CN218084696U - 一种防止静电吸附的晶圆印刷台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种防止静电吸附的晶圆印刷台，涉及晶圆印刷台技术领域，包括基座，所述基座的上方设置有印刷载台，且印刷载台的中心处开设有圆形凹槽，本设计在现在已有的载台桌面基础上，将载台放片下方安装一组离子泵，并将载台的真空开关改成两用，通过控制器自动调控电动推杆、离子泵和真空泵的开启和关闭，能够同时控制真空开关与离子泵，并在已有桌面设计第二组边缘式的扇形顶针装置，可以消除晶圆上本身的表面存在的静电以及在印刷过程中产生的静电，并且能够更安全的将晶圆顶起。防止晶圆片因静电吸附无法脱离载台，也避免了产线手动使用隔离纸拿取产品而造成的低良或产品破碎等安全问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆印刷台技术领域，具体为一种防止静电吸附的晶圆印刷台。
背景技术
根据晶圆印刷工艺要求，晶圆片一般采用真空吸附的方法固定在印刷载台上，在完成产品印刷后，关闭载台真空，使用载台下方三根顶针装置将晶圆从载台上升起，而后转移至回流炉，针对普通的硅基晶圆片三角顶针能够非常顺利的将晶圆托起，但是针对某些压电材料的超薄晶圆片，基于某些产品特性，载台上涂有绝缘涂层，晶圆本身在经过刮刀压力涂覆后，晶圆常常会被静电吸附在载台上，顶针无法将其托起，若增大托起力道，又时长产生破片，导致产品直接报废；
目前常用的方式是每一次都人工使用隔离纸将晶圆与载台仔细分开，一些薄片晶圆厚度甚至不足200um，过程中有很大破损风险，并且这样操作容易手触碰到晶圆的有效芯片部分造成区域性低良，生产效率也非常低，至少比正常产品拿取速度慢3倍。
针对上述问题，急需在原有晶圆印刷台的基础上进行创新设计。
实用新型内容
本实用新型技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题，提供了显著不同于现有技术的解决方案，具体地本实用新型的目的在于提供一种防止静电吸附的晶圆印刷台，以解决上述背景技术提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防止静电吸附的晶圆印刷台，包括基座，所述基座的上方设置有印刷载台，且印刷载台的中心处开设有圆形凹槽，并且印刷载台中心处的圆形凹槽内部贯穿安装有离子泵的上端，所述离子泵的下端固定连接有真空泵，且真空泵的下表面固定于基座的上表面，所述离子泵的外部套设有升降台，且升降台与基座之间安装有升降控制组件，所述升降台与印刷载台之间安装有顶起组件，且印刷载台中心处的圆形凹槽上方设置有晶圆，所述印刷载台的内部开设有腔槽，所述腔槽的内壁铰接有挡风转板，且挡风转板与升降台的外端之间安装有防风开合组件，并且挡风转板在印刷载台的内部等角度分布有八组。
优选的，所述升降控制组件包括控制器和电动推杆，且基座的上表面分别固定有控制器和电动推杆，所述电动推杆的上端固定于升降台的下表面，且控制器与电动推杆、离子泵和真空泵均为电性连接。
优选的，所述顶起组件包括第一顶针、第二顶针、第一通孔和第二通孔，且升降台的上表面分别开设有第一顶针和第二顶针，并且印刷载台中心处圆形凹槽的内部分别开设有与第一顶针和第二顶针相适配的第一通孔和第二通孔。
优选的，所述第一顶针为圆柱状设置，且第二顶针的上端设置为扇形，所述第一顶针在印刷载台的上表面等角度分布有三组，且第二顶针在印刷载台的上表面等角度分布有八组。
优选的，所述防风开合组件包括连接板和连接块，且挡风转板的下表面铰接有连接板的一端，并且连接板的另一端铰接有连接块，所述连接块的端部固定于升降台的边侧。
优选的，所述连接板为倾斜式设置，且连接板在升降台的外端等角度分布有八组。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本设计在现在已有的载台桌面基础上，将载台放片下方安装一组离子泵，并将载台的真空开关改成两用，通过控制器自动调控电动推杆、离子泵和真空泵的开启和关闭，能够同时控制真空开关与离子泵，并在已有桌面设计第二组边缘式的扇形顶针装置，可以消除晶圆上本身的表面存在的静电以及在印刷过程中产生的静电，并且能够更安全的将晶圆顶起。防止晶圆片因静电吸附无法脱离载台，也避免了产线手动使用隔离纸拿取产品而造成的低良或产品破碎等安全问题。
此外，在上述的基础上通过升降台同步会顶起八组挡风转板，且当顶针将晶圆顶起且脱离真空吸附后，利用密集分布且打开的八组挡风转板能够对晶圆起到了稳定的防风作用，能够有效避免由于设备运动或者人员走动带来的气流吹落晶圆。
附图说明
图1为本实用新型正视剖面结构示意图；
图2为本实用新型俯视剖面结构示意图；
图3为本实用新型升降台、第一顶针和第二顶针的立体结构示意图；
图4为本实用新型图1中A处放大结构示意图。
图中：1、基座；2、印刷载台；3、离子泵；4、真空泵；5、控制器；6、电动推杆；7、升降台；8、第一顶针；9、第二顶针；10、腔槽；11、挡风转板；12、连接板；13、连接块；14、第一通孔；15、第二通孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种防止静电吸附的晶圆印刷台，包括基座1，基座1的上方设置有印刷载台2，且印刷载台2的中心处开设有圆形凹槽，并且印刷载台2中心处的圆形凹槽内部贯穿安装有离子泵3的上端，离子泵3的下端固定连接有真空泵4，且真空泵4的下表面固定于基座1的上表面，离子泵3的外部套设有升降台7，且升降台7与基座1之间安装有升降控制组件，升降台7与印刷载台2之间安装有顶起组件，且印刷载台2中心处的圆形凹槽上方设置有晶圆，印刷载台2的内部开设有腔槽10，腔槽10的内壁铰接有挡风转板11，且挡风转板11与升降台7的外端之间安装有防风开合组件，并且挡风转板11在印刷载台2的内部等角度分布有八组。
升降控制组件包括控制器5和电动推杆6，且基座1的上表面分别固定有控制器5和电动推杆6，电动推杆6的上端固定于升降台7的下表面，且控制器5与电动推杆6、离子泵3和真空泵4均为电性连接，通过控制器5可同步控制电动推杆6、离子泵3和真空泵4，从而实现电动推杆6、离子泵3和真空泵4之间的作用配合。
顶起组件包括第一顶针8、第二顶针9、第一通孔14和第二通孔15，且升降台7的上表面分别开设有第一顶针8和第二顶针9，并且印刷载台2中心处圆形凹槽的内部分别开设有与第一顶针8和第二顶针9相适配的第一通孔14和第二通孔15，该顶起组件的设置利用升降台7的升降可同步带动第一顶针8和第二顶针9进行升降，并使得第一顶针8和第二顶针9能够顺利穿过对应的第一通孔14和第二通孔15进行上升。
第一顶针8为圆柱状设置，且第二顶针9的上端设置为扇形，第一顶针8在印刷载台2的上表面等角度分布有三组，且第二顶针9在印刷载台2的上表面等角度分布有八组，边缘式设置的第二顶针9，可以消除晶圆上本身的表面存在的静电以及在印刷过程中产生的静电，并且能够更安全的将晶圆顶起。防止晶圆片因静电吸附无法脱离印刷载台2，也避免了产线手动使用隔离纸拿取产品而造成的低良或产品破碎等安全问题。
防风开合组件包括连接板12和连接块13，且挡风转板11的下表面铰接有连接板12的一端，并且连接板12的另一端铰接有连接块13，连接块13的端部固定于升降台7的边侧，当升降台7进行升降时，升降台7会同步带动八组挡风转板11旋转打开，从而能够对中心区域的晶圆起到防风的作用。
连接板12为倾斜式设置，且连接板12在升降台7的外端等角度分布有八组，倾斜式设置的连接板12能够与升降台7的升降相配合，从而利用连接板12的双向旋转实现对挡风转板11的顶起。
工作原理：在使用该防止静电吸附的晶圆印刷台时，离子泵安装方式如图1所示，离子泵3位于印刷载台2的正下方，离子泵3输出端位于印刷载台2中心处的圆形凹槽内部，首先将晶圆放置在如图1所示的三组第一顶针8和八组第二顶针9上方，随后通过控制器5开启离子泵3，离子泵3直接作用在晶圆的下方目的是将晶圆放置在印刷载台2上时去除晶圆本身在上一制程所留下的静电以及印刷载台2本身可能带有的静电，随后待晶圆印刷时，通过控制器5关闭离子泵3并开启真空泵4，真空泵4抽气时会在晶圆的下表面形成负压，防止印刷过程中晶圆跑偏或者被吹飞，待印刷完成后，印刷载台2整体传送出印刷机，再次通过控制器5关闭真空泵4，并启动离子泵3，能够除去因印刷刮刀压力涂覆后所产生的静电。另外，为了便于拿取。如图3和图4所示，加装八组边缘顶起的第二顶针9，在八个方向分别设置扇形的顶起触点，利用控制器5控制两组电动推杆6同步伸出并顺利八组第二顶针9和三组第一顶针8同时顶起，八组上端为扇形的第二顶针9目的是在产品边缘顶起时能够先释放一小部分空气进入晶圆边缘，其次是扇形接触点的受力面积大于点状接触点，为了顶起时受力均匀，且受力小，防止破片，补充说明(控制器5的型号为CDP3-320，电动推杆6的型号为DYT2500～7000)。
与此同时，当升降台7上升时，升降台7会对边缘设置的八组连接板12同步产生向上的推动作用，从而使得八组连接板12同步进行适应性的双向旋转并对八组挡风转板11同步产生推动作用，进而使得在晶圆被顶起的同时八组挡风转板11同步旋转打开，八组打开后的挡风转板11内部形成了一个相对密集的中心区域，能够有效避免由于设备运动或者人员走动带来的气流吹落晶圆。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种防止静电吸附的晶圆印刷台，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)的上方设置有印刷载台(2)，且印刷载台(2)的中心处开设有圆形凹槽，并且印刷载台(2)中心处的圆形凹槽内部贯穿安装有离子泵(3)的上端，所述离子泵(3)的下端固定连接有真空泵(4)，且真空泵(4)的下表面固定于基座(1)的上表面，所述离子泵(3)的外部套设有升降台(7)，且升降台(7)与基座(1)之间安装有升降控制组件，所述升降台(7)与印刷载台(2)之间安装有顶起组件，且印刷载台(2)中心处的圆形凹槽上方设置有晶圆，所述印刷载台(2)的内部开设有腔槽(10)，所述腔槽(10)的内壁铰接有挡风转板(11)，且挡风转板(11)与升降台(7)的外端之间安装有防风开合组件，并且挡风转板(11)在印刷载台(2)的内部等角度分布有八组。
2.根据权利要求1所述的一种防止静电吸附的晶圆印刷台，其特征在于：所述升降控制组件包括控制器(5)和电动推杆(6)，且基座(1)的上表面分别固定有控制器(5)和电动推杆(6)，所述电动推杆(6)的上端固定于升降台(7)的下表面，且控制器(5)与电动推杆(6)、离子泵(3)和真空泵(4)均为电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种防止静电吸附的晶圆印刷台，其特征在于：所述顶起组件包括第一顶针(8)、第二顶针(9)、第一通孔(14)和第二通孔(15)，且升降台(7)的上表面分别开设有第一顶针(8)和第二顶针(9)，并且印刷载台(2)中心处圆形凹槽的内部分别开设有与第一顶针(8)和第二顶针(9)相适配的第一通孔(14)和第二通孔(15)。
4.根据权利要求3所述的一种防止静电吸附的晶圆印刷台，其特征在于：所述第一顶针(8)为圆柱状设置，且第二顶针(9)的上端设置为扇形，所述第一顶针(8)在印刷载台(2)的上表面等角度分布有三组，且第二顶针(9)在印刷载台(2)的上表面等角度分布有八组。
5.根据权利要求1所述的一种防止静电吸附的晶圆印刷台，其特征在于：所述防风开合组件包括连接板(12)和连接块(13)，且挡风转板(11)的下表面铰接有连接板(12)的一端，并且连接板(12)的另一端铰接有连接块(13)，所述连接块(13)的端部固定于升降台(7)的边侧。
6.根据权利要求5所述的一种防止静电吸附的晶圆印刷台，其特征在于：所述连接板(12)为倾斜式设置，且连接板(12)在升降台(7)的外端等角度分布有八组。
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| CN202222312691.1U CN218084696U (zh) | 2022-09-01 | 2022-09-01 | 一种防止静电吸附的晶圆印刷台 |
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