CN107993969A - 一种离线pecvd插片机 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种离线PECVD插片机，包括机架，所述机架的一端的内部安装有花篮传输机构，所述花篮传输机构的一侧安装有跑道电机，所述花篮传输机构的一端安装有应急按钮，所述机架的另一端安装有升降防护板，所述升降防护板的内侧的上方的一侧安装有石墨舟定位机构，所述升降防护板的内侧的上方的另一侧安装有线轨和传动丝杆。本发明通过电气箱控制的全自动化机构，不但方便了操作，且增大了安全性，且在装置上安装有视觉检测机，通过视觉检测机可以对插片过程进行实时监测，在硅片传输机构的下方安装有顶升剔片机构，通过顶升剔片机构配合视觉检测机可以对碎片进行自动剔除，增大了装置的功能性。

Description

一种离线PECVD插片机
技术领域
本发明涉及插片机领域，具体是一种离线PECVD插片机。
背景技术
全自动插片机，机械设备。该设备解决了硅片在清洗前手工装清洗篮的问题，完全实现了自动分料，自动上料，自动入篮，自动换篮，料满报警等动作。使用该设备后，可以实现硅片插片的基本去手工化工作，除去上下物料外，无需手工在逐片操作。
一种离线PECVD插片机的出现大大方便了插片，但是目前阶段的一种离线PECVD插片机存在诸多的不足之处，例如，效率低，安全性能差，无法对损坏碎片进行自动剔除。
发明内容
本发明的目的在于提供一种离线PECVD插片机，以解决现有技术中的效率低，安全性能差，无法对损坏碎片进行自动剔除的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种离线PECVD插片机，包括机架，所述机架的一端的内部安装有花篮传输机构，所述花篮传输机构的一侧安装有跑道电机，所述花篮传输机构的一端安装有应急按钮，所述花篮传输机构上安装有花篮跑道，所述机架的一端的一侧安装有电气箱，所述电气箱上安装有控制面板，所述花篮传输机构的另一端安装有硅片传输机构，所述硅片传输机构上安装有电池片跑道，所述电池片跑道的下方的一侧安装有顶升剔片机构，所述顶升剔片机构的下方安装有顶升气缸，所述机架的中间位置处的顶部安装有视觉检测机，所述机架的另一端安装有升降防护板，所述升降防护板的内侧的上方的一侧安装有石墨舟定位机构，所述升降防护板的内侧的上方的另一侧安装有线轨和传动丝杆。
优选的，所述硅片传输机构与花篮传输机构相互垂直。
优选的，所述花篮传输机构的一端安装有花篮升降机构。
优选的，所述机架内，且位于石墨舟的上方安装有高精度抓取机构。
优选的，所述花篮传输机构共设置有多个，且多个花篮传输机构分为双层，且双层花篮传输机构之间通过花篮升降机构传动。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过电气箱控制的全自动化机构，不但方便了操作，且增大了安全性，且在装置上安装有视觉检测机，通过视觉检测机可以对插片过程进行实时监测，在硅片传输机构的下方安装有顶升剔片机构，通过顶升剔片机构配合视觉检测机可以对碎片进行自动剔除，增大了装置的功能性。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的花篮传输机构的结构示意图。
图3为本发明的硅片传输机构的结构示意图。
图4为本发明的石墨舟定位机构的结构示意图。
图中：1-视觉检测机、2-花篮传输机构、3-跑道电机、4-电气箱、5-控制面板、6-硅片传输机构、7-机架、8-石墨舟定位机构、9-升降防护板、10-花篮跑道、11-应急按钮、12-电池片跑道、13-顶升气缸、14-顶升剔片机构、15-线轨、16-传动丝杆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1～4，本发明实施例中，一种离线PECVD插片机，包括机架7，机架7的一端的内部安装有花篮传输机构2，花篮传输机构2用来输送花篮，花篮传输机构2的一侧安装有跑道电机3，跑道电机3用来控制花篮跑道10转动，花篮传输机构2的一端安装有应急按钮11，应急按钮11用来应急控制花篮传输机构2的启闭，花篮传输机构2上安装有花篮跑道10，机架7的一端的一侧安装有电气箱4，电气箱4上安装有控制面板5，控制面板5用来对装置进行控制，花篮传输机构2的另一端安装有硅片传输机构6，硅片传输机构6用来输送硅片，硅片传输机构6上安装有电池片跑道12，电池片跑道12的下方的一侧安装有顶升剔片机构14，顶升剔片机构14用来将检测出的碎片硅片进行自动剔除，顶升剔片机构14的下方安装有顶升气缸13，顶升气缸13用来控制电池片跑道12的升降，机架7的中间位置处的顶部安装有视觉检测机1，视觉检测机1用来实时监测插片过程，机架7的另一端安装有升降防护板9，升降防护板9用来对石墨输送机构进行升降保护，升降防护板9的内侧的上方的一侧安装有石墨舟定位机构8，石墨舟定位机构8用来对石墨舟进行定位，升降防护板9的内侧的上方的另一侧安装有线轨15和传动丝杆16，硅片传输机构6与花篮传输机构2相互垂直，花篮传输机构2的一端安装有花篮升降机构，机架7内，且位于石墨舟的上方安装有高精度抓取机构，花篮传输机构2共设置有多个，且多个花篮传输机构2分为双层，且双层花篮传输机构2之间通过花篮升降机构传动。
本发明的工作原理是：该设备在使用时，通过跑道电机3控制硅片传输机构2上的花篮跑道10转动，使其输送花篮至花篮升降机构，对滑轮精确定位，同时通过硅片传输机构6上的电池片跑道12输送电池片至花篮内，待输送完成后通过花篮升降机构控制其下降，使花篮由下方轨道传出，同时通过石墨舟定位机构8将石墨舟定位，并通过线轨15和传动丝杆16控制石墨舟移动，通过高精度抓取机构将花篮内的硅片抓取插入石墨舟内，直至插片完全。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (5)

1.一种离线PECVD插片机，包括机架（7），其特征在于:所述机架（7）的一端的内部安装有花篮传输机构（2），所述花篮传输机构（2）的一侧安装有跑道电机（3），所述花篮传输机构（2）的一端安装有应急按钮（11），所述花篮传输机构（2）上安装有花篮跑道（10），所述机架（7）的一端的一侧安装有电气箱（4），所述电气箱（4）上安装有控制面板（5），所述花篮传输机构（2）的另一端安装有硅片传输机构（6），所述硅片传输机构（6）上安装有电池片跑道（12），所述电池片跑道（12）的下方的一侧安装有顶升剔片机构（14），所述顶升剔片机构（14）的下方安装有顶升气缸（13），所述机架（7）的中间位置处的顶部安装有视觉检测机（1），所述机架（7）的另一端安装有升降防护板（9），所述升降防护板（9）的内侧的上方的一侧安装有石墨舟定位机构（8），所述升降防护板（9）的内侧的上方的另一侧安装有线轨（15）和传动丝杆（16）。
2.根据权利要求1所述的一种离线PECVD插片机，其特征在于：所述硅片传输机构（6）与花篮传输机构（2）相互垂直。
3.根据权利要求1所述的一种离线PECVD插片机，其特征在于：所述花篮传输机构（2）的一端安装有花篮升降机构。
4.根据权利要求1所述的一种离线PECVD插片机，其特征在于：所述机架（7）内，且位于石墨舟的上方安装有高精度抓取机构。
5.根据权利要求1所述的一种离线PECVD插片机，其特征在于：所述花篮传输机构（2）共设置有多个，且多个花篮传输机构（2）分为双层，且双层花篮传输机构（2）之间通过花篮升降机构传动。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110488751A (zh) * 2018-08-29 2019-11-22 中山大学 一种自动化工艺线的石墨料盘视觉定位系统
CN111754490A (zh) * 2020-06-28 2020-10-09 湖南红太阳光电科技有限公司 一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统
CN113764321A (zh) * 2021-08-10 2021-12-07 天津爱旭太阳能科技有限公司 石英舟装卸片装置、处理系统及控制方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103035555A (zh) * 2012-12-27 2013-04-10 无锡先导自动化设备股份有限公司 用于pecvd设备的硅片自动上下料装置
CN107015518A (zh) * 2016-12-28 2017-08-04 上海客辉自动化设备有限公司 一种太阳能电池片上料设备的电气控制系统
CN107051966A (zh) * 2017-03-08 2017-08-18 常州市科沛达超声工程设备有限公司 全自动硅片清洗线及其工作方法
CN206485848U (zh) * 2017-02-04 2017-09-12 昆山豪恩特机器人自动化科技有限公司 花篮导片机
CN206505942U (zh) * 2017-03-08 2017-09-19 常州市科沛达超声工程设备有限公司 全自动硅片清洗线
CN206532790U (zh) * 2017-03-16 2017-09-29 东莞市启天自动化设备股份有限公司 一种全自动管式pecvd上下料机
CN107365980A (zh) * 2017-07-10 2017-11-21 深圳丰盛装备股份有限公司 一种石墨舟自动装卸片设备

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103035555A (zh) * 2012-12-27 2013-04-10 无锡先导自动化设备股份有限公司 用于pecvd设备的硅片自动上下料装置
CN107015518A (zh) * 2016-12-28 2017-08-04 上海客辉自动化设备有限公司 一种太阳能电池片上料设备的电气控制系统
CN206485848U (zh) * 2017-02-04 2017-09-12 昆山豪恩特机器人自动化科技有限公司 花篮导片机
CN107051966A (zh) * 2017-03-08 2017-08-18 常州市科沛达超声工程设备有限公司 全自动硅片清洗线及其工作方法
CN206505942U (zh) * 2017-03-08 2017-09-19 常州市科沛达超声工程设备有限公司 全自动硅片清洗线
CN206532790U (zh) * 2017-03-16 2017-09-29 东莞市启天自动化设备股份有限公司 一种全自动管式pecvd上下料机
CN107365980A (zh) * 2017-07-10 2017-11-21 深圳丰盛装备股份有限公司 一种石墨舟自动装卸片设备

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110488751A (zh) * 2018-08-29 2019-11-22 中山大学 一种自动化工艺线的石墨料盘视觉定位系统
CN111754490A (zh) * 2020-06-28 2020-10-09 湖南红太阳光电科技有限公司 一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统
CN111754490B (zh) * 2020-06-28 2023-08-08 湖南红太阳光电科技有限公司 一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统
CN113764321A (zh) * 2021-08-10 2021-12-07 天津爱旭太阳能科技有限公司 石英舟装卸片装置、处理系统及控制方法

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