CN218133634U - 一种晶圆清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆清洗装置。所述一种晶圆清洗装置包括用于放置晶圆的托盘、用于放置托盘以及收集清洗液的清洗槽和用于驱动托盘转动的旋转驱动电机，所述清洗槽内设有传动轴，所述传动轴上设有容纳孔，所述容纳孔内设有卡接机构，所述托盘通过卡接机构卡接在所述传动轴上，所述旋转驱动电机与所述传动轴连接；所述卡接机构包括用于与托盘配合卡接柱和用于复位卡接柱的复位弹簧，所述复位弹簧的一端所述容纳孔的孔底连接，所述复位弹簧的另一端与所述卡接柱连接，所述卡接柱远离复位弹簧的一端位于容纳孔外并伸入托盘。本实用新型能够通过拆卸托盘来适应不同大小的晶圆，且更换托盘方便。

Description

一种晶圆清洗装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗装置。

背景技术

晶圆清洗通常分为两种形式；一种集中清洗，集齐一定数量后的晶圆放入清洗设备进行清洗，这种清洗方式一次能够清洗较多的晶圆，且通常能适应不同大小的晶圆，但不适用于连续加工或集成设备；另外一种是单片清洗，一次清洗一片，通常将清洗设备和其它加工设备集成在一个机架上，上一工序加工完成后即可快速清洗，清洗完成后能够进入下一工序，但这种集成的清洗装置只能清洗一种规格的晶圆。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够适应不同大小晶圆的一种晶圆清洗装置。

为解决上述问题，本实用新型提供一种晶圆清洗装置，所述一种晶圆清洗装置包括用于放置晶圆的托盘、用于放置托盘以及收集清洗液的清洗槽和用于驱动托盘转动的旋转驱动电机，所述清洗槽内设有传动轴，所述传动轴上设有容纳孔，所述容纳孔内设有卡接机构，所述托盘通过卡接机构卡接在所述传动轴上，所述旋转驱动电机与所述传动轴连接；所述卡接机构包括用于与托盘配合卡接柱和用于复位卡接柱的复位弹簧，所述复位弹簧的一端所述容纳孔的孔底连接，所述复位弹簧的另一端与所述卡接柱连接，所述卡接柱远离复位弹簧的一端位于容纳孔外并伸入托盘。

进一步的，所述卡接柱远离复位弹簧的一端呈半球形。

进一步的，所述托盘包括用于与传动轴连接的连接体、承载晶圆的承载体和限制晶圆的限位板体，所述连接体设在所述承载体的下端面，所述限位板体环设在所述承载体的上端面。

进一步的，所述连接体上设有连接孔，所述连接孔的孔壁设有卡槽，所述卡槽用于与卡接柱配合。

进一步的，所述承载体上设有排水槽，所述排水槽的槽底设置用于排清洗液的排水孔。

进一步的，所述限位板体上设有用于排清洗液的排水缺口，所述排水缺口的最低位置低于所述晶圆的顶面。

进一步的，所述传动轴上端延伸形成连接柱，所述容纳孔环设在连接柱的外壁上。

进一步的，还包括用于喷出清洗液的喷嘴和用于驱动喷嘴移动的机械手，所述机械手的机械臂的末端设有旋转缸，所述旋转缸上设有用于固定喷嘴的固定器，所述旋转缸驱动固定器转动带动喷嘴转动，所述喷嘴倾斜固定在所述固定器上。

进一步的，所述固定器包括固定座和锁紧螺钉，所述固定座上设有倾斜设置是固定孔，所述固定座的底部设有收缩开口以及垂直于收缩开口的锁紧螺孔，所述收缩开口与所述固定孔连通，所述锁紧螺钉螺设在所述锁紧螺孔内。

进一步的，还包括存储清洗液的存储箱，所述存储箱内设有两个过滤板，两个过滤板之间设有清洗泵，所述清洗泵通过软管与所述喷嘴连接，所述清洗槽通过排水管与所述存储箱连接。

本实用新型一种晶圆清洗装置将托盘卡接在是传动轴上，使得托盘能够方便的拆卸，从而能够更换适应晶圆大小的托盘，使得本实用新型一种晶圆清洗装置能够适应不同大小的晶圆，适应性好。

附图说明

图1是本实用新型一种晶圆清洗装置的较佳实施方式的结构示意图。

图2是图1中A的放大图。

图3是托盘的结构示意图。

图4是托盘底部的结构示意图。

图5是水箱的剖视图。

图6是固定器的结构示意图。

图7是固定座的剖视图。

附图中各标号的含义为：

托盘1、连接体11、连接孔111、卡槽112、承载体12、排水槽121、排水孔122、限位板体13、排水缺口131、引导斜面132、喷嘴2、清洗槽3、排水管31、安装凸起32、固定柱33、旋转驱动电机34、晶圆4、存储箱5、清洗泵 51、过滤板52、机架6、传动轴7、连接柱71、容纳孔711、机械臂8、旋转缸 81、固定器82、固定座821、固定孔8211、收缩开口8212、锁紧螺孔8123、锁紧螺钉822、卡接机构9、卡接柱91、复位弹簧92。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1和图2所示，本实用新型一种晶圆清洗装置的较佳实施方式包括用于放置晶圆4的托盘1、用于喷出清洗液的喷嘴2、用于驱动喷嘴2移动的机械手(图未示出)、用于放置托盘1以及收集清洗液的清洗槽3、用于驱动托盘1 转动的旋转驱动电机34和存储清洗液的存储箱5。所述清洗槽3通过固定柱33 固定在机架6上，所述机架6还用于安装其它加工装置，如转运装置、打磨装置等，所述清洗槽3内设有传动轴7，所述传动轴7的上端与所述托盘1可拆卸固定，所述传动轴7的下端穿过清洗槽3与旋转驱动电机34的输出轴连接固定。所述清洗槽3上设有排水管31，所述排水管31与所述存储箱5连接，清洗过晶圆4的清洗液通过排水管31进入存储箱5。所述存储箱5内设有清洗泵 51，清洗泵51通过软管与所述喷嘴2连接，清洗泵51给喷嘴2供应清洗液使喷嘴2喷出的清洗液具有一定压力，确保清洗液能够清除晶圆4上的杂质，所述喷嘴2安装在所述机械手的机械臂8上。

所述清洗槽3的槽底中部设有安装凸起32，所述传动轴7转动设在安装凸起32上，所述安装凸起32的侧壁呈斜面，具体来说所述安装凸起32的上端大下端小，即安装凸起32的截面呈梯形，如此能够更好的引流清洗液，将清洗液更好引流至排水管31处。所述清洗槽3的槽底与槽壁之间设有倒角，以此引导清洗液流动，进步一的将收集到的清洗液流入排水管31。

如图3和图4所示，所述托盘1包括用于与传动轴7连接的连接体11、承载晶圆4的承载体12和限制晶圆4的限位板体13。所述连接体11设在所述承载体12的下端面，所述连接体11上设有连接孔111，所述连接孔111的孔壁设有卡槽112，所述卡槽112用于与所述传动轴7卡接固定。所述晶圆4放置于所述承载体12的上端面，所述承载体12上设有排水槽121，所述排水槽121 的槽底设置四个排水孔122，以便于排出晶圆4下方的清洗液，所述排水孔122可以根据实际需求进行增减，不限于本实施例中的四个排水孔122，可以是一个或者更多的。所述限位板体13环设在所述承载体12的上端面，所述限位板体13上设有四个排水缺口131，用于排出位于晶圆4上方的清洗液，所述排水缺口131的最低位置低于所述晶圆4的顶面，确保所有清洗液均能排出，所述限位板体13的顶部设有引导斜面132，便于将晶圆4放入承载体12上；所述排水缺口131可以根据实际需求进行增减，不限于本实施例中的四个排水缺口 131，可以是一个或者更多的。所述连接体11、承载体12和限位板体13一体成型，便于加工制造。

如图2所示，所述传动轴7上端延伸形成连接柱71，所述连接柱71插入所述连接体11的连接孔111内。所述连接柱71的外壁上环设有容纳孔711，所述容纳孔711内设有卡接机构9，所述卡接机构9用于与所述卡槽112配合以将托盘1卡接固定在所述传动轴7上。所述卡接机构9包括用于与托盘1卡接的卡接柱91和用于复位卡接柱91的复位弹簧92，所述卡接柱91和复位弹簧92均设在所述容纳孔711内，所述复位弹簧92的一端所述容纳孔711的孔底连接，所述复位弹簧92的另一端与所述卡接柱91连接，所述卡接柱91与所述卡槽112配合。所述卡接柱91不受外力的情况下，所述卡接柱91远离复位弹簧92的一端位于容纳孔711外并伸入卡槽112内，在外力的挤压下卡接柱 91可全部位于容纳孔711内。所述卡接柱91远离复位弹簧92的一端呈半球形，便于托盘1上的连接体11挤压卡接柱91移动。

如图5所示，所述存储箱5内设有两个过滤板52，两个过滤板52位于清洗泵51的两侧，确保流动至清洗泵51的清洗液均是无杂质的，确保清洗效果，还能延长清洗泵51的使用寿命。

如图1、图6和图7所示，所述机械臂8的末端上设有旋转缸81，所述旋转缸81上设有用于固定喷嘴2的固定器82，所述旋转缸81驱动固定器82转动带动喷嘴2转动，以调整喷嘴2喷出清洗液的方向，以更好的清洗晶圆4，所述喷嘴2倾斜固定在所述固定器82上，便于喷嘴2喷出的清洗液流动，防止清洗液堆积晶圆4清洗位置处。所述固定器82包括固定座821和锁紧螺钉822，所述固定座821上设有倾斜设置是固定孔8211，所述固定孔8211用于防止喷嘴2，所述固定座821的底部设有收缩开口8212以及垂直于收缩开口8212的锁紧螺孔8123，所述收缩开口8212与所述固定孔8211连通，所述锁紧螺钉822 螺设在所述锁紧螺孔8123内，通过调节锁紧螺钉822的位置，以改变收缩开口 8212的开口大小，从而适应不同大小的喷嘴2，同时还方便拆卸喷嘴2。

使用时，将晶圆4放入托盘1内，然后机械手将喷嘴2移动至清洗位置对晶圆4进行清洗。清洗过程中旋转驱动电机34驱动传动轴7缓慢转动，所述传动轴7转动带动托盘1缓慢转动，如此能够将晶圆4全部清洗。清洗完成后，旋转驱动电机34快速转动，使托盘1快速转动，托盘1转动产生离心力，使残留在晶圆4上的清洗被离心力甩出托盘1，起到干燥晶圆4的作用。需要更换托盘1时，将托盘1用力往上拉即可将托盘1拆卸下来，安装时只需将托盘1往连接柱71上压即可将托盘1卡接固定在所述传动轴7上，托盘1更换方便且速度快。

以上仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型的专利保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆清洗装置，其特征在于：包括用于放置晶圆的托盘、用于放置托盘以及收集清洗液的清洗槽和用于驱动托盘转动的旋转驱动电机，所述清洗槽内设有传动轴，所述传动轴上设有容纳孔，所述容纳孔内设有卡接机构，所述托盘通过卡接机构卡接在所述传动轴上，所述旋转驱动电机与所述传动轴连接；所述卡接机构包括用于与托盘配合卡接柱和用于复位卡接柱的复位弹簧，所述复位弹簧的一端所述容纳孔的孔底连接，所述复位弹簧的另一端与所述卡接柱连接，所述卡接柱远离复位弹簧的一端位于容纳孔外并伸入托盘。

2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述卡接柱远离复位弹簧的一端呈半球形。

3.如权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述托盘包括用于与传动轴连接的连接体、承载晶圆的承载体和限制晶圆的限位板体，所述连接体设在所述承载体的下端面，所述限位板体环设在所述承载体的上端面。

4.如权利要求3所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述连接体上设有连接孔，所述连接孔的孔壁设有卡槽，所述卡槽用于与卡接柱配合。

5.如权利要求3所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述承载体上设有排水槽，所述排水槽的槽底设置用于排清洗液的排水孔。

6.如权利要求3所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述限位板体上设有用于排清洗液的排水缺口，所述排水缺口的最低位置低于所述晶圆的顶面。

7.如权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述传动轴上端延伸形成连接柱，所述容纳孔环设在连接柱的外壁上。

8.如权利要求1至7任意一项所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：还包括用于喷出清洗液的喷嘴和用于驱动喷嘴移动的机械手，所述机械手的机械臂的末端设有旋转缸，所述旋转缸上设有用于固定喷嘴的固定器，所述旋转缸驱动固定器转动带动喷嘴转动，所述喷嘴倾斜固定在所述固定器上。

9.如权利要求8所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述固定器包括固定座和锁紧螺钉，所述固定座上设有倾斜设置是固定孔，所述固定座的底部设有收缩开口以及垂直于收缩开口的锁紧螺孔，所述收缩开口与所述固定孔连通，所述锁紧螺钉螺设在所述锁紧螺孔内。

10.如权利要求8所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：还包括存储清洗液的存储箱，所述存储箱内设有两个过滤板，两个过滤板之间设有清洗泵，所述清洗泵通过软管与所述喷嘴连接，所述清洗槽通过排水管与所述存储箱连接。

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