大气环境污染，严重影响大气环境安全。同时，由于还原炉内排出的尾气携带有大量的热量，直接通过额外的冷媒（氟利昂冷却剂）进行冷却，对尾气中的热量并没有加以利用，这就造成了一种能源、资源的浪费。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的技术中，为了快速冷却尾气，通常采用氟利昂冷却剂进行冷却，导致尾气回收成本较高，造成大气环境污染，且对尾气中的热量并没有加以利用，造成了能源、资源的浪费的问题。提供一种多晶硅生产尾气综合利用系统，能够解决现有技术中的上述相关问题。

一种多晶硅生产尾气综合利用系统，包括还原炉、尾气管道、第一闪蒸罐、第二闪蒸罐、尾气处理系统和TCS加热系统，所述尾气管道与所述还原炉的尾气出口相连，所述尾气管道的出口与所述尾气处理系统的进口相连，在所述尾气管道中尾气的流动方向上，所述尾气管道具有第一水冷夹套段和第二水冷夹套段，所述第一水冷夹套段的出口与所述第一闪蒸罐的进口相连，所述第二水冷夹套段的出口与所述第二闪蒸罐的进口相连，所述尾气处理系统包括解析塔，所述解析塔的蒸汽加热进口和所述TCS加热系统的蒸汽加热进口均与所述第二闪蒸罐的出口相连，所述TCS加热系统的出料口与所述还原炉的进料口相连，所述解析塔的蒸汽加热出口和所述TCS加热系统的蒸汽加热出口均与所述第二水冷夹套段的进口相连。

优选地，上述一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，还包括十公斤蒸汽使用端，所述第一闪蒸罐的出口与所述十公斤蒸汽使用端的蒸汽加热进口相连，所述十公斤蒸汽使用端的蒸汽加热出口与所述第一水冷夹套段的进口相连。

优选地，上述一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，还包括TCS预热器，所述TCS预热器的管程进口为TCS进料口，所述TCS预热器的管程出口与所述TCS加热系统的进料口相连，所述尾气管道的出口与所述TCS预热器的壳程进口相连，所述TCS预热器的壳程出口与所述尾气处理系统的进口相连。

优选地，上述一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，还包括氢气预热器，所述氢气预热器的管程进口为氢气进料口，所述氢气预热器的管程出口与所述还原炉的进料口相连，所述尾气管道的出口与所述氢气预热器的壳程进口相连，所述氢气预热器的壳程出口与所述TCS预热器的壳程进口相连。

优选地，上述一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，所述TCS加热系统包括依次相连的汽化器和过热器，所述汽化器的蒸汽加热进口和所述过热器的蒸汽加热进口均与所述第二闪蒸罐的出口相连，所述汽化器的蒸汽加热出口和所述过热器的蒸汽加热出口均与所述第二水冷夹套段的进口相连，所述过热器的出料口与所述还原炉的进料口相连。

优选地，上述一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，还包括硅粉除尘器，所述还原炉的尾气出口与所述硅粉除尘器的进口相连，所述硅粉除尘器的出口与所述尾气管道相连。

优选地，上述一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，还包括电加热器，所述第二闪蒸罐的蒸汽出口与所述电加热器的进口相连，所述解析塔的蒸汽加热进口和所述TCS加热系统的蒸汽加热进口均与所述电加热器的出口相连。

优选地，上述一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，所述第二水冷夹套段的进口处设置有空气冷却器，所述解析塔的蒸汽加热出口和所述TCS加热系统的蒸汽加热出口均与所述空气冷却器的进口相连，所述空气冷却器的出口与所述第二水冷夹套段的进口相连。

本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本申请实施例公开的一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，通过设置第一水冷夹套段和第二水冷夹套段两级分段冷却尾气，且冷却温度呈梯度下降，以使尾气实现两级梯度冷却，实现尾气的快速冷却，无需使用氟利昂冷却剂进行冷却尾气，避免使用氟利昂冷却剂进行冷却尾气而导致尾气回收成本较高，以及避免氟利昂冷却剂使用后排放到大气中而造成大气环境污染，同时，通过两级梯度吸收尾气中的热量，避免尾气直接通入到尾气处理系统而导致尾气中热量浪费，能够将尾气中较多的热量回收到这部分冷却水中，提高尾气中的热量回收率，并将尾气中的热量吸收储存到冷却水中，然后将吸热升温后的冷却水用于产生4公斤压力及10公斤压力的饱和蒸汽，可供多晶硅生产过程中的多个工序使用，节省外供蒸汽的费用，减少成本投入，提高经济效益，且将这部分4公斤饱和蒸汽用于为解析塔和TCS加热系统提供热量，以将尾气中大量热量回收利用，避免这部分热量浪费，防止造成能源、资源的浪费，并且使用这部分4公斤饱和蒸汽代替原有解析塔和TCS加热系统所需的外供蒸汽，节省解析塔和TCS加热系统所需的外供蒸汽，从而节省采购外供蒸汽的费用，减少成本投入，提高多晶硅生产的经济效益。

附图说明

图1为本申请实施例公开的一种多晶硅生产尾气综合利用系统的示意图。

其中：还原炉100、尾气管道200、第一水冷夹套段210、第二水冷夹套段220、第一闪蒸罐310、第二闪蒸罐320、尾气处理系统400、解析塔410、TCS加热系统500、汽化器510、过热器520、十公斤蒸汽使用端610、TCS预热器620、氢气预热器630、静态混合器640、硅粉除尘器650、电加热器660、空气冷却器670。

实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“底端”、“顶端”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参考图1，本申请实施例公开一种多晶硅生产尾气综合利用系统，包括还原炉100、尾气管道200、第一闪蒸罐310、第二闪蒸罐320、尾气处理系统400和TCS加热系统500，其中：

还原炉100生产尾气的温度约220℃，尾气管道200与还原炉100的尾气出口相连，以将尾气通入到尾气管道200中，在尾气管道200中尾气的流动方向上，尾气管道200具有第一水冷夹套段210和第二水冷夹套段220，第一水冷夹套段210和第二水冷夹套段220中均有冷却水。从还原炉100的尾气出口排出的尾气进入尾气管道200后，首先与第一水冷夹套段210中的冷却水进行换热，第一水冷夹套段210中的冷却水进水温度170℃左右，以使尾气管道200中的尾气与第一水冷夹套段210中的冷却水进行换热，以使冷却水冷却尾气，冷却水吸收尾气中的热量，在第一水冷夹套段210中的冷却水回收尾气中的热量后，第一水冷夹套段210中的冷却水出水温度200℃左右，通过第一水冷夹套段210中的冷却水冷却尾气至200℃左右。

然后尾气与第二水冷夹套段220中的冷却水进行换热，第二水冷夹套段220中的冷却水进水温度140℃左右，以使尾气管道200中的尾气与第二水冷夹套段220中的冷却水进行换热，以使冷却水冷却尾气，冷却水吸收尾气中的热量，在第二水冷夹套段220中的冷却水回收尾气中的热量后，第二水冷夹套段220中的冷却水出水温度170℃左右，通过第一水冷夹套段210中的冷却水冷却尾气至182℃左右。尾气管道200的出口与尾气处理系统400的进口相连，以将换热冷却后的尾气通入到尾气处理系统400中进行回收处理。

通过设置第一水冷夹套段210和第二水冷夹套段220两级分段冷却尾气，且第一水冷夹套段210和第二水冷夹套段220中冷却水的温度呈梯度下降，以使尾气实现两级梯度冷却，实现尾气的快速冷却，且避免将温度较低的冷却水直接冷却220℃的尾气，这样冷却温差过大，容易造成冷却夹套中气压过大而爆炸，还能够避免冷却夹套温度分布差距较大而导致冷却夹套容易热损而使用寿命较短，同时，通过冷却水吸收尾气中的热量，避免尾气直接通入到尾气处理系统400而导致尾气中热量浪费，且通过两级梯度吸收尾气中的热量，能够将尾气中较多的热量回收到这部分冷却水中，提高尾气中的热量回收率。

第一水冷夹套段210的出口与第一闪蒸罐310的进口相连，从第一水冷夹套段210的出口排出的冷却水通入到第一闪蒸罐310中，通入到第一闪蒸罐310中的冷却水温度为200℃左右，200℃的冷却水在第一闪蒸罐310内进行闪蒸产生10公斤压力的饱和蒸汽，温度约为184℃。第二水冷夹套段220的出口与第二闪蒸罐320的进口相连，从第二水冷夹套段220的出口排出的冷却水通入到第二闪蒸罐320中，通入到第二闪蒸罐320中的冷却水温度为170℃左右，170℃的冷却水在第二闪蒸罐320内进行闪蒸产生4公斤压力的饱和蒸汽，温度约为152℃。也就是说，通过冷却水对尾气进行冷却，并将尾气中的热量吸收储存到冷却水中，然后通过回收的热量用于产生4公斤压力及10公斤压力的饱和蒸汽，4公斤压力及10公斤压力的饱和蒸汽可以供多晶硅生产过程中的多个工序使用，节省外供蒸汽的费用，减少成本投入，提高经济效益。

尾气处理系统400包括解析塔410，在尾气回收处理过程中，也就是在尾气处理系统400回收处理尾气的过程中，需要解析塔410，解析塔410在尾气处理系统400中的应用对于本领域技术人员来说较为常规，且解析塔410的工作原理及工艺用途均为已知技术，为了文本简洁，在此不再赘述。需要说明的是，解析塔410在工作过程中需要外供热量，通常通过外供蒸汽提供热量。解析塔410的蒸汽加热进口和TCS加热系统500的蒸汽加热进口均与第二闪蒸罐320的出口相连，以将第二闪蒸罐320产生的4公斤饱和蒸汽通过蒸汽加热进口通入到解析塔410中，以使4公斤饱和蒸汽为解析塔410提供热量，从而使得解析塔410正常工作，避免解析塔410需要外供蒸汽提供热量而造成生产成本较高。

同时，将第二闪蒸罐320产生的4公斤饱和蒸汽通过TCS加热系统500的蒸汽加热进口通入到TCS加热系统500中，以使4公斤饱和蒸汽为TCS加热系统500提供热量，TCS加热系统500用于加热TCS，在TCS通入到还原炉100中时，需要加热，因此使用TCS加热系统500加热TCS，并使用第二闪蒸罐320产生的4公斤饱和蒸汽为TCS加热系统500提供热量，避免TCS加热系统500需要外供蒸汽提供热量而造成生产成本较高。TCS加热系统500的出料口与还原炉100的进料口相连，以将经过TCS加热系统500加热后的TCS通入到还原炉100中进行多晶硅的生产。

解析塔410的蒸汽加热出口和TCS加热系统500的蒸汽加热出口均与第二水冷夹套段220的进口相连，4公斤饱和蒸汽在解析塔410及TCS加热系统500使用结束后，也就是提供热量、换热后，温度有所下降，通过控制流量，以使温度下降至140℃左右，然后从解析塔410的蒸汽加热出口和TCS加热系统500的蒸汽加热出口排出，回流通入到第二水冷夹套段220的进口，以使这部分冷却水回流至第二水冷夹套段220中，继续在第二水冷夹套段220中对尾气冷却吸热，实现尾气中热量的回收，以此循环，实现这部分冷却水的循环。

4公斤饱和蒸汽在解析塔410及TCS加热系统500使用结束后，温度下降至140℃左右，通过解析塔410及TCS加热系统500代替现有技术中的风冷或者冷媒将4公斤饱和蒸汽的温度降低至140℃左右，实现冷却水的冷却，避免需要额外的冷媒进行冷却，然后通入到第二水冷夹套段220中，以继续吸收尾气中的热量，以此循环，实现冷却水的循环，以此循环，实现尾气上热量的回收利用。

本申请实施例公开的一种多晶硅生产尾气综合利用系统中，通过设置第一水冷夹套段210和第二水冷夹套段220两级分段冷却尾气，且冷却温度呈梯度下降，以使尾气实现两级梯度冷却，实现尾气的快速冷却，无需使用氟利昂冷却剂进行冷却尾气，避免使用氟利昂冷却剂进行冷却尾气而导致尾气回收成本较高，以及避免氟利昂冷却剂使用后排放到大气中而造成大气环境污染，同时，通过两级梯度吸收尾气中的热量，避免尾气直接通入到尾气处理系统400而导致尾气中热量浪费，能够将尾气中较多的热量回收到这部分冷却水中，提高尾气中的热量回收率，并将尾气中的热量吸收储存到冷却水中，然后将吸热升温后的冷却水用于产生4公斤压力及10公斤压力的饱和蒸汽，4公斤压力及10公斤压力的饱和蒸汽可以供多晶硅生产过程中的多个工序使用，节省外供蒸汽的费用，减少成本投入，提高经济效益，且将这部分4公斤饱和蒸汽用于为解析塔410和TCS加热系统500提供热量，以将尾气中大量热量回收利用，避免这部分热量浪费，防止造成能源、资源的浪费，并且使用这部分4公斤饱和蒸汽代替原有解析塔410和TCS加热系统500所需的外供蒸汽，节省解析塔410和TCS加热系统500所需的外供蒸汽，从而节省采购外供蒸汽的费用，减少成本投入，提高多晶硅生产的经济效益。

作为优选，本申请公开的系统还可以包括十公斤蒸汽使用端610，第一闪蒸罐310的出口与十公斤蒸汽使用端610的蒸汽加热进口相连，十公斤蒸汽使用端610的蒸汽加热出口与第一水冷夹套段210的进口相连，10公斤饱和蒸汽在十公斤蒸汽使用端610使用结束后，温度下降至170℃左右，然后通入到第一水冷夹套段210中，以继续吸收尾气中的热量，以此循环，实现冷却水的循环，以此循环，实现尾气上热量的回收利用。

如上文所述，在TCS通入到还原炉100中时，需要加热，因此使用TCS加热系统500加热TCS，并使用第二闪蒸罐320产生的4公斤饱和蒸汽为TCS加热系统500提供热量，由于TCS常温下为液态，而通入到还原炉100中时需要为汽态，具体地，TCS加热系统500可以包括依次相连的汽化器510和过热器520，汽化器510的蒸汽加热进口和过热器520的蒸汽加热进口均与第二闪蒸罐320的出口相连，汽化器510的蒸汽加热出口和过热器520的蒸汽加热出口均与第二水冷夹套段220的进口相连，过热器520的出料口与还原炉100的进料口相连。首先将液态的TCS通入到汽化器510中加热汽化，然后再通入到过热器520进一步提高温度，通过两级加热，加热效率高，使得TCS的温度较高，满足还原炉100进料温度要求，且对TCS进行了汽化，满足还原炉100进料要求。

进一步地，本申请公开的系统还可以包括TCS预热器620，TCS预热器620的管程进口为TCS进料口，TCS预热器620的管程出口与TCS加热系统500的进料口相连，尾气管道200的出口与TCS预热器620的壳程进口相连，TCS预热器620的壳程出口与尾气处理系统400的进口相连。通过增加TCS预热器620，以对TCS进行预热，以使进入到TCS加热系统500中的TCS温度较高，提高TCS加热效率，避免直接将常温TCS通入到TCS加热系统500中而导致需要大量热量进行汽化，并汽化效率低，同时，通过TCS预热器620吸收尾气中的余热，以对尾气中的余热进一步回收利用，避免浪费，从而进一步提高对尾气中热量的回收利用率，避免造成了能源、资源的浪费。且能够对尾气实现进一步的降温，以使尾气温度满足尾气处理系统400尾气进口温度要求，进一步避免需要额外的冷媒进行冷却，降低生产成本。

作为优选，本申请公开的系统还可以包括氢气预热器630，氢气预热器630的管程进口为氢气进料口，氢气预热器630的管程出口与还原炉100的进料口相连，尾气管道200的出口与氢气预热器630的壳程进口相连，氢气预热器630的壳程出口与TCS预热器620的壳程进口相连。还原炉100所需的原料还有氢气，通过氢气预热器630吸收尾气中的余热进行氢气的加热，避免氢气需要额外的蒸汽进行加热，节省加热氢气所需的外供蒸汽，从而节省采购外供蒸汽的费用，减少成本投入，提高多晶硅生产的经济效益，且通过氢气预热器630和TCS预热器620两级吸收尾气中的余热，能够进一步提高尾气余热的回收率，进一步避免热量浪费，同时，能够对尾气实现进一步的降温，以使尾气温度满足尾气处理系统400尾气进口温度要求，进一步避免需要额外的冷媒进行冷却，降低生产成本。

具体地，本申请公开的系统还可以包括静态混合器640，TCS加热系统500的出料口和氢气预热器630的管程出口均与静态混合器640的进口相连，静态混合器640的出口与还原炉100的进料口相连，通过静态混合器640将加热后的TCS和氢气进行混合，以使混合后的物料温度均匀，避免TCS和氢气分别通入还原炉100中物料分布不均而影响多晶硅的品质，从而保证产品质量和品质。

如上文所述，还原炉100的尾气出口与尾气管道200相连，以将尾气通入到尾气管道200中，由于尾气中含有硅粉，硅粉容易堵塞后续工序的管道及尾气管道200，基于此，在一种可选的实施例中，本申请公开的系统还可以包括硅粉除尘器650，还原炉100的尾气出口与硅粉除尘器650的进口相连，硅粉除尘器650的出口与尾气管道200相连，以使还原炉100的高温尾气首先经过硅粉除尘器650回收其中的硅粉，然后将除去硅粉后的尾气通入到后续的系统中，从而避免硅粉堵塞后续系统中的管道，提高系统的可靠性和稳定性。具体地，硅粉除尘器650可以为布袋除尘器。

在还原炉100启炉或停炉时，功率较低，可能导致产生的热量不够产生4公斤压力的饱和蒸汽，为了保证后续使用该4公斤饱和蒸汽的部件能够正常运行，可选地，本申请公开的系统还可以包括电加热器660，第二闪蒸罐320的蒸汽出口与电加热器660的进口相连，解析塔410的蒸汽加热进口和TCS加热系统500的蒸汽加热进口均与电加热器660的出口相连。在还原炉100启炉或停炉时，开启电加热器660，通过电加热器660加热冷却水，以产生4公斤饱和蒸汽，避免还原炉100启炉或停炉功率较低无法产生4公斤压力的饱和蒸汽而导致系统不能正常运行，从而保证后续使用该4公斤饱和蒸汽的部件能够正常运行，保证整个多晶硅生产系统的能够正常运行，进而而提高该系统的运行稳定性。

如上文所述，4公斤饱和蒸汽在解析塔410及TCS加热系统500使用结束后，温度下降至140℃左右，通过解析塔410及TCS加热系统500代替现有技术中的风冷或者冷媒将4公斤饱和蒸汽的温度降低至140℃左右，实现冷却水的冷却，可能存在部分没有冷却至140℃左右，导致没有冷却至140℃左右的冷却水循环吸收尾气中的热量时，冷却水温度较高，导致吸热效果较差，影响尾气中热量的回收效率，基于此，可选地，第二水冷夹套段220的进口处设置有空气冷却器670，解析塔410的蒸汽加热出口和TCS加热系统500的蒸汽加热出口均与空气冷却器670的进口相连，空气冷却器670的出口与第二水冷夹套段220的进口相连。在回流的冷却水温度高于140℃时，将冷却水通入到空气冷却器670中进一步冷却，由于前端已经实现了降温（解析塔410及TCS加热系统500吸热冷却降温），因此，冷却水温度即使高于140℃，误差也较小（也不会高很多，不会超过150℃），通过空气冷却的方式便可以完成冷却，无需使用冷媒进行冷却，避免需要使用额外的冷媒进行冷却，从而保证通入到第二水冷夹套段220中的冷却水温度为140℃左右，避免影响尾气中热量的回收效率，提高该系统对尾气中热量的回收效果及效率。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种多晶硅生产尾气综合利用系统，其特征在于，包括还原炉（100）、尾气管道（200）、第一闪蒸罐（310）、第二闪蒸罐（320）、尾气处理系统（400）和TCS加热系统（500），所述尾气管道（200）与所述还原炉（100）的尾气出口相连，所述尾气管道（200）的出口与所述尾气处理系统（400）的进口相连，在所述尾气管道（200）中尾气的流动方向上，所述尾气管道（200）具有第一水冷夹套段（210）和第二水冷夹套段（220），所述第一水冷夹套段（210）的出口与所述第一闪蒸罐（310）的进口相连，所述第二水冷夹套段（220）的出口与所述第二闪蒸罐（320）的进口相连，所述尾气处理系统（400）包括解析塔（410），所述解析塔（410）的蒸汽加热进口和所述TCS加热系统（500）的蒸汽加热进口均与所述第二闪蒸罐（320）的出口相连，所述TCS加热系统（500）的出料口与所述还原炉（100）的进料口相连，所述解析塔（410）的蒸汽加热出口和所述TCS加热系统（500）的蒸汽加热出口均与所述第二水冷夹套段（220）的进口相连。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气综合利用系统，其特征在于，还包括十公斤蒸汽使用端（610），所述第一闪蒸罐（310）的出口与所述十公斤蒸汽使用端（610）的蒸汽加热进口相连，所述十公斤蒸汽使用端（610）的蒸汽加热出口与所述第一水冷夹套段（210）的进口相连。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气综合利用系统，其特征在于，还包括TCS预热器（620），所述TCS预热器（620）的管程进口为TCS进料口，所述TCS预热器（620）的管程出口与所述TCS加热系统（500）的进料口相连，所述尾气管道（200）的出口与所述TCS预热器（620）的壳程进口相连，所述TCS预热器（620）的壳程出口与所述尾气处理系统（400）的进口相连。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅生产尾气综合利用系统，其特征在于，还包括氢气预热器（630），所述氢气预热器（630）的管程进口为氢气进料口，所述氢气预热器（630）的管程出口与所述还原炉（100）的进料口相连，所述尾气管道（200）的出口与所述氢气预热器（630）的壳程进口相连，所述氢气预热器（630）的壳程出口与所述TCS预热器（620）的壳程进口相连。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气综合利用系统，其特征在于，所述TCS加热系统（500）包括依次相连的汽化器（510）和过热器（520），所述汽化器（510）的蒸汽加热进口和所述过热器（520）的蒸汽加热进口均与所述第二闪蒸罐（320）的出口相连，所述汽化器（510）的蒸汽加热出口和所述过热器（520）的蒸汽加热出口均与所述第二水冷夹套段（220）的进口相连，所述过热器（520）的出料口与所述还原炉（100）的进料口相连。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气综合利用系统，其特征在于，还包括硅粉除尘器（650），所述还原炉（100）的尾气出口与所述硅粉除尘器（650）的进口相连，所述硅粉除尘器（650）的出口与所述尾气管道（200）相连。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气综合利用系统，其特征在于，还包括电加热器（660），所述第二闪蒸罐（320）的蒸汽出口与所述电加热器（660）的进口相连，所述解析塔（410）的蒸汽加热进口和所述TCS加热系统（500）的蒸汽加热进口均与所述电加热器（660）的出口相连。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气综合利用系统，其特征在于，所述第二水冷夹套段（220）的进口处设置有空气冷却器（670），所述解析塔（410）的蒸汽加热出口和所述TCS加热系统（500）的蒸汽加热出口均与所述空气冷却器（670）的进口相连，所述空气冷却器（670）的出口与所述第二水冷夹套段（220）的进口相连。