CN218215224U - 一种匀胶显影机的晶圆冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种冷却装置，尤其涉及一种匀胶显影机的晶圆冷却装置。提供一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室、冷却室、晶圆托盘、循环水机构、输液管、辅助装料机构和循环水机构等；密封室内通过滑槽滑动式连接冷却室，冷却室有若干分层，冷却室底部设有循环水机构，冷却室内固接晶圆托盘，冷却室左右两侧设置辅助装料机构，冷却室侧壁内排布输液管。在输液管和循环水机构的作用下，冷却室能够放置多片晶圆同时进行降温散热，通过热传导既能够快速的将晶圆热量传递走，又能够不损坏晶圆达到有效的降温。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种冷却装置，尤其涉及一种匀胶显影机的晶圆冷却装置。
背景技术
匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等，晶圆在光刻完成后，对光刻后留下的痕迹进行保留则需要使用显影机，将光刻胶加热取下后需要对晶圆进行冷却降温。
根据公开号为CN207542215U的专利文件中，公开了一种晶圆冷却装置，其通过“腔体、均流板、喷嘴、分隔层和透气性填充物”部件配合，解决了“即使冷却装置腔体内设置有均流板，也难以避免喷气气流不均现象”，但该专利只有冷却室，而每个冷却室内都只有一个冷盘，在冷却过程中，冷却室不仅占用面积大，一次也只有一个晶圆冷却，冷却效率较低，并且若是多个放置容易对晶圆造成碰撞损坏提高不良率。
针对上述问题，我们设计一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。
实用新型内容
本实用新型为了克服现有的匀胶显影机冷却效率较低的缺点，本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室、冷却室、晶圆托盘、循环水机构、输液管、连接头、导流板和辅助装料机构，密封室内通过滑槽滑动式连接冷却室，冷却室有若干分层，冷却室底部设有循环水机构，冷却室内固接晶圆托盘，冷却室左右两侧设置辅助装料机构，冷却室侧壁内排布输液管，输液管穿出冷却室侧壁与导流板通过连接头连接，且输液管的输入端和输出端均和循环水机构连接。
优选地，所述循环水机构还包括有防护板和水泵，冷却室底层设有储水室，储水室内固接隔板，隔板的一侧安装水泵，输液管的输入端与水泵的输出端连接，输液管的输出端位于隔板上方且贯穿固接，储水室通过防护板密封固接。
优选地，所述辅助装料机构还包括有托板、电动滑轨、滑杆和限位板，密封室顶部两侧均固接限位板，限位板与密封室底部共同均固接滑杆，滑杆上设置电动滑轨，冷却室底部固接托板，电动滑轨与托板固接。
优选地，还包括有灯板和温度传感器，晶圆托盘上设置温度传感器，密封室外侧两侧安装灯板，温度传感器和灯板电连接。
优选地，还包括有观察玻璃，密封室前侧设置观察玻璃。
优选地，所述灯板分段式设计，每段分别与对应位置处的温度传感器电连接。
本实用新型的有益效果为：
在输液管和循环水机构的作用下，冷却室能够放置多片晶圆同时进行降温散热，通过热传导既能够快速的将晶圆热量传递走，又能够不损坏晶圆达到有效的降温。
在温度传感器的作用下，检测到晶圆小于温度阈值后，灯板亮起，以此提示人们晶圆已经冷却到指定温度范围内。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图。
图2为本实用新型的冷却室，输液管等零部件部分立体结构示意图。
图3为本实用新型的电动滑轨、滑槽等零部件部分立体结构示意图。
图4为本实用新型的防护玻璃，限位板等零部件部分立体结构示意图。
图5为本实用新型的A处局部放大部分立体结构示意图。
附图中的标记为：1-密封室，2-冷却室，21-托板，3-晶圆托盘，4-循环水机构，41-防护板，5-水泵，6-输液管，61-导流板，7-辅助装料机构，70-电动滑轨，71-滑杆，72-限位板，73-滑槽，8-隔板，9-灯板，91-温度传感器，10-观察玻璃，11-连接头。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
实施例1
一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，如图1-图5所示，包括有密封室1、冷却室2、晶圆托盘3、循环水机构4、输液管6、连接头11、导流板61和辅助装料机构7，密封室1内通过滑槽73滑动式连接冷却室2，冷却室2有四层分层，冷却室2底部设有循环水机构4，冷却室2内焊接晶圆托盘3，晶圆托盘3上设有缓冲材质，能够防止晶圆碰损，冷却室2左右两侧设置辅助装料机构7，冷却室2侧壁内排布输液管6，输液管6穿出冷却室2侧壁与导流板61通过连接头11连接，且输液管6的输入端和输出端均和循环水机构4连接，导流板61内部中空，能够通过冷却液。
如图2、图3所示，所述辅助装料机构7还包括有托板21、电动滑轨70、滑杆71和限位板72，密封室1顶部左右两侧均焊接限位板72，限位板72与密封室1底部共同均固接滑杆71，滑杆71上设置电动滑轨70，冷却室2底部栓接托板21，电动滑轨70与托板21固接，限位板72能够对电动滑轨70进行限位，启动电动滑轨70能够带动托板21上升，从而实现冷却室上升。
需要对晶圆进行冷却时，将辅助送料机构启动，冷却室2升起后，机械臂将高温的晶圆夹住放置在晶圆托盘3上，冷却室2内能够放置四片晶圆，晶圆放置好之后，启动循环水机构4，循环水机构4将冷却液沿输液管6输围绕冷却室2的侧壁进行流动，使得冷却室2整体温度降低，冷却室2的温度低于晶圆，晶圆的热量将传递到冷却室2内，同时晶圆自身温度下降，并且一直处于流动的冷却液将冷却室2吸收的热量带走，最后回到储水室，通过上述方式，使得冷却室2能够放置多片晶圆同时进行降温散热，通过热传导既能够快速的将晶圆热量传递走，又能够不损坏晶圆达到有效的降温。
实施例2
在实施例1的基础之上，如图4、图5所示，所述循环水机构4还包括有防护板41和水泵5，冷却室2底层设有储水室，储水室内固接隔板8，储水室在隔板8的作用下分割成两个部分，且连接处采用防水密封，隔板8的右侧安装水泵5，隔板8右侧储存冷却液，输液管6的输入端与水泵5的输出端连接，输液管6的输出端位于隔板8上方且贯穿固接，储水室通过防护板41密封栓接，防护板41上设有进水和出水口，两个口外接换水机构。
如图4所示，还包括有灯板9和温度传感器91，晶圆托盘3上设置温度传感器91，密封室1外侧左右两侧安装灯板9，温度传感器91和灯板9电连接，灯板9呈分段式设计，每段分别与对应位置处的温度传感器91电连接，能够显示冷却室2不同位置的晶圆的状态。
如图1所示，还包括有观察玻璃10，密封室1前侧设置透明的观察玻璃10，通过观察玻璃10能够看到冷却室2内部。
循环水机构4启动后，水泵5输出端将冷却液传输到输液管6的输入端内，通过输液管6走完全程后进入到储水室内，再由水泵5输出端进行送液，以此完成循环，当循环水机构4运行到一定的时间后，外部有换液机构通过防护板41上的进水和出水口对储水室内的冷却液进行更换，避免冷却效果降低，温度传感器91检测到晶圆小于温度阈值后，灯板9亮起，以此提示人们晶圆已经冷却到指定温度范围内，并且可以通过观察玻璃10观察内部晶圆的情况。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (6)
1.一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室(1)和冷却室(2)，密封室(1)内通过滑槽(73)滑动式连接冷却室(2)，其特征在于，还包括有晶圆托盘(3)、循环水机构(4)、输液管(6)、连接头(11)、导流板(61)和辅助装料机构(7)，冷却室(2)有若干分层，冷却室(2)底部设有循环水机构(4)，冷却室(2)内固接晶圆托盘(3)，冷却室(2)左右两侧设置辅助装料机构(7)，冷却室(2)侧壁内排布输液管(6)，输液管(6)穿出冷却室(2)侧壁与导流板(61)通过连接头(11)连接，且输液管(6)的输入端和输出端均和循环水机构(4)连接。
2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，所述循环水机构(4)还包括有防护板(41)和水泵(5)，冷却室(2)底层设有储水室，储水室内固接隔板(8)，隔板(8)的一侧安装水泵(5)，输液管(6)的输入端与水泵(5)的输出端连接，输液管(6)的输出端位于隔板(8)上方且贯穿固接，储水室通过防护板(41)密封固接。
3.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，所述辅助装料机构(7)还包括有托板(21)、电动滑轨(70)、滑杆(71)和限位板(72)，密封室(1)顶部两侧均固接限位板(72)，限位板(72)与密封室(1)底部共同均固接滑杆(71)，滑杆(71)上设置电动滑轨(70)，冷却室(2)底部固接托板(21)，电动滑轨(70)与托板(21)固接。
4.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，还包括有灯板(9)和温度传感器(91)，晶圆托盘(3)上设置温度传感器(91)，密封室(1)外侧两侧安装灯板(9)，温度传感器(91)和灯板(9)电连接。
5.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，还包括有观察玻璃(10)，密封室(1)前侧设置观察玻璃(10)。
6.根据权利要求4所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，所述灯板(9)分段式设计，每段分别与对应位置处的温度传感器(91)电连接。
Priority Applications (1)
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| CN202222468573.XU CN218215224U (zh) | 2022-09-19 | 2022-09-19 | 一种匀胶显影机的晶圆冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN218215224U true CN218215224U (zh) | 2023-01-03 |
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ID=84634734
Family Applications (1)
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| CN202222468573.XU Active CN218215224U (zh) | 2022-09-19 | 2022-09-19 | 一种匀胶显影机的晶圆冷却装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN218215224U (zh) |
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2022
- 2022-09-19 CN CN202222468573.XU patent/CN218215224U/zh active Active
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