CN218215231U - 一种自动下晶托装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种自动下晶托装置，包括晶托、平移装置以及与所述平移装置远端连接的升降装置，所述升降装置包括第二平台，所述第二平台远端连接抓取装置，所述抓取装置包括连接在所述第二平台远端的至少两根连杆，所述连杆远端通过固定座与电磁铁连接，所述电磁铁通电吸住所述晶托，所述升降装置相对于所述平移装置沿竖直方向升降，使所述晶托落入载具中，结构简单，操作方便，升降晶托稳定且不易损坏晶托。

Description

一种自动下晶托装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种自动下晶托装置。

背景技术

硅片在取放时，通常采用机械臂抓取以提升效率。例如在晶托清洗脱胶时，晶托在不同水槽内的移动需要靠机械手来完成。

文献号为CN207509217U的中国实用新型专利公开了一种硅片抓取机械手，包括支架，旋转装置，连接杆，固定架，伸缩气缸，连接板和夹紧装置，所述旋转装置设置在支架上，连接杆一端与旋转装置连接，另一端与固定架连接，所述伸缩气缸设置在固定架上，伸缩气缸的伸缩杆与连接板连接，所述夹紧装置设置在连接板上，夹紧装置包括夹持气缸和多个爪部，多个爪部设置在夹持气缸侧面且与夹持气缸连接。该技术方案虽然能够抓取晶托，但机械手移动时容易出现晃动，且机械手的抓取压力容易损坏晶托，影响晶托的使用寿命。

实用新型内容

针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种自动下晶托装置，以解决现有技术中的一个或多个问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种自动下晶托装置，包括晶托、平移装置以及与所述平移装置远端连接的升降装置，所述升降装置包括第二平台，所述第二平台远端连接抓取装置，所述抓取装置包括连接在所述第二平台远端的至少两根连杆，所述连杆远端通过固定座与电磁铁连接，所述电磁铁通电吸住所述晶托，所述升降装置相对于所述平移装置沿竖直方向升降，使所述晶托落入载具中。

进一步的，所述平移装置包括滑杆以及在所述滑杆上滑动的第一平台，所述第一平台设置至少两个升降井。

进一步的，所述抓取装置还包括控制盒，所述控制盒设置在所述第一平台近端，所述控制盒与所述电磁铁连接，用于控制所述电磁铁通电、断电。

进一步的，所述升降井包括在第一平台上开设的第一孔以及设置在所述第一孔近端的限位框。

进一步的，所述第二平台近端设置至少两根杆部，所述杆部表面具有齿部，所述杆部穿过所述第一孔并在所述限位框中竖直升降。

进一步的，所述第一平台近端设置第一固定座，所述第一固定座包括第一电机以及由所述第一电机输出端驱动的第一转轴，所述第一转轴两端设置第一齿轮，所述第一齿轮与所述杆部的齿部啮合。

进一步的，所述第一平台近端设置第二固定座，所述第二固定座包括第二电机以及由所述第二电机输出端驱动的第二转轴，所述第二转轴两端设置第二齿轮。

进一步的，所述自动下晶托装置还包括移动杆，所述移动杆与所述滑杆平行设置，所述移动杆远端与所述第二齿轮啮合。

进一步的，所述第二平台近端设置光电传感器。

进一步的，所述晶托包括第一板体以及设置在所述第一板体近端的第二板体，所述第一板体内开设安装槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果如下：

(一)本实用新型公开了一种自动下晶托装置，包括晶托、平移装置以及与所述平移装置远端连接的升降装置，所述升降装置包括第二平台，所述第二平台远端连接抓取装置，所述抓取装置包括连接在所述第二平台远端的至少两根连杆，所述连杆远端通过固定座与电磁铁连接，所述电磁铁通电吸住所述晶托，所述升降装置相对于所述平移装置沿竖直方向升降，使所述晶托落入载具中，结构简单，操作方便，升降晶托稳定且不易损坏晶托。

(二)进一步的，抓取装置包括与第二平台远端固定连接的连杆，固定座通过固定件固定在电磁铁近端，所述固定座与连杆远端延伸部互相垂直设置，避免晶托升降时前后左右晃动，提高晶托运输稳定性。

附图说明

图1示出了本实用新型实施例一提供的一种自动下晶托装置中升降装置、抓取装置的结构示意图。

图2示出了本实用新型实施例一提供的一种自动下晶托装置中平移装置的结构示意图。

图3示出了本实用新型实施例一提供的一种自动下晶托装置中载具的结构示意图。

图4示出了本实用新型实施例一提供的一种自动下晶托装置中晶托的侧视结构示意图。

图5示出了本实用新型实施例一提供的一种自动下晶托装置中晶托的俯视结构示意图。

图6示出了本实用新型实施例一提供的一种自动下晶托装置中晶托与抓取装置的部分结构示意图。

附图中标记：

1、平移装置；10、第一平台；11、第一固定座；111、第一电机；112、第一转轴；113、第一齿轮；12、第二固定座；121、第二电机；122、第二转轴；123、第二齿轮；13、滑杆；14、升降井；141、第一孔；142、限位框；2、升降装置；20、第二平台；21、光电传感器；22、杆部；221、齿部；3、抓取装置；31、连杆；32、固定块；321、固定件；33、电磁铁；34、控制盒；4、载具；41、箱体；42、滚轮；5、晶托；51、第一板体；52、第二板体；53、安装槽。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。

在本实用新型的描述中，限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

为了更加清楚地描述上述一种自动下晶托装置的结构，本实用新型限定术语“远端”和“近端”，具体而言，“远端”表示靠近上升方向的一端，“近端”表示靠近下降方向的一端，以图1为例，图1中杆部22的上端为近端，图1中杆部22的下端为远端。

实施例一

请参考图1、图2、图3和图6，一种自动下晶托装置，包括晶托5、平移装置1以及与所述平移装置1远端连接的升降装置2，所述升降装置2包括第二平台20，所述第二平台20远端连接抓取装置3，所述抓取装置3包括连接在所述第二平台20远端的至少两根连杆31，所述连杆31远端通过固定块32与电磁铁33连接，所述电磁铁33通电吸住所述晶托5，所述升降装置2相对于所述平移装置1沿竖直方向升降，使所述晶托5落入载具4中。

具体的，所述连杆31近端与第二平台20远端固定连接，所述固定块32通过固定件321固定在电磁铁33近端，所述固定块32与连杆31远端延伸部(图中未标注)互相垂直设置，避免晶托5升降时前后左右晃动，提高晶托5运输稳定性。

下面描述平移装置1和升降装置2的具体结构如下：

请参考图2，进一步的，所述平移装置1包括两根滑杆13以及在所述滑杆13上滑动的第一平台10，所述第一平台10设置至少两个升降井14。

请参考图2，进一步的，所述抓取装置3还包括控制盒34，所述控制盒34设置在所述第一平台10近端，所述控制盒34与所述电磁铁33连接，用于控制所述电磁铁33通电、断电。

请参考图2，进一步的，所述升降井14包括在第一平台10上开设的第一孔141以及设置在所述第一孔141近端的限位框142，所述限位框142为半包围结构。

请参考图1和图2，进一步的，所述第二平台20近端垂直设置两根杆部22，所述杆部22表面具有齿部221，所述杆部22穿过所述第一孔141并在所述限位框142中竖直升降。

请参考图1和图2，进一步的，所述第一平台10近端设置第一固定座11，所述第一固定座11近端连接第一电机111，所述第一转轴112穿过所述第一固定座11，第一电机111输出端通过现有技术中的齿轮传动驱动第一转轴112转动，所述第一转轴112两端设置第一齿轮113，所述第一齿轮113通过限位框142的开口与所述杆部22的齿部221啮合，使第一齿轮113转动时带动杆部22升降。

请参考图2，进一步的，所述第一平台10近端设置第二固定座12，所述第二固定座12近端连接第二电机121，所述第二转轴122穿过所述第二固定座12，第二电机121输出端通过现有技术中的齿轮传动驱动第二转轴122转动，所述第二转轴122两端设置第二齿轮123。优选的，所述第一平台10近端还设置轴承座(图中未示出)用于固定第二转轴122，避免第二转轴122由于对第一平台10的推力导致变形损坏。

请参考图2，进一步的，所述自动下晶托装置还包括移动杆(图中未示出)，所述移动杆设置在所述滑杆13正上方并与所述滑杆13平行，所述移动杆远端具有齿纹与所述第二齿轮123啮合，使第二齿轮123转动时带动第一平台10沿滑杆13滑动。

请参考图1和图2，进一步的，所述第二平台20近端设置光电传感器21，所述光电传感器21与第一电机111以及控制盒34连接，用于控制第二平台20升降高度以及控制盒34的启停。所述光电传感器21的发射端射出的光线与第一平台10垂直，通过反射光信号转换成电信号检测第二平台20升降距离。当第二平台20升降到位时，所述光电传感器21发送信号至控制盒34，使控制盒34控制电磁铁33通电或断电。

下面描述晶托5和载具4的具体结构如下：

请参考图4、图5和图6，进一步的，所述晶托5包括第一板体51以及连接在所述第一板体51近端的第二板体52，所述第一板体51内开设安装槽53。所述晶托5采用铁合金材料，能够被电磁铁33吸住。

请参考图3，进一步的，所述载具4包括箱体41以及设置在所述箱体41远端的四个滚轮42。

本实用新型的具体工作流程如下：

晶托5在水槽(图中未示出)中清洗完成后，第二电机121转动使第二齿轮123带动第二平台20沿滑杆13滑动，使自动下晶托装置停在水槽正上方，第一电机111转动使第一齿轮113带动杆部22下降，光电传感器21检测到第二平台20下降至电磁铁33与晶托5近端接触时，光电传感器21发送信号至控制盒34，控制盒34给电磁铁33通电使电磁铁33吸住晶托5，第一电机111反向转动使第一齿轮113带动杆部22上升，升降装置2带动晶托5上升。

第二电机121转动使第二齿轮123带动第二平台20沿滑杆13滑动，使自动下晶托装置停在载具4箱体41的正上方，第一电机111转动使第一齿轮113带动杆部22下降，升降装置2带动晶托5下降落入箱体41中，光电传感器21检测到第二平台20下降至晶托5落入载具4箱体41中时，光电传感器21发送信号至控制盒34，控制盒34给电磁铁33断电使电磁铁33不再吸住晶托5。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种自动下晶托装置，其特征在于：包括晶托、平移装置以及与所述平移装置远端连接的升降装置，所述升降装置包括第二平台，所述第二平台远端连接抓取装置，所述抓取装置包括连接在所述第二平台远端的至少两根连杆，所述连杆远端通过固定座与电磁铁连接，所述电磁铁通电吸住所述晶托，所述升降装置相对于所述平移装置沿竖直方向升降，使所述晶托落入载具中。

2.如权利要求1所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述平移装置包括滑杆以及在所述滑杆上滑动的第一平台，所述第一平台设置至少两个升降井。

3.如权利要求2所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述抓取装置还包括控制盒，所述控制盒设置在所述第一平台近端，所述控制盒与所述电磁铁连接，用于控制所述电磁铁通电、断电。

4.如权利要求2所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述升降井包括在第一平台上开设的第一孔以及设置在所述第一孔近端的限位框。

5.如权利要求4所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述第二平台近端设置至少两根杆部，所述杆部表面具有齿部，所述杆部穿过所述第一孔并在所述限位框中竖直升降。

6.如权利要求5所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述第一平台近端设置第一固定座，所述第一固定座包括第一电机以及由所述第一电机输出端驱动的第一转轴，所述第一转轴两端设置第一齿轮，所述第一齿轮与所述杆部的齿部啮合。

7.如权利要求2所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述第一平台近端设置第二固定座，所述第二固定座包括第二电机以及由所述第二电机输出端驱动的第二转轴，所述第二转轴两端设置第二齿轮。

8.如权利要求7所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述自动下晶托装置还包括移动杆，所述移动杆与所述滑杆平行设置，所述移动杆远端与所述第二齿轮啮合。

9.如权利要求1所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述第二平台近端设置光电传感器。

10.如权利要求1所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述晶托包括第一板体以及设置在所述第一板体近端的第二板体，所述第一板体内开设安装槽。

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