CN218262716U - 一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构 - Google Patents

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王启胜
江涛
吴志军
方健
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Abstract

本发明涉及真空镀膜机溅镀室传动检测技术领域。一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,包括安装架,所述的安装架上设有可拆卸的传动轨道,安装架的一端固定设有驱动结构,传动轨道上均匀排列设有若干个驱动轮,传动轨道一端的驱动轮上均设有轨道驱动轴,轨道驱动轴与驱动结构通过联轴器连接。本发明提供了一种可以快速调试传动轨道的运行状况,无需人工操作进行调试,人工成本低的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构;解决了现有技术中存在的维护保养后的轨道出现故障则需拆卸重新进行维护保养,此过程操作繁琐且耗时长,同时也许多人同时操作,人工成本高的技术问题。

Description

一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构
技术领域
本发明涉及真空镀膜机溅镀室传动检测技术领域,尤其涉及一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,主要思路是分成蒸发和溅射两种,一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜,主要用于建筑、机械加工、电子、五金制造等多个领域;溅镀室是真空镀膜机的一部分,其主要作用是将未镀膜的产品在溅镀室内部进行溅镀作业,其中传动轨道主要负责将将未镀膜和已镀膜的工件进行交换,从而实现连续作业,传动轨道在使用一段时间后就需要将其拆卸进行维护保养,以防止传动时出现卡顿。
目前真空镀膜机溅镀室传动轨道保养是传统的人工维护保养,维护保养完成后直接放在机台上进行测试,如遇维护保养后的轨道出现故障则需拆卸重新进行维护保养,此过程操作繁琐且耗时长,同时也许多人同时操作,人工成本高,因此具有改进的必要。
发明内容
本发明提供了一种可以快速调试传动轨道的运行状况,无需人工操作进行调试,人工成本低的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构;解决了现有技术中存在的维护保养后的轨道出现故障则需拆卸重新进行维护保养,此过程操作繁琐且耗时长,同时也许多人同时操作,人工成本高的技术问题。
本发明的上述技术问题是通过下述技术方案解决的:一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,包括安装架,所述的安装架上设有可拆卸的传动轨道,安装架的一端固定设有驱动结构,传动轨道上均匀排列设有若干个驱动轮,传动轨道一端的驱动轮上均设有轨道驱动轴,轨道驱动轴与驱动结构通过联轴器连接。传动轨道安装在安装架上,驱动结构用于带动轨道驱动轴转动,联轴器用于将驱动结构与轨道驱动轴连接,驱动结构可以带动传动轨道上的驱动轮转动,这样可以通过驱动结构来检测传动轨道是否可以正常连续的工作,用于调试传动轨道,联轴器的原理与现有的联轴器相同,本实用新型不再进行冗余的介绍。
作为优选,所述的驱动结构包括驱动电机,驱动电机固定在安装架的一侧。驱动电机的作用是提供动力,驱动电机的转动轴固定在联轴器的一端,转动轮上的轨道驱动轴固定在联轴器的另一端,这样驱动电机的转动轴转动时可以直接带动轨道驱动轴转动。
作为优选,所述的驱动结构还包括与驱动电机连接的控制单元。控制单元的作用是调节驱动电机的正反转以及转速,进而调节轨道驱动轴以及转动轮的转速与转动方向。
作为优选,所述的联轴器的每个安装端均对称开设有2个调节槽,联轴器内设有可以贯穿调节槽的安装螺钉。联轴器的两端分别开设有2个调节槽,这样可以使联轴器的调节范围增大,可以适应多种尺寸。
作为优选,所述的驱动电机通过若干个连接座安装在安装架上。连接座可以便于将驱动电机固定在安装架上,通过螺钉将连接座固定在安装架上,就完成了驱动电机的固定安装。
作为优选,所述的连接座的数量为2个。连接座的数量可以根据实际情况增加或减少,本实用新型以2个连接座为例进行说明,2个连接座分别安装在驱动电机转动轴的两侧,这样可以保证驱动电机在安装架上的稳定。
因此,本发明的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构具备下述优点:铰链强度高,承重能力大大增加,可以方位调节铰链位置,在转动安装座与固定安装座上均可以进行位置调节,无需拆卸铰链即可完成调节,便于操作。
附图说明
图1是本发明的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构的立体结构示意图。
图2是图1的俯视结构示意图。
图3是图1中联轴器的立体结构示意图。
图中,安装架1,传动轨道2,驱动轮3,轨道驱动轴4,驱动电机5,连接座6,调节槽7,安装螺钉8,控制单元9,联轴器10。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例:
如图1和2和3所示,一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,包括安装架1,安装架1上固定安装有传动轨道2,传动轨道2的中部均匀排列安装有若干个可以转动的驱动轮3,传动轨道2一端的驱动轮3的中心处均固定安装有轨道驱动轴4,安装架1的一端安装有驱动结构,驱动结构包括安装在安装架1上的驱动电机5,驱动电机5通过2个对称设置的连接座6安装在安装架1上,驱动电机5的转动轴与轨道驱动轴4固定连接,驱动电机5的转动轴通过联轴器10与轨道驱动轴4连接,联轴器10的2个安装端上均对称开设有2个调节槽7,联轴器10内安装有4个安装螺钉8,每个安装螺钉8均可以贯穿一个调节槽7,驱动结构还包括与驱动电机5连接的控制单元9。
使用时,先安装驱动电机5,使用螺钉将2个连接座6固定安装在安装架1上,将驱动电机5的转动轴安装到联轴器10的一端,将安装螺钉8贯穿调节槽7,随着安装螺钉8的安装,调节槽7的宽度逐渐减小,驱动电机5的转动轴逐渐被夹紧,然后将传动轨道2放置在安装架1上,将驱动轮3上的轨道驱动轴4安装到联轴器10的另一端内,同理,将安装螺钉8贯穿调节槽7进行安装,随着安装螺钉8的安装,轨道驱动轴4逐渐被夹紧,然后再通过螺钉将传动轨道2固定在安装架1上,最后开启控制单元9,调节电机的转速以及正反转,电机开始工作后,电机的转动轴与轨道驱动轴4同步转动,进而带动传动轨道2上所有的驱动轮3转动,通过观察传动轨道2的运输情况完成调试。

Claims (6)

1.一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,包括安装架,其特征在于:所述的安装架上设有可拆卸的传动轨道,安装架的一端固定设有驱动结构,传动轨道上均匀排列设有若干个驱动轮,传动轨道一端的驱动轮上均设有轨道驱动轴,轨道驱动轴与驱动结构通过联轴器连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,其特征在于:所述的驱动结构包括驱动电机,驱动电机固定在安装架的一侧。
3.根据权利要求2所述的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,其特征在于:所述的驱动结构还包括与驱动电机连接的控制单元。
4.根据权利要求1所述的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,其特征在于:所述的联轴器的每个安装端均对称开设有2个调节槽,联轴器内设有可以贯穿调节槽的安装螺钉。
5.根据权利要求2所述的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,其特征在于:所述的驱动电机通过若干个连接座安装在安装架上。
6.根据权利要求5所述的一种用于检测真空镀膜机溅镀室传动轨道的结构,其特征在于:所述的连接座的数量为2个。
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