CN218115661U - 一种单晶炉用上筒 - Google Patents
一种单晶炉用上筒 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218115661U CN218115661U CN202221852912.8U CN202221852912U CN218115661U CN 218115661 U CN218115661 U CN 218115661U CN 202221852912 U CN202221852912 U CN 202221852912U CN 218115661 U CN218115661 U CN 218115661U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- single crystal
- upper barrel
- barrel body
- cylinder body
- crystal furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 3
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 abstract description 10
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 abstract description 10
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 abstract description 10
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 abstract description 10
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 238000004321 preservation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种单晶炉用上筒,包括上筒本体,所述上筒本体底部内侧设有凸台,所述凸台上部用于放置导流筒盖板,所述上筒本体设置在单晶炉上保温层上方,所述导流筒盖板带动导流筒在所述上筒本体内部上下移动,所述上筒本体可阻止热量散失。本实用新型的有益效果是减少了复投加料时单晶炉热场结构热量的散失,提高了热场结构的保温性,缩短化料时间,提高了生产效率,降低了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域,尤其是涉及一种单晶炉用上筒。
背景技术
随着太阳能光伏产业的快速发展,单晶炉成为制备单晶硅的主要设备,单晶炉中的热场结构保证了单晶硅的稳定生长,导流筒是热场结构的一部分。直拉法是制造单晶硅最常用的一种方法。为了降低开炉成本提高产量,通常使用多次取段复投方式进行拉制。复投就是在传统的一炉拉一根晶棒工艺基础上,拉完第一根后(埚内剩余一定重量的硅熔液)通过二次加料工艺向坩埚内重新装料,进而拉制第二、第三甚至更多根晶棒的过程。复投加料时,为了避免导流筒深入石英坩埚内部,占用装料空间,影响产量,需要将导流筒上升,坩埚内可装入更多硅料,硅料融化后再将导流筒降下作热屏障。如图1所示,在导流筒上移的过程中,导流筒盖板通常会高于单晶炉上保温层100-200mm,导流筒与保温热场之间的间隙导致漏热。复投过程热场结构保温性能减弱,化料时间较长,增加生产成本,降低了生产效率。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种单晶炉用上筒,有效的解决了复投加料过程中单晶炉热场结构热量散失,保温性能较弱的问题。
本实用新型采用的技术方案是:一种单晶炉用上筒,包括上筒本体,所述上筒本体底部内侧设有凸台,所述凸台上部用于放置导流筒盖板,所述上筒本体设置在单晶炉上保温层上方,所述导流筒盖板带动导流筒在所述上筒本体内部上下移动,所述上筒本体可阻止热量散失。
进一步,所述上筒本体包括第一上筒本体和第二上筒本体,所述第一上筒本体与第二上筒本体同轴设置,所述第一上筒本体设置在所述第二上筒本体上部,在所述第一上筒本体与第二上筒本体的内部连接处设有所述凸台。
进一步,所述第一上筒本体的长度大于所述导流筒盖板向上移动的距离,所述第二上筒本体的长度小于所述第一上筒本体的长度。
进一步,所述第二上筒本体的内径小于所述第一上筒本体的内径,在所述第一上筒本体与第二上筒本体的内部连接处形成所述凸台。
进一步,所述第一上筒本体与第二上筒本体的连接端面处设有止口结构。
进一步,所述第一上筒本体内侧沿轴向设有凹槽,用于放置水冷内导水管。
进一步,所述凹槽对称设置在所述第一上筒本体内侧。
进一步,所述凹槽为U型槽。
本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,减少了复投加料时单晶炉热场结构热量的散失,提高了热场结构的保温性,缩短化料时间,提高了生产效率,降低了生产成本。
附图说明
图1是现有技术单晶炉热场结构热量散失示意图。
图2是本实用新型实施例一种单晶炉用上筒整体安装示意图。
图3是本实用新型实施例一种单晶炉用上筒整体安装俯视图。
图中:
1、第一上筒本体 2、第二上筒本体 3、凸台
4、环形凹槽 5、环形凸起 6、U型槽
7、导流筒盖板 8、导流筒 9、上保温层
具体实施方式
本实用新型实施例提供了一种单晶炉用上筒,下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。
如图2和图3所示,本实用新型实施例一种单晶炉用上筒,包括上筒本体,上筒本体为一竖直设置的筒体,设置在单晶炉上保温层9的上方,上筒本体底部内侧设置有环形凸台3,导流筒盖板7边缘卡合在环形凸台3上方。复投加料时,导流筒盖板7带动导流筒8沿着上筒本体内部上下移动,上筒本体可阻挡热场结构的热量散失。上筒本体的材质不做限制,可以为固化毡、炭/炭复合材料、等静压石墨等耐高温材料。
优选的,上筒本体采用分体结构设计,上筒本体包括第一上筒本体1和第二上筒本体2,第一上筒本体1和第二上筒本体2均为竖直设置的筒体结构,第一上筒本体1与第二上筒本体2同轴设置,第一上筒本体1设置在第二上筒本体2上部,在第一上筒本体1与第二上筒本体2的内部连接处设有卡合导流筒盖板7边缘的凸台3。采用分体结构设计,加工成本比整体设计能够减少30%。
具体的,第一上筒本体1的长度大于导流筒盖板7向上移动的距离,第二上筒本体2的长度小于第一上筒本体1的长度。导流筒盖板7边缘卡合在在第一上筒本体1与第二上筒本体2的内部连接处的凸台3上,复投加料时,导流筒盖板7带动导流筒8向上移动,为了阻挡热量散失,导流筒8需要始终在第一上筒本体1内部移动,所以第一上筒本体1的长度需要大于导流筒8向上移动的距离。为了保证拉晶工艺,导流筒8作为热场结构的一部分,不能距离上保温层9过远,导流筒8需处在整个上筒本体的底部位置,因此,第二上筒本体2的长度不易过大,需要小于第一上筒本体1的长度。
具体的,在某些实施例中,第二上筒本体2的内径小于第一上筒本体1的内径,在第一上筒本体1与第二上筒本体2的内部连接处形成环形凸台3,可将导流筒盖板7的边缘卡合,用于固定整个导流筒8。
优选的,为了使第一上筒本体1与第二上筒本体2能够很好的定位,在第一上筒本体1和第二上筒本体2的连接端面处设有止口结构。止口俗称阴阳坎,凸止口为阳坎,凹止口为阴坎。止口是用于定心、连接的结构。凹凸止口会成对出现。在某些实施例中,在第一上筒本体1底部端面外侧设有环形凸起5,在第二上筒本体2顶部端面相对位置设有环形凹槽4,环形凸起5和环形凹槽4形成止口结构。在某些实施例中,在第一上筒本体1底部端面外侧设有环形凹槽4,在第二上筒本体2顶部端面相对位置设有环形凸起5,环形凹槽4和环形凸起5形成止口结构。
优选的,第一上筒本体1内侧设有凹槽,凹槽沿第一上筒本体1轴向设置,用于放置水冷内导水管。
优选的,凹槽对称设置在第一上筒本体1内侧。
优选的,凹槽为U型槽6。
实施例:如图2和图3所示,本实用新型实施例一种单晶炉用上筒,包括第一上筒本体1和第二上筒本体2,第一上筒本体1和第二上筒本体2均为竖直设置的筒状结构,第一上筒本体1的长度大于导流筒8向上移动的距离。第二上筒本体2的长度小于第一上筒本体1的长度。第一上筒本体1与第二上筒本体2同轴设置,第一上筒本体1设置在第二上筒本体2上方,第二上筒本体2设置在单晶炉上保温层9上方。在第一上筒本体1底部端面外侧设有环形凸起5,在第二上筒本体2顶部端面相对位置设有环形凹槽4,环形凸起5和环形凹槽4形成止口结构,用于定位。第一上筒本体1与第二上筒本体2外径相同,第二上筒本体2的内径小于第一上筒本体1的内径,在第一上筒本体1和第二上筒本体2的连接处内侧形成环形阶梯凸台3。凸台3将导流筒盖板7的边缘卡合,导流筒8与导流筒8盖板7固定在一起,从而将整个导流筒8固定。由于导流筒8外侧通常设有水冷内导水管,在第一上筒本体1内侧对称设置U型槽6,U型槽6沿第一上筒本体1轴向设置,用于放置水冷内导水管,方便导流筒8升降。复投加料时,导流筒盖板7带动导流筒8沿着第一上筒本体1内部上下移动,第一上筒本体1可阻挡热场结构的热量散失。
本实用新型具有的优点和积极效果:
通过设置单晶炉用上筒,复投加料时,导流筒8在上筒内部移动,上筒阻挡了热量的流失,提高了热场结构的保温性,缩短了化料时间,降低了生产成本。以JS120S炉型32寸热场为例,可以实现每熔化3000kg多晶硅料节省时间5小时,化料功率按照主加热器100KW,底部加热器50KW,电价按照0.3元/度,每台每月熔料按照3000kg,假设1000台单晶炉,单月可实现降本5*(100+50)*0.3*1000=22.5万元(270万/年)。单晶炉用上筒采用分体结构设计,加工成本较低,装配便捷。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (8)
1.一种单晶炉用上筒,其特征在于,包括上筒本体,所述上筒本体底部内侧设有凸台,所述凸台上部用于放置导流筒盖板,所述上筒本体设置在单晶炉上保温层上方,所述导流筒盖板带动导流筒在所述上筒本体内部上下移动,所述上筒本体可阻止热量散失。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用上筒,其特征在于:所述上筒本体包括第一上筒本体和第二上筒本体,所述第一上筒本体与第二上筒本体同轴设置,所述第一上筒本体设置在所述第二上筒本体上部,在所述第一上筒本体与第二上筒本体的内部连接处设有所述凸台。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用上筒,其特征在于:所述第一上筒本体的长度大于所述导流筒盖板向上移动的距离,所述第二上筒本体的长度小于所述第一上筒本体的长度。
4.根据权利要求2或3所述的一种单晶炉用上筒,其特征在于:所述第二上筒本体的内径小于所述第一上筒本体的内径,在所述第一上筒本体与第二上筒本体的内部连接处形成所述凸台。
5.根据权利要求2或3所述的一种单晶炉用上筒,其特征在于:所述第一上筒本体与第二上筒本体的连接端面处设有止口结构。
6.根据权利要求2所述的一种单晶炉用上筒,其特征在于:所述第一上筒本体内侧沿轴向设有凹槽,用于放置水冷内导水管。
7.根据权利要求6所述的一种单晶炉用上筒,其特征在于:所述凹槽对称设置在所述第一上筒本体内侧。
8.根据权利要求6或7所述的一种单晶炉用上筒,其特征在于:所述凹槽为U型槽。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202221852912.8U CN218115661U (zh) | 2022-07-18 | 2022-07-18 | 一种单晶炉用上筒 |
PCT/CN2023/103869 WO2024016994A1 (en) | 2022-07-18 | 2023-06-29 | Upper cylinder for single crystal furnace |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202221852912.8U CN218115661U (zh) | 2022-07-18 | 2022-07-18 | 一种单晶炉用上筒 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN218115661U true CN218115661U (zh) | 2022-12-23 |
Family
ID=84517830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202221852912.8U Active CN218115661U (zh) | 2022-07-18 | 2022-07-18 | 一种单晶炉用上筒 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN218115661U (zh) |
WO (1) | WO2024016994A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024016994A1 (en) * | 2022-07-18 | 2024-01-25 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Upper cylinder for single crystal furnace |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106894079A (zh) * | 2015-12-21 | 2017-06-27 | 上海超硅半导体有限公司 | 单晶硅锭生长装置 |
CN211814710U (zh) * | 2020-03-03 | 2020-10-30 | 湖南金创新材料有限公司 | 一种单晶炉用保温筒结构及单晶炉 |
CN218115661U (zh) * | 2022-07-18 | 2022-12-23 | 内蒙古中环晶体材料有限公司 | 一种单晶炉用上筒 |
-
2022
- 2022-07-18 CN CN202221852912.8U patent/CN218115661U/zh active Active
-
2023
- 2023-06-29 WO PCT/CN2023/103869 patent/WO2024016994A1/en active Application Filing
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024016994A1 (en) * | 2022-07-18 | 2024-01-25 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Upper cylinder for single crystal furnace |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2024016994A1 (en) | 2024-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN218115661U (zh) | 一种单晶炉用上筒 | |
CN204825129U (zh) | 一种高效多晶硅铸锭炉的热场结构 | |
CN112341232B (zh) | 一种炭/炭坩埚及其制造方法 | |
CN102041550A (zh) | 一种提高单晶炉热场坩埚使用寿命的方法及直拉单晶炉 | |
CN102925971B (zh) | 高效多晶铸锭热场 | |
CN202380126U (zh) | 一种用于直拉硅单晶炉的热屏装置 | |
CN102787349B (zh) | 一种铸锭坩埚及铸锭装置 | |
CN110923807B (zh) | 提高单晶硅品质的热场及方法 | |
CN205839185U (zh) | 一种异型导流筒结构 | |
CN201634792U (zh) | 一种直拉单晶炉 | |
CN102808214B (zh) | 一种用于铸锭坩埚的复合式护板 | |
CN217499488U (zh) | 热场结构及单晶炉 | |
CN202898592U (zh) | 一种用于单晶炉的导流筒 | |
CN202187081U (zh) | 一种单晶炉热场 | |
CN213804070U (zh) | 铸锭单晶硅或多晶硅中可重复利用的石墨坩埚 | |
CN205556853U (zh) | 一种可拆分的铸锭坩埚 | |
CN211570835U (zh) | 晶体硅铸锭设备 | |
CN203382512U (zh) | 提高多晶硅定向凝固过程中除杂效果的定向凝固装置 | |
CN217149382U (zh) | 一种新型节能电极 | |
CN115029777B (zh) | 一种加热器及单晶炉 | |
CN207294941U (zh) | 方硅芯铸锭炉炉体 | |
CN201605349U (zh) | 一种生长硅单晶的节能热场结构 | |
CN207483897U (zh) | 一种铸造准g7硅锭的多晶炉热场装置 | |
CN210620995U (zh) | 一种用于制作高质量铸锭单晶的新型热场 | |
CN203668552U (zh) | 一种新型铸锭炉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |