CN218249110U - 一种固态前驱体源瓶结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种固态前驱体源瓶结构，所述固态前驱体源瓶结构包括瓶体和密封盖板；瓶体内形成有气体反应室；密封盖板覆盖于瓶体上，并密封气体反应室；密封盖板上设有气体接口，气体接口与气体反应室连通；气体接口和气体反应室之间设有过滤器；过滤器通过固定装置设置于密封盖板上，并且过滤器与密封盖板之间设有密封圈；本实用新型提供的固态前驱体源瓶结构，通过在过滤器与密封盖板之间设有密封圈，这样能够有效提升气体过滤的气密性，并且提升过滤器的过滤效果，同时还避免在瓶体上设有过滤结构，降低了产品加工难度；本实用新型提供的固态前驱体源瓶结构，结构简单，方便加工成型，且装配较为方便。

Description

一种固态前驱体源瓶结构

技术领域

本实用新型属于技术领域，具体涉及一种固态前驱体源瓶结构。

背景技术

现有的固态前驱体源瓶过滤系统结构一般设计在瓶体上，整体过滤结构较为复杂，不方便加工成型，且密封性较差，严重影响到固态前驱体源瓶过滤效果。

基于上述固态前驱体源瓶中存在的技术问题，尚未有相关的解决方案；因此迫切需要寻求有效方案以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述技术中存在的不足之处，提出一种固态前驱体源瓶结构，旨在解决现有固态前驱体源瓶过滤结构复杂、不方便加工的问题之一。

本实用新型提供一种固态前驱体源瓶结构，所述固态前驱体源瓶结构包括瓶体和密封盖板；瓶体内形成有气体反应室；密封盖板覆盖于瓶体上，并密封气体反应室；密封盖板上设有气体接口，气体接口与气体反应室连通；气体接口和气体反应室之间设有过滤器；过滤器通过固定装置设置于密封盖板上，并且过滤器与密封盖板之间设有密封圈。

进一步地，密封盖板内设有过滤腔，过滤腔分别与气体接口和气体反应室连通；过滤器设置于过滤腔内，密封圈夹紧在过滤器和过滤腔内位于气体接口一侧之间。

进一步地，固定装置为孔卡；孔卡设置于过滤腔的侧壁上；孔卡位于过滤器面向气体反应室的一侧，从而将过滤器固定在过滤腔内。

进一步地，过滤腔内位于气体接口一侧还设有环形的凹槽，密封圈设置于凹槽内，并凸出于凹槽。

进一步地，固态前驱体源瓶结构还包括气口接板，气口接板上设有连接柱，连接柱内形成有通气道；气口接板固定设置于密封盖板上，并位于气体接口背离于过滤腔一侧的端面上；气口接板通过连接柱插接于气体接口内，从而使通气道与过滤腔连通。

进一步地，密封盖板上设有多个气体接口；气体接口为气体入口；或者，气体接口为气体出口。

进一步地，瓶体为圆柱体结构，密封盖板为圆盘结构，并且瓶体的顶部形成有连接法兰，密封盖板通过连接件密封连接于连接法兰上。

进一步地，过滤器为圆形过滤网。

进一步地，密封圈的横截面为圆形。

进一步地，密封盖板上设有多个气体入口和一个气体出口，气体入口和气体出口分别设置于密封盖板的周向上。

本实用新型提供的固态前驱体源瓶结构，通过在过滤器与密封盖板之间设有密封圈，这样能够有效提升气体过滤的气密性，并且提升过滤器的过滤效果，同时还避免在瓶体上设有过滤结构，降低了产品加工难度；本实用新型提供的固态前驱体源瓶结构，结构简单，方便加工成型，且装配较为方便。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

以下将结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型一种固态前驱体源瓶结构的剖视图；

图2为本实用新型一种固态前驱体源瓶结构实施例一局部示意图；

图3为本实用新型一种固态前驱体源瓶结构实施例二局部示意图；

图4为本实用新型一种固态前驱体源瓶结构的俯视图。

图中：1、瓶体；11、气体反应室；2、密封盖板；21、过滤腔；22、气体接口；3、气口接板；31、通气道；4、气体入口；5、气体出口；6、密封圈；7、过滤器；8、固定装置；9、孔卡；10、连接件。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1至图4所示，本实用新型提供一种固态前驱体源瓶结构，所述固态前驱体源瓶结构包括瓶体1和密封盖板2；瓶体1内形成有气体反应室11，从而能够向气体反应室11内充气，进行混合反应；密封盖板2覆盖于瓶体1上，并密封气体反应室11；密封盖板2上设有气体接口22，气体接口22与气体反应室11连通；气体接口和气体反应室11之间设有过滤器7；过滤器7通过固定装置8设置于密封盖板2上，并且过滤器7与密封盖板2之间设有密封圈6；采用上述方案，通过在过滤器7与密封盖板2之间设有密封圈6，能够有效提升气体过滤的气密性，提升过滤器的过滤效果，同时还避免在瓶体上设有过滤结构，降低了产品加工难度。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，密封盖板2内设有过滤腔21，该过滤腔21分别与气体接口22和气体反应室11连通，从而实现气体的流通，气体的流通方向F具体参阅图1所示；进一步地，过滤器7设置于过滤腔21内，并且使密封圈6夹紧在过滤器7和过滤腔21内位于气体接口22一侧(该侧即为过滤腔21内与气体接口22连通的一面)之间，从而实现弹性密封，在气体流通时还可以起到缓冲的作用。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，本实施例中，固定装置8为孔卡9；具体地，孔卡9设置于过滤腔21的侧壁上；孔卡9位于过滤器7面向气体反应室11的一侧，从而将过滤器7固定在过滤腔21内。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，过滤腔21内位于气体接口22一侧还设有环形的凹槽，其中，密封圈6设置于凹槽内，并凸出于凹槽，这样能够与过滤器7形成过盈配合，形成缓冲结构。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，固态前驱体源瓶结构还包括气口接板3，该气口接板3上设有连接柱，并且连接柱内形成有通气道31；具体地，气口接板3固定设置于密封盖板2上，并位于气体接口22背离于过滤腔21一侧的端面上；气口接板3通过连接柱插接于气体接口22内，从而使通气道31与过滤腔21连通；通过设计有气口接板3这样方便连接气体。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，密封盖板2上设有多个气体接口22；气体接口22为气体入口4；或者，气体接口22为气体出口5。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，瓶体1为圆柱体结构，且密封盖板2为圆盘结构；具体地，瓶体1的顶部形成有连接法兰，该密封盖板2通过连接件10密封连接于连接法兰上，从而实现密封连接。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，过滤器7为圆形过滤网，以对应密封圈6和安装在圆形的过滤腔21内，形成良好的密封结构。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，密封圈6的横截面为圆形，这样方便安装在凹槽内，提升密封效果。

优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，密封盖板2上设有多个气体入口4和一个气体出口5，多个气体入口4优选为两个，这样能够向气体反应室11充入不同气体进行反应；具体地，气体入口4和气体出口5分别设置于密封盖板2的周向上，这样能够让气体充分反应。

本实用新型提供的固态前驱体源瓶结构，通过在过滤器与密封盖板之间设有密封圈，这样能够有效提升气体过滤的气密性，并且提升过滤器的过滤效果，同时还避免在瓶体上设有过滤结构，降低了产品加工难度；本实用新型提供的固态前驱体源瓶结构，结构简单，方便加工成型，且装配较为方便。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述所述技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术对以上实施例所做的任何改动修改、等同变化及修饰，均属于本技术方案的保护范围。

Claims (10)

1.一种固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述固态前驱体源瓶结构包括瓶体(1)和密封盖板(2)；所述瓶体(1)内形成有气体反应室(11)；所述密封盖板(2)覆盖于所述瓶体(1)上，并密封所述气体反应室(11)；所述密封盖板(2)上设有气体接口(22)，所述气体接口(22)与所述气体反应室(11)连通；所述气体接口和所述气体反应室(11)之间设有过滤器(7)；所述过滤器(7)通过固定装置(8)设置于所述密封盖板(2)上，并且所述过滤器(7)与所述密封盖板(2)之间设有密封圈(6)。

2.根据权利要求1所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述密封盖板(2)内设有过滤腔(21)，所述过滤腔(21)分别与所述气体接口(22)和所述气体反应室(11)连通；所述过滤器(7)设置于所述过滤腔(21)内，所述密封圈(6)夹紧在所述过滤器(7)和所述过滤腔(21)内位于所述气体接口(22)一侧之间。

3.根据权利要求2所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述固定装置(8)为孔卡(9)；所述孔卡(9)设置于所述过滤腔(21)的侧壁上；所述孔卡(9)位于所述过滤器(7)面向所述气体反应室(11)的一侧，从而将所述过滤器(7)固定在所述过滤腔(21)内。

4.根据权利要求2所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述过滤腔(21)内位于所述气体接口(22)一侧还设有环形的凹槽，所述密封圈(6)设置于所述凹槽内，并凸出于所述凹槽。

5.根据权利要求2所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述固态前驱体源瓶结构还包括气口接板(3)，所述气口接板(3)上设有连接柱，所述连接柱内形成有通气道(31)；所述气口接板(3)固定设置于所述密封盖板(2)上，并位于所述气体接口(22)背离于所述过滤腔(21)一侧的端面上；所述气口接板(3)通过所述连接柱插接于所述气体接口(22)内，从而使所述通气道(31)与所述过滤腔(21)连通。

6.根据权利要求1所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述密封盖板(2)上设有多个气体接口(22)；所述气体接口(22)为气体入口(4)；或者，所述气体接口(22)为气体出口(5)。

7.根据权利要求1所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述瓶体(1)为圆柱体结构，所述密封盖板(2)为圆盘结构，并且所述瓶体(1)的顶部形成有连接法兰，所述密封盖板(2)通过连接件(10)密封连接于所述连接法兰上。

8.根据权利要求1所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述过滤器(7)为圆形过滤网。

9.根据权利要求1所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述密封圈(6)的横截面为圆形。

10.根据权利要求6所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述密封盖板(2)上设有多个气体入口(4)和一个气体出口(5)，所述气体入口(4)和所述气体出口(5)分别设置于所述密封盖板(2)的周向上。

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