CN218099631U - 一种用于光刻机的辐射探测器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于光刻机的辐射探测器，包括装置箱体，所述装置箱体的内部分别设置有加工台、光刻头和辐射检测头，所述装置箱体的正面固定有壳体，壳体的内壁分别固定有第一隔板和第二隔板，所述第一隔板的表面安装有喷淋机构，所述第二隔板的下表面与壳体的内底壁之间设置有烘干机构，所述装置箱体的正面设置有过滤机构，所述装置箱体的内部安装有除尘管。该用于光刻机的辐射探测器，通过在装置箱体的内部设置有喷淋机构和烘干机构，可以对进入到装置箱体的气流进行喷淋和加热处理，从而对空气进行净化和烘干处理，然后再去除潮湿空气，避免外部空气对光刻机辐射检测装置造成污染和腐蚀，从而有利于提高辐射检测装置检测的准确性。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种用于光刻机的辐射探测器。
背景技术
光刻机在工作过程中，通常会使用到辐射检测装置进行辐射检测，由于在光刻机的操作台表面会产生一定的灰尘，从而会影响到光刻机辐射检测装置进行检测的准确性，而现有的光刻机内部缺乏对空气进行除湿、净化和除尘的一体化结构，影响了对光刻机内部的清理效果。
为此，我们提出了一种用于光刻机的辐射探测器，便于对光刻机内部进行清理，进而有助于提高辐射检测的准确性。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种用于光刻机的辐射探测器，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于光刻机的辐射探测器，包括装置箱体，所述装置箱体的内部分别设置有加工台、光刻头和辐射检测头，所述装置箱体的正面固定有壳体，壳体的内壁分别固定有第一隔板和第二隔板，所述第一隔板的表面安装有喷淋机构，所述第二隔板的下表面与壳体的内底壁之间设置有烘干机构，所述装置箱体的正面设置有过滤机构，所述装置箱体的内部安装有除尘管，除尘管的位置与加工台相对应。
优选的，所述喷淋机构包括嵌设安装在第一隔板表面的喷淋管，喷淋管的表面安装有电控阀。
优选的，所述烘干机构包括固定安装在壳体内壁的电加热网，且烘干机构还包括导流管，导流管的一端与喷淋管的位置相对应，且另一端与电加热网的位置相对应。
优选的，所述过滤机构包括过滤盒与气泵，气泵的输出端与除尘管的输入端相流通，所述过滤盒的内部设置有空气滤芯网。
优选的，所述过滤盒的上表面嵌设有导风管，导风管的顶端延伸至壳体的内部。
优选的，所述壳体的表面安装有风机，风机的输出端延伸至壳体的内部。
有益效果
本实用新型提供了一种用于光刻机的辐射探测器，具备以下有益效果：
1．该用于光刻机的辐射探测器，通过在装置箱体的内部设置有喷淋机构和烘干机构，可以对进入到装置箱体的气流进行喷淋和加热处理，从而对空气进行净化和烘干处理，然后再去除潮湿空气，避免外部空气对光刻机辐射检测装置造成污染和腐蚀，从而有利于提高辐射检测装置检测的准确性。
2．该用于光刻机的辐射探测器，通过设置过滤机构，利用过滤机构中的高效空气滤网，可以对气流进行过滤和除尘处理，从而提高空气的纯洁度，通过设置除尘管和若干个吹气管，便于对加工台的表面进行吹气处理，提高吹风清理的效果。
附图说明
图1为本实用新型正剖结构示意图；
图2为本实用新型侧剖结构示意图；
图3为本实用新型局部侧剖结构示意图。
图中：1装置箱体、2加工台、3辐射检测头、4壳体、5第一隔板、6第二隔板、7除尘管、8喷淋管、9电加热网、10导流管、11过滤盒、12气泵、13空气滤芯网、14导风管、15风机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于光刻机的辐射探测器，包括装置箱体1，装置箱体1的内部分别设置有加工台2、光刻头和辐射检测头3，装置箱体1的正面固定有壳体4。
辐射探测器的组成结构是：1）闪烁晶体-NaI(Ti/Li)或LaBr3，2）光电倍增管， 3）探头与信号传输。
壳体4的内壁分别固定有第一隔板5和第二隔板6，第一隔板5的表面安装有喷淋机构，喷淋机构包括嵌设安装在第一隔板5的表面的喷淋管8，喷淋管8的表面安装有电控阀，壳体4的表面安装有风机15，风机15的输出端延伸至壳体4的内部，风机15的输出端位置与喷淋管8相对应。
第一隔板5的上方与壳体4的内顶壁之间为储水区域，可通过壳体4顶部的加水管进行加水。
第二隔板6的下表面与壳体4的内底壁之间设置有烘干机构，烘干机构包括固定安装在壳体4内壁的电加热网9，且烘干机构还包括导流管10，导流管10的一端与喷淋管8的位置相对应，且另一端与电加热网9的位置相对应，导流管10的表面安装有电磁阀。
通过在光刻机辐射检测装置的内部设置有喷淋机构和烘干机构，可以对进入到装置箱体1的气流进行喷淋和烘干处理，从而对空气中的粉尘和颗粒进行去除，然后再去除潮湿空气，避免外部空气对光刻机辐射检测装置造成污染和腐蚀，从而有利于提高辐射检测装置检测的准确性。
装置箱体1的正面设置有过滤机构，过滤机构包括过滤盒11与气泵12，气泵12的输出端与除尘管7的输入端相流通，气泵12的输入端延伸至过滤盒11的内部，过滤盒11的内部设置有空气滤芯网13，空气滤芯网13为HEPA高效空气过滤网，过滤盒11的上表面嵌设有导风管14，导风管14的顶端延伸至壳体4的内。
通过设置过滤机构，利用过滤机构中的高效空气滤网，可以对气流进行过滤和除尘处理，从而提高空气的纯洁度。
装置箱体1的内部安装有呈环形的除尘管7，除尘管7的位置与加工台2相对应，且除尘管7的表面设置有若干个吹气管，通过设置呈环形的除尘管7和若干个吹气管，便于对加工台2的表面进行吹气处理，提高吹风清理的效果。
工作原理：在使用光刻机辐射检测装置进行辐射检测之前，首先启动风机15将外部的空气吸入到壳体4的喷淋机构中，然后启动喷淋管8表面的电控阀，对壳体中4的空气进行喷淋净化，然后打开导流管10表面的电磁阀，并启动气泵12，气泵12将喷淋后的空气吸入到过滤盒11中，并在空气进入到过滤盒11之前先经过电加热网9的烘干和除湿，去除空气中潮气，再经过过滤盒11中的高效空气滤网对空气进一步过滤和除尘，最后使净化后的纯净气体通过除尘管7对加工台2的表面进行吹风清理，进而有助于辐射检测的准确性。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种用于光刻机的辐射探测器，包括装置箱体（1），所述装置箱体（1）的内部分别设置有加工台（2）、光刻头和辐射检测头（3），其特征在于：所述装置箱体（1）的正面固定有壳体（4），壳体（4）的内壁分别固定有第一隔板（5）和第二隔板（6），所述第一隔板（5）的表面安装有喷淋机构，所述第二隔板（6）的下表面与壳体（4）的内底壁之间设置有烘干机构，所述装置箱体（1）的正面设置有过滤机构，所述装置箱体（1）的内部安装有除尘管（7），除尘管（7）的位置与加工台（2）相对应。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的辐射探测器，其特征在于：所述喷淋机构包括嵌设安装在第一隔板（5）表面的喷淋管（8），喷淋管（8）的表面安装有电控阀。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的辐射探测器，其特征在于：所述烘干机构包括固定安装在壳体（4）内壁的电加热网（9），且烘干机构还包括导流管（10），导流管（10）的一端与喷淋管（8）的位置相对应，且另一端与电加热网（9）的位置相对应。
4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的辐射探测器，其特征在于：所述过滤机构包括过滤盒（11）与气泵（12），气泵（12）的输出端与除尘管（7）的输入端相流通，气泵（12）的输入端延伸至过滤盒（11）的内部，所述过滤盒（11）的内部设置有空气滤芯网（13）。
5.根据权利要求4所述的一种用于光刻机的辐射探测器，其特征在于：所述过滤盒（11）的上表面嵌设有导风管（14），导风管（14）的顶端延伸至壳体（4）的内部。
6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的辐射探测器，其特征在于：所述壳体（4）的表面安装有风机（15），风机（15）的输出端延伸至壳体（4）的内部。
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