CN218215244U - 一种新型硅片传输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型硅片传输装置，包括底板，所述底板的上侧由前至后设有伸缩气缸和固定台，所述伸缩气缸的伸缩杆上端设有承载板，所述固定台的上端设有工作台；所述工作台与所述伸缩气缸相邻的端面上设有滑轨，所述滑轨上设有滑块，首先平衡伸缩气缸的下降极限，将层叠的硅片放置在承载板上，预先编好伸缩气缸和带导杆气缸的行进程序，伸缩气缸带动承载板上层叠的硅片向上移动，同时带导杆气缸的伸缩杆伸出时，通过其设置的挡片伸进对应高度的2个凸轮轴承随动器之间，可将层叠的硅片停止，方便后续的取件设备进行取件，带导杆气缸收缩，带动挡片收缩，伸缩气缸继续向上推进，带动层叠的硅片向上推进。

Description

一种新型硅片传输装置

技术领域

本实用新型涉及硅片传输技术领域，具体领域为一种新型硅片传输装置。

背景技术

在硅片的加工生产中，为了满足不同的应用需求，时常需要将硅片进行各种化学处理，随着自动化生产的普及，硅片一般会通过流水线运送至各个加工工位，而为了提高生产效率，有些加工工段需要将硅片向储料器的工件取放位置进行间距进给，现有技术中，硅片的间距进给一般通过人力实现，不仅费时费力、进给效率低、不利于产业化、成本高，而且很容易因操作不当导致硅片污染或破损。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型硅片传输装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型硅片传输装置，包括底板，所述底板的上侧由前至后设有伸缩气缸和固定台，所述伸缩气缸的伸缩杆上端设有承载板，所述固定台的上端设有工作台；

所述工作台与所述伸缩气缸相邻的端面上设有滑轨，所述滑轨上设有滑块，所述滑块上设有连接板，且所述连接板的上端设于所述承载板的下端面。

优选的，所述伸缩气缸的伸缩杆与所述承载板之间设有浮动接头。

优选的，所述承载板的上侧层叠设有多个硅片。

优选的，所述工作台的左右两侧壁上均设有带导杆气缸，所述带导杆气缸的伸缩板上设有挡片固定板，所述挡片固定板的前端设有挡片。

优选的，所述带导杆气缸上设有气缸用传感器和流速调节器。

优选的，所述连接板的俯视图形为门形结构件，且所述连接板的左右两侧均呈纵向一字型设有多个凸轮轴承随动器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型首先平衡伸缩气缸的下降极限，将层叠的硅片放置在承载板上，预先编好伸缩气缸和带导杆气缸的行进程序，伸缩气缸带动承载板上层叠的硅片向上移动，同时带导杆气缸的伸缩杆伸出时，通过其设置的挡片伸进对应高度的2个凸轮轴承随动器之间，可将层叠的硅片停止，方便后续的取件设备进行取件，带导杆气缸收缩，带动挡片收缩，伸缩气缸继续向上推进，带动层叠的硅片向上推进，如此往复工作，实现向储料器的工件取放位置进行间距进给。

附图说明

图1为本实用新型的主视示意图；

图2为本实用新型的左视示意图

图3为本实用新型的右视示意图。

图中：1、底板；2、伸缩气缸；3、固定台；4、承载板；5、工作台；6、滑轨；7、滑块；8、连接板；9、硅片；10、带导杆气缸；11、挡片固定板；12、挡片；13、气缸用传感器；14、流速调节器；15、凸轮轴承随动器；16、浮动接头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种新型硅片传输装置，包括底板1，底板1的上侧由前至后设有伸缩气缸2和固定台3，伸缩气缸2采用现有的市售结构，伸缩气缸2的伸缩杆上端设有承载板4，固定台3的上端设有工作台5；工作台5与伸缩气缸2相邻的端面上设有滑轨6，滑轨6上设有滑块7，滑块7与滑轨6之间采用滑动连接，滑块7上设有连接板8，且连接板8的上端设于承载板4的下端面，滑块7与连接板8的设置保证了承载板4的稳定性，避免其由于承载物品重心偏移而导致倾斜。

具体而言，伸缩气缸2的伸缩杆与承载板4之间设有浮动接头16，伸缩气缸2如果直接安装到被移动物体上，可能会导致因“偏心”、“平衡度精度不良”造成“活塞杆弯曲”、“杆支轴承和杆密封件磨损”等后果，进一步影响气缸的性能以及使用寿命，浮动接头16发挥的作用是减轻被驱动气缸的偏心，在允许的偏心范围内使气缸和连接件稳定工作，同时解决平衡精度不足的问题，保持伸缩气缸2工作时候的动作平稳。

具体而言，承载板4的上侧层叠设有多个硅片9，硅片9为现有的市售产品。

具体而言，工作台5的左右两侧壁上均设有带导杆气缸10，带导杆气缸10的伸缩板上设有挡片固定板11，挡片固定板11的前端设有挡片12，带导杆气缸10采用现有的市售结构。

具体而言，带导杆气缸10上设有气缸用传感器13和流速调节器14，气缸用传感器13和流速调节器14均为现有的市售结构。

具体而言，连接板8的俯视图形为门形结构件，且连接板8的左右两侧均呈纵向一字型设有多个凸轮轴承随动器15，就其功能而言，凸轮轴承随动器15有许多用途，如导向滚轮、阀杆滚轮、实现滑动的凸轮滚轮和压力滚轮等，主要适用于多种机械，如自动机械、特种机械、凸轮工作装置、各种搬运系统、传送机和加工中心的换刀装置。

工作原理：本实用新型在工作时，首先平衡伸缩气缸2的下降极限，将层叠的硅片9放置在承载板4上，预先编好伸缩气缸2和带导杆气缸10的行进程序，伸缩气缸2带动承载板4上层叠的硅片9向上移动，同时带导杆气缸10的伸缩杆伸出时，通过其设置的挡片12伸进对应高度的2个凸轮轴承随动器15之间，可将层叠的硅片9停止，方便后续的取件设备进行取件，带导杆气缸10收缩，带动挡片12收缩，伸缩气缸2继续向上推进，带动层叠的硅片9向上推进，如此往复工作，实现向储料器的工件取放位置进行间距进给。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种新型硅片传输装置，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的上侧由前至后设有伸缩气缸(2)和固定台(3)，所述伸缩气缸(2)的伸缩杆上端设有承载板(4)，所述固定台(3)的上端设有工作台(5)；

所述工作台(5)与所述伸缩气缸(2)相邻的端面上设有滑轨(6)，所述滑轨(6)上设有滑块(7)，所述滑块(7)上设有连接板(8)，且所述连接板(8)的上端设于所述承载板(4)的下端面。

2.根据权利要求1所述的一种新型硅片传输装置，其特征在于：所述伸缩气缸(2)的伸缩杆与所述承载板(4)之间设有浮动接头(16)。

3.根据权利要求1所述的一种新型硅片传输装置，其特征在于：所述承载板(4)的上侧层叠设有多个硅片(9)。

4.根据权利要求1所述的一种新型硅片传输装置，其特征在于：所述工作台(5)的左右两侧壁上均设有带导杆气缸(10)，所述带导杆气缸(10)的伸缩板上设有挡片固定板(11)，所述挡片固定板(11)的前端设有挡片(12)。

5.根据权利要求4所述的一种新型硅片传输装置，其特征在于：所述带导杆气缸(10)上设有气缸用传感器(13)和流速调节器(14)。

6.根据权利要求1所述的一种新型硅片传输装置，其特征在于：所述连接板(8)的俯视图形为门形结构件，且所述连接板(8)的左右两侧均呈纵向一字型设有多个凸轮轴承随动器(15)。

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