CN218158470U - 一种精密光学玻璃片上的安装架以及安装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出的一种精密光学玻璃片的安装架，包括固定段、连接段和用于固定精密光学玻璃片的玻璃安装段；连接段包括至少一连接臂，固定段与玻璃安装段的分别连接于连接臂的两端；连接臂的两端细于连接臂的中间部分，其中，本实用新型提出的一种精密光学玻璃片的安装装置，包括固定座和周向均布于固定座上的至少三个安装组件，安装组件包括支撑部和上述的安装架；采用连接臂连接固定段和玻璃安装段，且该连接臂的两端细于连接部中间部分，增大了连接段的挠性；在玻璃片固定在安装装置的过程中，固定段可绕着刚度较弱的连接臂两端发生轻微旋转形变，减小了光学玻璃片所受到的安装应力的作用，保证精密端面的平面度。

Description

一种精密光学玻璃片上的安装架以及安装装置

技术领域

本发明涉及光学制造领域，特别是涉及一种精密光学玻璃片上的安装架以及安装装置。

背景技术

圆形的精密光学平板玻璃片(以下称光学玻璃片)是一些半导体设备中的关键零部件。这类玻璃片与一些关键物料，例如8寸或12寸晶片、UV光固化胶，直接接触，所以光学平板玻璃片与晶片直接接触的表面的平面度与半导体设备的整体精度有很大关系。通常，该类玻璃片的尺寸一般比较大，直径达到14英寸(350mm)，用适配8英寸或12英寸的晶圆。

如图1所示，该类光学玻璃片5包括两个端面，与晶片直接接触的精密端面51(其平面度为微米级或亚微米级)以及背向该精密端面的非精密端面52(其平面度无法达到微米级)。在现有技术中，需要通过特定的光学玻璃片安装设备对该光学平板玻璃片进行固定，再将其与晶片进行接触。其中，该光学玻璃片安装设备包括至少三个玻璃安装部，每个玻璃安装部上均具有抵接面和安装螺孔。其中，安装螺孔与光学平板玻璃片上的玻璃螺孔42相对应。对该光学玻璃片进行安装时，抵接面贴合光学玻璃片非精密端面，光学平板玻璃片通过螺栓与螺栓锁在玻璃安装部上。

但是，由于被玻璃安装部上的抵接面抵住的为光学平板玻璃片的非精密端面，经常会导致光学平板受到较大的安装应力，使得玻璃片的精密端面出现形变，直接影响该光学平板玻璃片精密端面的平面度，从而影响设备的精密等级。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明要解决的技术问题在于提供一种安装架以及精密光学玻璃片的安装装置。

本发明提出一种精密光学玻璃片上的安装架，包括固定段、连接段和用于固定所述精密光学玻璃片的玻璃安装段；所述连接段包括至少一连接臂，所述固定段与所述玻璃安装段的分别连接于所述连接臂的两端；所述连接臂的两端细于所述连接臂的中间部分。

优选地，所述连接臂设置有两根，两根所述连接臂与所述固定段连接的连接处之间的距离大于两根所述连接臂与所述玻璃安装段的连接处之间的距离。

优选地，所述玻璃安装段上设置有用于固定光学玻璃片固定结构，所述固定结构包括与光学玻璃片上玻璃螺孔适配的安装螺栓与安装螺孔，以及用于贴合所述光学玻璃片的非精密端面的抵接面。

优选地，包括固定座和周向均布于所述固定座上的至少三个安装组件，所述安装组件包括支撑部和上述的用于固定玻璃片的安装架；所述支撑部的一端连接于所述固定座上，该支撑部的另一端连接于所述安装架的固定段。

如上所述，本发明涉及的一种精密光学玻璃片上的安装架，采用连接臂连接固定段和玻璃安装段，且该连接臂的两端细于连接部中间部分，增大了连接段的挠性；当该安装架应用于安装装置时，在玻璃片固定在安装装置的过程中，玻璃固定段可绕着刚度较弱的连接臂两端发生轻微旋转形变，减小了光学玻璃片所受到的安装应力的作用，保证精密端面的平面度。

附图说明

图1为本发明中光学玻璃片的示意图。

图2为本发明一种精密光学玻璃片的安装装置的示意图。

图3为本发明一种精密光学玻璃片的安装装置的另一示意图。

图4为本发明一种精密光学玻璃片的安装架的示意图。

图5为本发明一种精密光学玻璃片的安装架的另一示意图。

附图标记说明：

1、固定座；2、支撑部；3、安装架；31、固定段；32、连接段；321、连接臂；33、玻璃安装段；4、固定结构；41、安装螺孔；42、玻璃螺孔；43、安装螺栓；44、抵接面；5、光学玻璃片；51、精密端面；52、非精密端面。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

如图1-5所示，一种精密光学玻璃片的夹持装置的实施例，包括固定座1和周向均布于固定座1上的至少三个夹持组件，夹持组件包括支撑部2和用于固定光学玻璃片5的安装架3；支撑部2的两端分别连接于固定座1和安装架3的固定段31上；其中，安装架3包括固定段31、连接段32和玻璃安装段33；连接段32包括至少一连接臂321，固定段31与玻璃安装段33的分别连接于连接臂321的两端；连接臂321的两端均细于连接臂321的中间部分。

如图4和图5所示，在本实施例中，可选择均等粗细的连接杆体，分别在连接杆体两端部(也就是靠近玻璃安装段的一端以及靠近固定段的一端)的两侧缘进行冲孔处理，进而使得连接臂321的两端均细于连接臂的中间部分。

当精密光学玻璃片5被固定在安装架3时，连接臂321的两端细于连接臂321的中间部分，增大了连接臂321的挠性，即使三个玻璃安装段33与光学玻璃片5的固定位置并不完全位于同一水平面上，光学玻璃片5受到的应力也相对较小，不会因为安装应力导致光学玻璃片5出现形变，精密端面51平面度过大的情况。

具体的，精密光学玻璃片5通过固定结构4安装在玻璃安装段33上。该固定结构4包括开设在玻璃安装段33上安装螺孔41、与光学玻璃片5上玻璃螺孔42适配的安装螺栓43，以及用于贴合所述光学玻璃片5的非精密端面52的抵接面44。在精密光学玻璃片5安装到位时，玻璃安装段33的抵接面44贴合光学玻璃片5的非精密光学玻璃片5。

由于连接臂321的两端均细于该连接臂321的中央部分，故而，固定段31可绕着刚度较弱的连接臂321两端发生轻微旋转形变。因此，即使各个固定段31的抵接面44发生轻微偏移，导致各抵接面44不位于同一水平面上，也能够最大限度地减小精密光学玻璃片5受到的安装应力，避免其精密端面52平面度过大。

如图4和图5所示，优选地，连接臂321设置有两根，两根连接臂321与固定段31连接的连接处之间的距离大于连接臂321与玻璃安装段33的连接处之间的距离。在本实施例中，固定段31、玻璃安装段33与连接臂321之间围成的形状大致为梯形，其中，固定段31与玻璃安装段33大致位于梯形平行的两边。

在光学玻璃片5进行工作时，光学玻璃片5的精密端面51上需要涂抹涂料，并通过强力按压的方式与晶片接触。例如，晶片放置在平台上，光学玻璃片5的精密端面51朝向晶片自上而下地对晶片进行挤压。两个连接臂321、固定段31和玻璃安装段33大致呈梯形的设置，能够增强该安装架3结构的稳定性，避免整个连接段32发生较大的变形，影响后续的工作过程。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (4)

1.一种精密光学玻璃片上的安装架，其特征在于，包括固定段(31)、连接段(32)和用于固定光学玻璃片(5)的玻璃安装段(33)；所述连接段(32)包括至少一连接臂(321)，所述固定段(31)与所述玻璃安装段(33)的分别连接于所述连接臂(321)的两端；所述连接臂(321)的两端细于所述连接臂(321)的中间部分。

2.根据权利要求1所述的一种精密光学玻璃片上的安装架，其特征在于，所述连接臂(321)设置有两根，两根所述连接臂(321)与所述固定段(31)连接的连接处之间的距离大于两根所述连接臂(321)与所述玻璃安装段(33)的连接处之间的距离。

3.根据权利要求1所述的一种精密光学玻璃片上的安装架，其特征在于，所述玻璃安装段(33)上设置有用于固定光学玻璃片(5)的固定结构(4)，所述固定结构(4)包括与光学玻璃片(5)上玻璃螺孔(42)适配的安装螺栓(43)与安装螺孔(41)，以及用于贴合所述光学玻璃片(5)的非精密端面(52)的抵接面(44)。

4.一种精密光学玻璃片的安装装置，其特征在于，包括固定座(1)和周向均布于所述固定座(1)上的至少三个安装组件，所述安装组件包括支撑部(2)和权利要求1-3任一项所述的精密光学玻璃片上的安装架(3)；所述支撑部(2)的一端连接于所述固定座(1)上，该支撑部(2)的另一端连接于所述安装架(3)的固定段(31)上。

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