CN218223026U - 一种svg显影喷淋装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种SVG显影喷淋装置，其包括：壳体、第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置、水平转盘、竖直转盘、显影液喷嘴和纯水喷嘴，所述第一旋转驱动装置竖向设置在壳体内腔底部，所述水平转盘设置在第一旋转驱动装置的顶部，所述水平转盘上设置有硅片载具，所述第二旋转驱动装置水平设置在壳体的内壁上，所述竖直转盘设置在第二旋转驱动装置的前端并位于硅片载具的上方，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴沿竖直转盘的不同径向设置在竖直转盘的正面，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为60~120度。本实用新型所述的SVG显影喷淋装置，通过第二旋转驱动装置进行竖直转盘的旋转驱动，自动进行显影液喷嘴和纯水喷嘴的切换，并能避免相互影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种SVG显影喷淋装置。
背景技术
在半导体生产工艺中，常用SVG显影机对硅片进行显影和定影。为了提升显影液在硅片表面的附着效果，通常先在硅片表面喷纯水，再对硅片进行显影液的喷淋，最好再利用纯水对硅片表面进行喷淋清洗，去除显影液。
实际生产过程中，为了避免纯水和显影液在单独喷淋时的相互影响，申请号为201921948660.7的实用新型专利公开了一种不受残留余滴影响的SVG显影机，手动进行喷嘴的喷淋角度调整，还需要电动滑轨驱动安装块的移动调节，结构复杂，操作比较繁琐，不适合自动化的生产，需要进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种SVG显影喷淋装置，实现显影液喷嘴和纯水喷嘴的切换，避免纯水和显影液在单独喷淋时的相互影响。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种SVG显影喷淋装置，包括：壳体、第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置、水平转盘、竖直转盘、显影液喷嘴和纯水喷嘴，所述第一旋转驱动装置竖向设置在壳体内腔底部，所述水平转盘设置在第一旋转驱动装置的顶部，所述水平转盘上设置有硅片载具，所述第二旋转驱动装置水平设置在壳体的内壁上，所述竖直转盘设置在第二旋转驱动装置的前端并位于硅片载具的上方，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴沿竖直转盘的不同径向设置在竖直转盘的正面，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为60~120度。
其中，所述第一旋转驱动装置采用电机。
其中，所述壳体底部设置有位于水平转盘边缘及外侧下方的环形接液器皿。
其中，所述水平转盘底部边缘设置有向下指向环形接液器皿内腔的导流套。
其中，所述第二旋转驱动装置采用电机或者摆台气缸。
其中，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角与摆台气缸的回转角度相对应。
其中，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为90度。
其中，所述竖直转盘的正面设置有与显影液喷嘴和纯水喷嘴一一对应的导套，所述导套上设置有紧固螺丝。
其中，所述壳体设置有第一管接头和第二管接头，所述第一管接头与显影液喷嘴之间设置有第一软管，所述第二管接头与纯水喷嘴之间设置有第二软管。
本实用新型的有益效果：一种SVG显影喷淋装置，特别设计了第二旋转驱动装置进行竖直转盘的旋转驱动，自动进行显影液喷嘴和纯水喷嘴的切换，并能避免显影液喷嘴和纯水喷嘴的相互影响，确保单独进行纯水或显影液的高效喷淋，提升自动化水平。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合图1并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。
如图1所示的SVG显影喷淋装置，包括：壳体1、第一旋转驱动装置13、第二旋转驱动装置2、水平转盘12、竖直转盘3、显影液喷嘴16和纯水喷嘴8，所述第一旋转驱动装置13竖向设置在壳体1内腔底部，在本实施例中，所述第一旋转驱动装置13采用电机，可以通过PLC控制器进行旋转控制。
所述水平转盘12同心设置在第一旋转驱动装置13的顶部，通过第一旋转驱动装置13带动水平转盘12的旋转。所述水平转盘12上设置有硅片载具14，进行硅片的定位，跟随水平转盘12进行旋转，低速旋转可以提升硅片的喷淋效率，高速旋转进行甩干。
所述第二旋转驱动装置2水平设置在壳体1的内壁上，所述竖直转盘3设置在第二旋转驱动装置2的前端并位于硅片载具14的上方，所述第二旋转驱动装置2可以采用电机或者摆台气缸，可以通过PLC控制器进行旋转控制，带动竖直转盘3的旋转，进行显影液喷嘴16和纯水喷嘴8的切换。
所述显影液喷嘴16和纯水喷嘴8沿竖直转盘3的不同径向设置在竖直转盘3的正面，在本实施例中，所述竖直转盘3的正面设置有与显影液喷嘴16和纯水喷嘴8一一对应的导套9，导套9焊接在竖直转盘3的正面，结构牢固，通过导套9进行显影液喷嘴16和纯水喷嘴8的安装，方便进行伸出长度的调节。如图1，所述导套9上设置有紧固螺丝10，进行显影液喷嘴16和纯水喷嘴8调节后的固定。
为了避免相互影响，所述显影液喷嘴16和纯水喷嘴8的夹角为60~120度，在本实施例中，如图1所示，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为90度，第二旋转驱动装置2采用摆台气缸，所述显影液喷嘴16和纯水喷嘴10的夹角与摆台气缸的回转角度相对应，因此，摆台气缸的回转角度设定也是90度，简化控制系统，进行显影液喷嘴16和纯水喷嘴8的切换，实现显影液和纯水的喷淋切换。
所述壳体1设置有第一管接头4和第二管接头7，所述第一管接头4与显影液喷嘴16之间设置有第一软管5，所述第二管接头7与纯水喷嘴8之间设置有第二软管6，方便分别为显影液喷嘴16和纯水喷嘴10供液。
所述壳体1底部设置有位于水平转盘12边缘及外侧下方的环形接液器皿11，承接从水平转盘12上流出的显影液和纯水。在本实施例中，所述水平转盘12底部边缘设置有向下指向环形接液器皿11内腔的导流套15，进行显影液和纯水的导流，加强对第一旋转驱动装置13的防护。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (9)
1.一种SVG显影喷淋装置，其特征在于，包括：壳体、第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置、水平转盘、竖直转盘、显影液喷嘴和纯水喷嘴，所述第一旋转驱动装置竖向设置在壳体内腔底部，所述水平转盘设置在第一旋转驱动装置的顶部，所述水平转盘上设置有硅片载具，所述第二旋转驱动装置水平设置在壳体的内壁上，所述竖直转盘设置在第二旋转驱动装置的前端并位于硅片载具的上方，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴沿竖直转盘的不同径向设置在竖直转盘的正面，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为60~120度。
2.根据权利要求1所述的SVG显影喷淋装置，其特征在于，所述第一旋转驱动装置采用电机。
3.根据权利要求1所述的SVG显影喷淋装置，其特征在于，所述壳体底部设置有位于水平转盘边缘及外侧下方的环形接液器皿。
4.根据权利要求3所述的SVG显影喷淋装置，其特征在于，所述水平转盘底部边缘设置有向下指向环形接液器皿内腔的导流套。
5.根据权利要求1所述的SVG显影喷淋装置，其特征在于，所述第二旋转驱动装置采用电机或者摆台气缸。
6.根据权利要求5所述的SVG显影喷淋装置，其特征在于，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角与摆台气缸的回转角度相对应。
7.根据权利要求6所述的SVG显影喷淋装置，其特征在于，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为90度。
8.根据权利要求1所述的SVG显影喷淋装置，其特征在于，所述竖直转盘的正面设置有与显影液喷嘴和纯水喷嘴一一对应的导套，所述导套上设置有紧固螺丝。
9.根据权利要求1所述的SVG显影喷淋装置，其特征在于，所述壳体设置有第一管接头和第二管接头，所述第一管接头与显影液喷嘴之间设置有第一软管，所述第二管接头与纯水喷嘴之间设置有第二软管。
Priority Applications (1)
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| CN202221928732.3U CN218223026U (zh) | 2022-07-22 | 2022-07-22 | 一种svg显影喷淋装置 |
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2022
- 2022-07-22 CN CN202221928732.3U patent/CN218223026U/zh active Active
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