CN218182168U - 一种晶圆单片式背面清洗机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆单片式背面清洗机，包括转轴、卡盘以及冲洗管，卡盘安装在转轴由其带动旋转，在卡盘上设置有多个夹爪用于固定晶圆，所述冲洗管位于转轴内部，冲洗管的顶部伸出转轴，冲洗管侧壁与转轴内壁之间存在间隙，且在顶部设置有出水孔用于冲洗晶圆背面，所述冲洗管中还设置有与水路隔离的无尘气体通道，冲洗管的侧壁上设置多个气体喷射孔连通无尘气体通道，喷射孔的方向为斜向下，且喷射孔在冲洗管的侧壁圆周方向上均匀分布。当高速旋转时吸入大气空气后，氮气可将污染物向底部吹，避免污染物进入晶片背面和腔体。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工处理技术领域，具体涉及一种晶圆单片式背面清洗机。
背景技术
单片式清洗机在清洗过程中晶圆背面会有液体冲洗，会造成晶圆背面呈现出湿润的状态。在晶圆清洗过程卡盘是高速旋转的状态，旋转的过程由于会产生负压，将外部大气吸入到晶圆的表面，由于晶圆背面是湿润的状态加固大气中污染物的吸附，引起晶圆晶背颗粒增加的现象。现有技术中大多利用大环境的负压抽掉晶圆背面边缘的颗粒，但实际过程中由于空间较大，作用有限，故将大气中颗粒随着高速旋转吸附再晶圆的背面，造成产品的不良。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足，提供一种晶圆单片式背面清洗机。
为了解决上述现有技术的不足，本实用新型采用的技术方案为：一种晶圆单片式背面清洗机，包括转轴、卡盘以及冲洗管，卡盘安装在转轴由其带动旋转，在卡盘上设置有多个夹爪用于固定晶圆，所述冲洗管位于转轴内部，冲洗管的顶部伸出转轴，冲洗管侧壁与转轴内壁之间存在间隙，且在顶部设置有出水孔用于冲洗晶圆背面，所述冲洗管中还设置有与水路隔离的无尘气体通道，冲洗管的侧壁上设置多个气体喷射孔连通无尘气体通道，喷射孔的方向为斜向下，且喷射孔在冲洗管的侧壁圆周方向上均匀分布。
进一步的，所述喷射孔与竖直平面呈30°的夹角。
进一步的，所述无尘气体通道设置在冲洗管的管壁中，无尘气体通道连接氮气源。
进一步的，在转轴内部设置有套筒内衬，其位于冲洗管和转轴之间，套筒内衬与冲洗管侧壁之间的间隙最大宽度为1.2mm，无尘气体通道的直径以及喷射孔的直径均为5mm。
从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点：当高速旋转时吸入大气空气后，氮气可将污染物向底部吹，避免污染物进入晶片背面和腔体。
附图说明
图1为本实用新型的机构示意图；
图2为本实用新型中冲水管的结构示意图。
具体实施方式
如图1和图2所示，本实用新型的晶圆单片式背面清洗机包括转轴1、卡盘 3以及冲洗管5，转轴连接电机由其驱动高速旋转(图中未显示电机)。卡盘3 安装在转轴顶端由其带动旋转。在卡盘3上设置有多个夹爪4用于固定晶圆。冲洗管位于转轴内部，冲洗管5的顶部伸出转轴，冲洗管5侧壁与转轴内壁之间存在间隙，在转轴内部设置有套筒内衬，其位于冲洗管和转轴之间，套筒内衬与冲洗管侧壁之间的间隙最大宽度为1.2mm。冲洗管5的顶部设置有多个出水孔用于冲洗晶圆背面。
本实用新型中，在冲洗管中还设置有与水路隔离的氮气通道6，氮气通道设置在冲洗管的管壁中，从冲洗管底部朝上竖直设置，侧壁上则设置多个气体喷射孔7连通无尘气体通道，喷射孔7的方向为斜向下，喷射孔与竖直平面呈30°的夹角。喷射孔在冲洗管的侧壁圆周方向上均匀分布。本实施例中设置了八个喷射孔，氮气通道的直径以及喷射孔的直径均为5mm。
当高速旋转时吸入大气空气后，氮气可将污染物向底部吹，避免污染物进入晶片背面和腔体。
Claims (4)
1.一种晶圆单片式背面清洗机，包括转轴、卡盘以及冲洗管，卡盘安装在转轴由其带动旋转，在卡盘上设置有多个夹爪用于固定晶圆，所述冲洗管位于转轴内部，冲洗管的顶部伸出转轴，冲洗管侧壁与转轴内壁之间存在间隙，且在顶部设置有出水孔用于冲洗晶圆背面，其特征在于：所述冲洗管中还设置有与水路隔离的无尘气体通道，冲洗管的侧壁上设置多个气体喷射孔连通无尘气体通道，喷射孔的方向为斜向下，且喷射孔在冲洗管的侧壁圆周方向上均匀分布。
2.根据权利要求1所述的晶圆单片式背面清洗机，其特征在于：所述喷射孔与竖直平面呈30°的夹角。
3.根据权利要求1所述的晶圆单片式背面清洗机，其特征在于：所述无尘气体通道设置在冲洗管的管壁中，无尘气体通道连接氮气源。
4.根据权利要求3所述的晶圆单片式背面清洗机，其特征在于：在转轴内部设置有套筒内衬，其位于冲洗管和转轴之间，套筒内衬与冲洗管侧壁之间的间隙最大宽度为1.2mm，无尘气体通道的直径以及喷射孔的直径均为5mm。
Priority Applications (1)
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| CN202221779349.6U CN218182168U (zh) | 2022-07-11 | 2022-07-11 | 一种晶圆单片式背面清洗机 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN218182168U true CN218182168U (zh) | 2022-12-30 |
Family
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN218182168U (zh) |
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2022
- 2022-07-11 CN CN202221779349.6U patent/CN218182168U/zh active Active
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