CN218146934U - 一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，包括进气管、出液管和吹扫管，进气管和出液管均与钢瓶连通，出液管连接有多个支管，相邻的两支管通过连接管连通，出液管位于支管出液口与连接管之间；每个支管均设置有第一控制阀，每个支管均设置有第二控制阀，出液管位于第一控制阀和第二控制阀之间；吹扫管与出液管连通，吹扫管与支管连通，吹扫管与支管相连的位置设置有第二控制阀，出液管与吹扫管连接的位置设置有第三控制阀，进气管连接有排废管。本实用新型提供的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面方便对不同的设备进行补液或者供液处理同时可以对不同的支管进行定向吹扫，从而提高了吹扫效率。

Description

一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面

技术领域

本申请涉及液态前驱体供液的领域，尤其是涉及一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面。

背景技术

半导体前驱体是半导体薄膜沉积工艺的核心制造材料,应用于半导体生产制造工艺,携带有目标元素,呈气态或易挥发液态,具备化学热稳定性,同时具备相应的反应活性或物理性能，液态前驱体储存在钢瓶中，并由钢瓶进行供液。高纯ALD/CVD液态前驱体产品是整个电子工业体系的核心原材料之一，其被广泛应用于电脑芯片、太阳能电池、移动通讯、卫星导航、航天器等电子器件制造的诸多方面，在航天航空、新型太阳能电池、电子产品等领域发挥着巨大作用。前驱体的纯度和洁净度直接影响到光、微电子元器件的质量和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性。

针对相关技术，液态前驱体在供液的过程中难以对多个设备进行供液，同时由于更换阀门或者在更换前驱体溶液的过程中容易导致管路内出现杂质，造成前驱体溶液被污染的现象，降低了前驱体溶液的纯度。

实用新型内容

为了方便对多个设备进行供液补液，提高管路内的洁净度提高供液过程中液态前驱体的纯度，本申请提供一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面。

本申请提供的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面采用如下的技术方案：

一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，包括进气管、出液管和吹扫管，所述进气管和出液管均与钢瓶连通，所述出液管连接有多个支管，相邻的两所述支管通过连接管连通，出液管位于支管出液口与连接管之间；

每个所述支管均设置有第一控制阀，所述第一控制阀用于控制支管的开关，每个所述支管均设置有第二控制阀，所述出液管位于第一控制阀和第二控制阀之间；

所述吹扫管与出液管连通，所述吹扫管与支管连通，所述吹扫管与支管相连的位置设置有第二控制阀，所述出液管与吹扫管连接的位置设置有第三控制阀，所述进气管连接有排废管。

通过采用上述技术方案，高压气体通过进气管将钢瓶中的前驱体溶液压到出液管中，通过控制第一控制阀和第二控制阀的开关从而使得前驱体溶液可以从不同的支管流出，从而方便对不同的设备进行补液或者供液处理；

当更换阀门或者更换前驱体溶液需要对管路或者钢瓶进行吹扫时，通过吹扫管对管路和钢瓶的杂质进行吹扫，通过控制第一控制阀和第二控制阀可以对不同的支管进行定向吹扫，从而提高了吹扫效率，吹扫的气体最终通过排废管或进气管排出。

可选的，所述进气管连接有真空管。

通过采用上述技术方案，通过真空管对管路进行抽真空，从而便于吹扫管对管路的吹扫，从而提高了吹扫效率。

可选的，进气管连接有压力传感器。

通过采用上述技术方案，压力传感器对管路以及钢瓶中的压力进行检测，从而使得管路与钢瓶内的压力保持在合理的范围，从而提高了设备的安全性与稳定性，同时通过测试管路内的压力变化，从而对管路的气密性进行检测。

可选的，所述进气管连接有调压阀。

通过采用上述技术方案，通过调压阀，从而对进入到钢瓶中的气体进行控制。

可选的，所述排废管设置有单向阀，所述排废管中的废气通过单向阀流出管路。

通过采用上述技术方案，单向阀减少了空气对管路的污染，同时提高了气密性，防止在真空管抽真空的过程中空气进入到管路中。

可选的，进气管和出液管之间通过调整管连通，调整管连接有第四控制阀，出液管连接有第五控制阀，第五控制阀位于调整管与钢瓶之间。

通过采用上述技术方案，第四控制阀对调整管的流通进行控制，当第四控制阀打开，第五控制阀关闭时，吹扫管可单独对管路进行吹扫。

可选的，所述真空管连接有第六控制阀。

通过采用上述技术方案，通过第六控制阀，从而控制真空管的开关，防止气体通过真空管流出管路。

可选的，第一控制阀、第四控制阀、第五控制阀和第六控制阀均为气动阀，第二控制阀和第三控制阀为手动阀。

通过采用上述技术方案，第一控制阀、第四控制阀和第五控制阀均与控制柜电连接，从而便于对管路的流通进行控制，第二控制阀和第五控制阀可对流量进行调节。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置了进气管、出液管，高压气体通过进气管将钢瓶中的前驱体溶液压到出液管中，通过控制第一控制阀和第二控制阀的开关从而使得前驱体溶液可以从不同的支管流出，从而方便对不同的设备进行补液或者供液处理吗，当更换阀门或者更换前驱体溶液需要对管路或者钢瓶进行吹扫时，通过吹扫管对管路和钢瓶的杂质进行吹扫，通过控制第一控制阀和第二控制阀可以对不同的支管进行定向吹扫，从而提高了吹扫效率，吹扫的气体最终通过排废管或进气管排出；

本实用新型通过设置了调整管和第四控制阀，第四控制阀对调整管的流通进行控制，当第四控制阀打开，第五控制阀关闭时，吹扫管可单独对管路进行吹扫，从而避免对钢瓶的吹扫，提高了吹扫效率。

附图说明

图1为本实用新型一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面的结构示意图；

图2为本实用新型一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面的平面图。

图中：1、进气管；2、出液管；3、吹扫管；4、支管；5、第一控制阀；6、第二控制阀；7、第三控制阀；8、排废管；9调压阀；10、真空管；11、压力传感器；12、单向阀；13、调整管；14、第四控制阀；15、第五控制阀；16、第六控制阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1和图2，本实用新型提供的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面的实施例，新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，包括进气管1、出液管2和吹扫管3。进气管1和出液管2均与钢瓶连通，出液管2连接有多个支管4，相邻的两支管4通过连接管连通，出液管2位于支管4出液口与连接管之间的位置。每个支管4均设置有第一控制阀5，第一控制阀5用于控制支管4的开关，每个支管4均设置有第二控制阀6，出液管2位于第一控制阀5和第二控制阀6之间。

吹扫管3与出液管2连通，吹扫管3与支管4连通，吹扫管3与支管4相连的位置设置有第二控制阀6，出液管2与吹扫管3连接的位置设置有第三控制阀7，进气管1连接有排废管8，排废管8位于进气管1靠近钢瓶的位置。

高压气体通过进气管1将钢瓶中的前驱体溶液压到出液管2中，通过控制第一控制阀5和第二控制阀6的开关从而使得前驱体溶液可以从不同的支管3流出，从而方便对不同的设备进行补液或者供液处理。通常使用氮气等惰性气体作为高压气体为液态前驱体提供动力。

当更换阀门或者更换前驱体溶液需要对管路或者钢瓶进行吹扫时，通过吹扫管3对管路和钢瓶的杂质进行吹扫，通过控制第一控制阀5和第二控制阀6可以对不同的支管3进行定向吹扫，从而提高了吹扫效率，吹扫的气体最终通过排废管8或进气管1排出。

进气管1连接有调压阀9。通过调压阀9，从而对进入到钢瓶中的气体进行控制。进气管1连接有真空管10。通过真空管10对管路进行抽真空，从而便于吹扫管3对管路的吹扫，从而提高了吹扫效率。进气管1连接有压力传感器11。压力传感器11位于真空管10与调压阀9之间。压力传感器11对管路以及钢瓶中的压力进行检测，从而使得管路与钢瓶内的压力保持在合理的范围，从而提高了设备的安全性与稳定性，同时通过测试管路内的压力变化，从而对管路的气密性进行检测。

排废管8设置有单向阀12，排废管8中的废气通过单向阀12流出管路。单向阀12减少了空气对管路的污染，同时提高了气密性，防止在真空管10抽真空的过程中空气进入到管路中。

进气管1和出液管2之间通过调整管13连通，调整管13位于调压阀9和压力传感器11之间，调整管13连接有第四控制阀14，出液管2连接有第五控制阀15，第五控制阀15位于调整管13与钢瓶之间。第四控制阀14对调整管13的流通进行控制，当第四控制阀14打开，第五控制阀15关闭时，吹扫管3可单独对管路进行吹扫。

真空管10连接有第六控制阀16。通过第六控制阀16，从而控制真空管10的开关，防止气体通过真空管10流出管路。通过第六控制阀16，从而控制真空管10的开关，防止气体通过排废管8流出管路。

第一控制阀5、第四控制阀14、第五控制阀15和第六控制阀16均为气动阀，第二控制阀6和第三控制阀7为手动阀。第一控制阀5、第四控制阀14和第五控制阀15均与控制柜电连接，从而便于对管路的流通进行控制，第二控制阀6和第三控制阀7可对流量进行调节。

工作原理：

高压气体通过进气管1将钢瓶中的前驱体溶液压到出液管2中，通过控制第一控制阀5和第二控制阀6的开关从而使得前驱体溶液可以从不同的支管3流出，从而方便对不同的设备进行补液或者供液处理。

当更换阀门或者更换前驱体溶液需要对管路或者钢瓶进行吹扫时，通过吹扫管3对管路和钢瓶的杂质进行吹扫，通过控制第一控制阀5和第二控制阀6可以对不同的支管3进行定向吹扫，从而提高了吹扫效率，吹扫的气体最终通过排废管8或进气管1排出。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (8)

1.一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，其特征在于：包括进气管(1)、出液管(2)和吹扫管(3)，所述进气管(1)和出液管(2)均与钢瓶连通，所述出液管(2)连接有多个支管(4)，相邻的两所述支管(4)通过连接管连通，出液管(2)位于支管(4)出液口与连接管之间；

每个所述支管(4)均设置有第一控制阀(5)，所述第一控制阀(5)用于控制支管(4)的开关，每个所述支管(4)均设置有第二控制阀(6)，所述出液管(2)位于第一控制阀(5)和第二控制阀(6)之间；

所述吹扫管(3)与出液管(2)连通，所述吹扫管(3)与支管(4)连通，所述吹扫管(3)与支管(4)相连的位置设置有第二控制阀(6)，所述出液管(2)与吹扫管(3)连接的位置设置有第三控制阀(7)，所述进气管(1)连接有排废管(8)。

2.根据权利要求1所述的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，其特征在于：所述进气管(1)连接有真空管(10)。

3.根据权利要求2所述的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，其特征在于：所述进气管(1)连接有压力传感器(11)。

4.根据权利要求1所述的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，其特征在于：所述进气管(1)连接有调压阀(9)。

5.根据权利要求1所述的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，其特征在于：所述排废管(8)设置有单向阀(12)，所述排废管(8)中的废气通过单向阀(12)流出管路。

6.根据权利要求1所述的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，其特征在于：所述进气管(1)和出液管(2)之间通过调整管(13)连通，所述调整管(13)连接有第四控制阀(14)，所述出液管(2)连接有第五控制阀(15)，所述第五控制阀(15)位于调整管(13)与钢瓶之间。

7.根据权利要求2所述的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，其特征在于：所述真空管(10)连接有第六控制阀(16)。

8.根据权利要求1、6或7任一所述的一种新型大宗液态前驱体供液用控制盘面，其特征在于：所述第一控制阀(5)、第四控制阀(14)、第五控制阀(15)和第六控制阀(16)均为气动阀，所述第二控制阀(6)和第三控制阀(7)为手动阀。

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