CN218115567U - 一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，包括设于真空仓室内的卷绕系统、张力系统、还包括外置的电镀加厚模块，其特征在于，所述卷绕系统及张力系统将聚合物薄膜依次转运经过真空仓室内的热辐射模块、离子源处理模块、溅射模块后人工转运至电镀加厚模块，最后制备为超薄柔性导电复合薄膜。所述热辐射模块包括分设于所述聚合物薄膜两侧的加热元件及反能板。本实用新型通过热辐射模块对化学惰性很强的薄膜进行表面活化，增强后续与镀层金属或者其他非金属的化学结合。还增加了反能板，提高红外短波穿透高分子聚合物薄膜后的发射效率，减少热量损失，进一步提高环境内的热效应。

Description

一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置

技术领域

本实用新型属导电复合薄膜生产技术领域，特别是涉及一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置。

背景技术

5G技术、汽车电子、消费电子等市场的蓬勃发展，对下游产品提出了更高的要求，轻薄、稳定、耐久已是必然趋势。例如超薄挠性覆铜板和载体铜箔，传统的制造方式，包括层压法、涂布法及水镀法，已经无法满足日益严苛的各项需求。因此新型的真空溅射镀膜法凭借其绿色环保且精密度高等优势正在被引入到电子产品制造中，备受各方青睐。

在真空溅射镀膜法中，于聚合物薄膜表面进行真空镀膜仍然存在诸多难点。首先在生产生活中被广泛应用的柔性聚合物薄膜，例如聚酰亚胺薄膜(PI薄膜)、聚酯薄膜(BOPET薄膜)、环烯烃聚合物薄膜(COP薄膜)、液晶聚合物薄膜(LCP薄膜)、PE保护膜、聚二甲基硅氧烷薄膜(PDMS薄膜)等，由于其分子是由共价键结合而成，一般具有稳定耐用的特点，其表面通常表现出非常强的化学惰性，这种特性使其表面很难与镀层金属或者其他非金属产生化学结合，从而使镀层在柔性聚合物薄膜上的附着力很低，影响工件使用寿命。其次，由于真空溅射设备的局限性，导致镀层附着力的调控区间非常有限，很难达到目前行业内多元化的需求。

针对上述不足，提供一种结构设计合理的卷绕式生产装置，在保证正常连续生产的情况下，对柔性聚合物薄膜表面进行高效的活化改性，在提升膜层附着力的同时拓宽调控区间，为相关新产品工艺的开发提供更加稳定且更加广泛的可操作空间。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，进一步提高膜层结合力和膜层质量。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，包括设于真空仓室内的卷绕系统、张力系统、离子源处理模块及溅射模块，还包括外置的电镀加厚模块。所述卷绕系统及张力系统将聚合物薄膜依次转运经过真空仓室内的热辐射模块、离子源处理模块、溅射模块后人工转运至电镀加厚模块，最后制备为超薄柔性导电复合薄膜；

所述卷绕系统包括通过横梁固定在所述真空仓室内的放卷辊、过渡辊、第一金属层控温辊、第二金属层控温辊及收卷辊，所述张力系统包括张力辊，所述聚合物薄膜的一端卷绕在所述放卷辊上，所述卷绕系统及张力系统持续转运，使所述聚合物薄膜的两面依次通过所述热辐射模块、离子源处理模块、第一金属层溅射模块及第二金属层溅射模块的工作范围，最后转运至收卷辊上收卷；

所述热辐射模块包括分设于所述聚合物薄膜两侧的加热元件及反能板；

所述第一金属层溅射模块正对第一金属层控温辊，所述第二金属层溅射模块正对第二金属层控温辊。

进一步地，所述放卷辊、张力辊置于放卷仓内；所述热辐射模块及离子源处理模块设于预处理仓内；所述溅射模块设于溅射仓内；所述收卷辊置于收卷仓内，所述放卷仓、预处理仓、溅射仓及收卷仓间设有隔墙，所述聚合物薄膜经所述隔墙上的缝隙进行转运。

进一步地，所述加热元件为红外灯、加热棒或电阻丝，所述反能板为表面附有金属膜层涂料的不锈钢板或石英板。

进一步地，所述反能板设于所述加热元件法向的10～30cm处。

进一步地，所述热辐射模块通过可控制所述热辐射模块与聚合物薄膜间的距离的滑轨固定在所述真空仓室侧壁上。

进一步地，所述第一金属层控温辊及第二金属层控温辊与外置的冷却系统相连，所述冷却系统包括通过管道互相连接的冷却水塔、冷冻机、水泵、过滤器。

进一步地，所述离子源处理模块中的离子源为霍尔离子源或阳极层离子源、电弧预处理、考夫曼离子源、ICP离子源、电晕、电浆轰击。

进一步地，所述第一金属层溅射模块中的靶阴极分布在所述第一金属层控温辊，第二金属层溅射模块中的靶阴极分布在所述第二金属层控温辊周围。

进一步地，所述靶阴极的形式为圆柱靶或平面靶。

进一步地，所述电镀加厚模块包括依次相连的第二放卷辊、酸洗槽、电镀加厚槽、第一水洗槽、防氧化处理槽、第二水洗槽、烘箱、第二收卷辊及覆膜辊。

有益效果

本发明提供的方法在真空溅射镀膜前增加红外热辐射预处理，红外热辐射穿透力强，且无需传热介质，在真空中传热效率良好，能够对整个薄膜进行活化，使聚合物薄膜所吸附的小分子和聚合物制造过程中未完全聚合的单体分子活性大大提高，从而在真空条件下从薄膜中脱附，实现薄膜由表及里充分放气。利用红外热辐射的方法使薄膜充分放气，能够有效避免溅射过程薄膜放气对镀层质量和镀膜结合力的影响。

此外，在热辐射模块中还增加了反能板，进一步增加红外短波穿透高分子聚合物薄膜后的发射效率，减少热量损失，提高环境内的热效应。

红外热辐射预处理后对薄膜进行离子源预处理，离子源中的高能离化离子能够打破表层惰性分子的化学键，使其完全离开薄膜表面，使新的活性表层充分暴露，同时在离子源中通入可反应气体可以增加薄膜表面的官能团，从而增加了真空镀金属与薄膜的结合位点，增强镀膜结合力。

本发明提供的方法还提供了分段镀膜的方案，控制不同镀层温度和真空度等参数，实现镀膜结合力和膜层结晶织构的同时控制，对复合薄膜的质量有明显的提升效果。

本发明提供的装置采用了上述方法，使本领域技术人员可以直白地理解并学习运用上述方法，制备各种聚合物基材的柔性导电复合薄膜，既能够在电子产品中广泛应用，又能在复合集流体等电池领域应用。

附图说明

图1为一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置结构示意图。

图2为图1中热辐射模块的放大结构示意图。

图3为电镀加厚模块的流程结构示意图。

其中，1-放卷辊；2-张力辊；3-过渡辊；4-热辐射模块；5-离子源处理模块；6-第一金属层控温辊；7-第一金属层溅射模块；8-第二金属层控温辊；9-第二金属层溅射模块；10-收卷辊；11-放卷仓；12-预处理仓；13-溅射仓；14-收卷仓；15-红外灯；16-聚合物薄膜；17-反能板。

各图中相同标记代表同一部件。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

如图1所示，本实用新型提供了一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，包括设于真空仓室内的卷绕系统、张力系统、离子源处理模块及溅射模块，还包括外置的电镀加厚模块。所述卷绕系统及张力系统将聚合物薄膜16依次转运经过真空仓室内的热辐射模块4、离子源处理模块5、溅射模块后人工转运至电镀加厚模块，最后制备为超薄柔性导电复合薄膜。所述真空仓室与真空泵相连，保持加工过程中整个真空仓室内处于真空状态。

所述卷绕系统包括通过横梁固定在所述真空仓室内的放卷辊1、过渡辊3、第一金属层控温辊6、第二金属层控温辊8及收卷辊10，所述张力系统包括张力辊2。各辊的数量可以是一根或多根。所述聚合物薄膜16的一端卷绕在所述放卷辊1上，所述卷绕系统及张力系统持续转运，使所述聚合物薄膜16的两面依次通过所述热辐射模块4、离子源处理模块5、第一金属层溅射模块7及第二金属层溅射模块9的工作范围，最后转运至收卷辊10上收卷。

所述张力系统还包括压力传感器、伺服电机、PLC控制柜等传统部件，其主要作用是在传动过程中，随着放卷卷径不断减小，收卷卷径不断增大，通过控制张力锥度，仍然可以使整个系统维持在一个恒张力的状态，从而避免收卷窜卷、卷松或者收卷不圆等异常状况的发生。

如图2所示，所述热辐射模块4包括分设于所述聚合物薄膜16两侧的加热元件及反能板17，所述加热元件为红外灯15，所述反能板17为表面附有金属膜层涂料的不锈钢板或石英板，所述金属膜层可以是金或银、铝等。所述反能板17可增加红外短波穿透高分子聚合物薄膜16后的发射效率，减少热量损失，提高环境内的热效应。所述反能板17设于所述加热元件法向的10～30cm处。所述热辐射模块4的主要作用是对化学惰性很强的薄膜进行表面活化，增强后续与镀层金属或者其他非金属的化学结合。

所述第一金属层溅射模块7正对第一金属层控温辊6，所述第二金属层溅射模块9正对第二金属层控温辊8。

在一种优选实施例中，所述放卷辊1、张力辊2置于放卷仓11内；所述热辐射模块4及离子源处理模块5设于预处理仓12内；所述溅射模块设于溅射仓13内；所述收卷辊10置于收卷仓14，所述放卷仓11、预处理仓12、溅射仓13及收卷仓14间设有隔墙，所述聚合物薄膜16经所述隔墙上的缝隙进行转运。也可以根据实验或者生产的实际情况对真空仓室内的隔墙位置进行适当调整，如将所述预处理仓12和溅射仓13间不设置隔墙，或是将所述溅射仓13根据溅射模块再加设一道或多道隔墙。

所述热辐射模块4通过可控制所述热辐射模块4与聚合物薄膜16间的距离的滑轨固定在所述真空仓室侧壁上。本实施例中通过调节丝杆位置带动传动螺母产生线性位移，以此控制加热元件及反能板17与聚合物薄膜16之间的距离。

所述第一金属层控温辊6及第二金属层控温辊8与外置的冷却系统相连，所述冷却系统包括通过管道互相连接的冷却水塔、冷冻机、水泵、过滤器。所述冷却系统用于将冷却水输送到所述第一金属层控温辊6及第二金属层控温辊8上，保证其表面温度维持在设定范围内。

所述离子源处理模块5中的离子源为霍尔离子源或阳极层离子源、电弧预处理、考夫曼离子源、ICP离子源、电晕、电浆轰击。所述离子源处理模块5的主要作用是通过高能量的离子轰击，清理基底表面的杂质异物，同时较高能量的离子也会将表层有机分子的化学键打破，形成气态的小分子挥发而离开表面，从而暴露出新的活性表层。

所述第一金属层溅射模块7中的靶阴极分布在所述第一金属层控温辊6，第二金属层溅射模块9中的靶阴极分布在所述第二金属层控温辊8周围。所述靶阴极的形式为圆柱靶或平面靶，靶的数量可以根据所开发的工艺情况进行适当调整。

所述电镀加厚模块为行业中成熟技术，如图3所示，电镀加厚流程中所用的设备包括依次相连的第二放卷辊、酸洗槽、电镀加厚槽、第一水洗槽、防氧化处理槽、第二水洗槽、烘箱、第二收卷辊及覆膜辊，具体加工流程在此不再赘述。

以下以实施例及对照例展示本实用新型的使用效果。

实施例1

将宽幅为1300mm，厚度为12.5μm的聚酰亚胺薄膜16置于放卷辊1上，薄膜经过1个张力辊2和4个过渡辊3后从放卷仓11进入到预处理仓12；经过热辐射模块4、离子源处理模块5、第一金属层控温辊6、第一金属层溅射模块7后从预处理仓12进入到溅射仓13，热辐射模块4采用红外灯15辐照源，功率为1.5KW，距离为100mm，反能板17采用石英板涂以金膜层，布置于距离红外辐照源法向15cm处，离子源处理模块5采用阳极层离子源，所用气体为氮气，流量为500sccm，第一金属层控温辊6的温度控制在120℃；经过第二金属层控温辊8和第二金属层溅射模块9后从溅射仓13进入到收卷仓14，第二金属层控温辊8的温度控制在-10℃；最终经过3个过渡辊3和1个张力辊2卷绕于收卷辊10上，张力设定为30kg，车速设定为5m/min。

将溅射有金属层的复合薄膜置于电镀加厚模块中，自放卷辊二开始，依次经过酸洗槽、电镀加厚槽、水洗槽一、钝化槽、水洗槽二和烘箱，最后与保护膜结合，覆膜收卷于收卷辊二。电镀工艺参数参照专利“一种超薄高强度电子铜箔的生产方法”(CN112226790A)。镀膜结束后利用百格法测试镀层与聚合物薄膜之间的结合力，测试条件参照GB/T9286-1998。

实施例2

将宽幅为1300mm，厚度为12.5μm的聚酰亚胺薄膜16置于放卷辊1上，薄膜经过1个张力辊2和4个过渡辊3后从放卷仓11进入到预处理仓12；经过热辐射模块4、离子源处理模块5、第一金属层控温辊6、第一金属层溅射模块7后从预处理仓12进入到溅射仓13，热辐射模块4采用红外灯15辐照源，功率为2KW，距离为150mm，反能板17采用石英板涂以金膜层，布置于距离红外辐照源法向20cm处，离子源处理模块5采用阳极层离子源，所用气体为氮气，流量为500sccm，第一金属层控温辊6的温度控制在120℃；经过第二金属层控温辊8和第二金属层溅射模块9后从溅射仓13进入到收卷仓14，第二金属层控温辊8的温度控制在-10℃；最终经过3个过渡辊3和1个张力辊2卷绕于收卷辊10上，张力设定为30kg，车速设定为5m/min。

将溅射有金属层的复合薄膜置于电镀加厚模块中，自放卷辊二开始，依次经过酸洗槽、电镀加厚槽、水洗槽一、钝化槽、水洗槽二和烘箱，最后与保护膜结合，覆膜收卷于收卷辊二。电镀工艺参数参照专利“一种超薄高强度电子铜箔的生产方法”(CN112226790A)。。镀膜结束后利用百格法测试镀层与聚合物薄膜之间的结合力，测试条件参照GB/T9286-1998。

对照例1

将宽幅为1300mm，厚度为12.5μm的聚酰亚胺薄膜16置于放卷辊1上，薄膜经过1个张力辊2和4个过渡辊3后从放卷仓11进入到预处理仓12；经过热辐射模块4、离子源处理模块5、第一金属层控温辊6、第一金属层溅射模块7后从预处理仓12进入到溅射仓13，热辐射模块4采用红外灯15辐照源，功率为1.5KW，距离为100mm，取消反能板17，离子源处理模块5采用阳极层离子源，所用气体为氮气，流量为500sccm，第一金属层控温辊6的温度控制在120℃；经过第二金属层控温辊8和第二金属层溅射模块9后从溅射仓13进入到收卷仓14，第二金属层控温辊8的温度控制在-10℃；最终经过3个过渡辊3和1个张力辊2卷绕于收卷辊10上，张力设定为30kg，车速设定为5m/min。

将溅射有金属层的复合薄膜置于电镀加厚模块中，自放卷辊二开始，依次经过酸洗槽、电镀加厚槽、水洗槽一、钝化槽、水洗槽二和烘箱，最后与保护膜结合，覆膜收卷于收卷辊二。电镀工艺参数参照专利“一种超薄高强度电子铜箔的生产方法”(CN112226790A)。。镀膜结束后利用百格法测试镀层与聚合物薄膜之间的结合力，测试条件参照GB/T9286-1998。

对照例2

将宽幅为1300mm，厚度为12.5μm的聚酰亚胺薄膜16置于放卷辊1上，薄膜经过1个张力辊2和4个过渡辊3后从放卷仓11进入到预处理仓12；经过热辐射模块4、离子源处理模块5、第一金属层控温辊6、第一金属层溅射模块7后从预处理仓12进入到溅射仓13，关闭热辐射模块4，取消反能板17，离子源处理模块5采用阳极层离子源，所用气体为氮气，流量为500sccm，第一金属层控温辊6的温度控制在120℃；经过第二金属层控温辊8和第二金属层溅射模块9后从溅射仓13进入到收卷仓14，第二金属层控温辊8的温度控制在-10℃；最终经过3个过渡辊3和1个张力辊2卷绕于收卷辊10上，张力设定为30kg，车速设定为5m/min。

将溅射有金属层的复合薄膜置于电镀加厚模块中，自放卷辊二开始，依次经过酸洗槽、电镀加厚槽、水洗槽一、钝化槽、水洗槽二和烘箱，最后与保护膜结合，覆膜收卷于收卷辊二。电镀工艺参数参照专利“一种超薄高强度电子铜箔的生产方法”(CN112226790A)。镀膜结束后利用百格法测试镀层与聚合物薄膜之间的结合力，测试条件参照GB/T9286-1998。

对照例3

将宽幅为1300mm，厚度为12.5μm的聚酰亚胺薄膜16置于放卷辊1上，薄膜经过1个张力辊2和4个过渡辊3后从放卷仓11进入到预处理仓12；经过热辐射模块4、离子源处理模块5、第一金属层控温辊6、第一金属层溅射模块7后从预处理仓12进入到溅射仓13，热辐射模块4采用红外灯15辐照源，功率为2KW，距离为150mm，取消反能板17，离子源处理模块5采用阳极层离子源，所用气体为氮气，流量为500sccm，第一金属层控温辊6的温度控制在120℃；经过第二金属层控温辊8和第二金属层溅射模块9后从溅射仓13进入到收卷仓14，第二金属层控温辊8的温度控制在-10℃；最终经过3个过渡辊3和1个张力辊2卷绕于收卷辊10上，张力设定为30kg，车速设定为5m/min。

将溅射有金属层的复合薄膜置于电镀加厚模块中，自放卷辊二开始，依次经过酸洗槽、电镀加厚槽、水洗槽一、钝化槽、水洗槽二和烘箱，最后与保护膜结合，覆膜收卷于收卷辊二。电镀工艺参数参照专利“一种超薄高强度电子铜箔的生产方法”(CN112226790A)。镀膜结束后利用百格法测试镀层与聚合物薄膜之间的结合力，测试条件参照GB/T9286-1998。

对照例4

将宽幅为1300mm，厚度为12.5μm的聚酰亚胺薄膜16置于放卷辊1上，薄膜经过1个张力辊2和4个过渡辊3后从放卷仓11进入到预处理仓12；经过热辐射模块4、离子源处理模块5、第一金属层控温辊6、第一金属层溅射模块7后从预处理仓12进入到溅射仓13，关闭热辐射模块4，取消反能板17，离子源处理模块5采用阳极层离子源，所用气体为氮气，流量为500sccm，第一金属层控温辊6的温度控制在120℃；经过第二金属层控温辊8和第二金属层溅射模块9后从溅射仓13进入到收卷仓14，第二金属层控温辊8的温度控制在-10℃；最终经过3个过渡辊3和1个张力辊2卷绕于收卷辊10上，张力设定为30kg，车速设定为5m/min。

将溅射有金属层的复合薄膜置于电镀加厚模块中，自放卷辊二开始，依次经过酸洗槽、电镀加厚槽、水洗槽一、钝化槽、水洗槽二和烘箱，最后与保护膜结合，覆膜收卷于收卷辊二。电镀工艺参数参照专利“一种超薄高强度电子铜箔的生产方法”(CN112226790A)。镀膜结束后利用百格法测试镀层与聚合物薄膜之间的结合力，测试条件参照GB/T9286-1998。

No.	耐弯折次数	结合力情况
			实施例1	>225	镀膜结合较好，无脱落
实施例2	>238	镀膜结合较好，无脱落
			对照例1	>180	镀膜稍有脱落，脱落面积约占6％
对照例2	/	镀膜局部脱落，结合力较差
			对照例3	>193	镀膜稍有脱落，脱落面积约占5％
对照例4	/	镀膜局部脱落，结合力较差

在实施例和对照例中，以耐弯折次数来表示复合导电薄膜的结晶织构，以薄膜脱落情况来表示薄膜与基材的结合力。从实验结果可见，在离子源处理前进行热源辐射能够有效增强聚合物薄膜与镀层之间的结合力以及镀膜质量。车速相同的情况下，增加反能板装置在一定程度上亦是如此。

综上：本实用新型通过增加离子源预处理前的热源辐射以及反能板装置，有效实现了卷绕式聚合物薄膜表面的镀膜的质量提高，增强了聚合物薄膜与镀层之间的结合力。

Claims (10)

1.一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，包括设于真空仓室内的卷绕系统、张力系统、离子源处理模块及溅射模块，还包括外置的电镀加厚模块，其特征在于，所述卷绕系统及张力系统将聚合物薄膜(16)依次转运经过真空仓室内的热辐射模块(4)、离子源处理模块(5)、溅射模块后人工转运至电镀加厚模块，最后制备为超薄柔性导电复合薄膜；

所述卷绕系统包括通过横梁固定在所述真空仓室内的放卷辊(1)、过渡辊(3)、第一金属层控温辊(6)、第二金属层控温辊(8)及收卷辊(10)，所述张力系统包括张力辊(2)，所述聚合物薄膜(16)的一端卷绕在所述放卷辊(1)上，所述卷绕系统及张力系统持续转运，使所述聚合物薄膜(16)的两面依次通过所述热辐射模块(4)、离子源处理模块(5)、第一金属层溅射模块(7)及第二金属层溅射模块(9)的工作范围，最后转运至收卷辊(10)上收卷；

所述热辐射模块(4)包括分设于所述聚合物薄膜(16)两侧的加热元件及反能板(17)；所述第一金属层溅射模块(7)正对第一金属层控温辊(6)，所述第二金属层溅射模块(9)正对第二金属层控温辊(8)。

2.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述放卷辊(1)、张力辊(2)置于放卷仓(11)内；所述热辐射模块(4)及离子源处理模块(5)设于预处理仓(12)内；所述溅射模块设于溅射仓(13)内；所述收卷辊(10)置于收卷仓(14)内，所述放卷仓(11)、预处理仓(12)、溅射仓(13)及收卷仓(14)间设有隔墙，所述聚合物薄膜(16)经所述隔墙上的缝隙进行转运。

3.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述加热元件为红外灯(15)，所述反能板(17)为表面附有金属膜层涂料的不锈钢板或石英板。

4.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述反能板(17)设于所述加热元件法向的10～30cm处。

5.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述热辐射模块(4)通过可控制所述热辐射模块(4)与聚合物薄膜(16)间的距离的滑轨固定在所述真空仓室侧壁上。

6.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述第一金属层控温辊(6)及第二金属层控温辊(8)与外置的冷却系统相连，所述冷却系统包括通过管道互相连接的冷却水塔、冷冻机、水泵、过滤器。

7.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述离子源处理模块(5)中的离子源为霍尔离子源或阳极层离子源、电弧预处理、考夫曼离子源、ICP离子源、电晕、电浆轰击。

8.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述第一金属层溅射模块(7)中的靶阴极分布在所述第一金属层控温辊(6)，第二金属层溅射模块(9)中的靶阴极分布在所述第二金属层控温辊(8)周围。

9.根据权利要求8所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述靶阴极的形式为圆柱靶或平面靶。

10.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的生产装置，其特征在于，所述电镀加厚模块包括依次相连的第二放卷辊、酸洗槽、电镀加厚槽、第一水洗槽、防氧化处理槽、第二水洗槽、烘箱、第二收卷辊及覆膜辊。

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