CN218063807U

CN218063807U - Vcr接头免拆除装置

Info

Publication number: CN218063807U
Application number: CN202222497435.4U
Authority: CN
Inventors: 刘乐均
Original assignee: Guangzhou Yuexin Semiconductor Technology Co Ltd
Current assignee: Yuexin Semiconductor Technology Co.,Ltd.
Priority date: 2022-09-16
Filing date: 2022-09-16
Publication date: 2022-12-16
Anticipated expiration: 2032-09-16

Abstract

本实用新型提供了一种VCR接头免拆除装置，包括控制阀及连接接头，所述控制阀具有进气口及出气口，所述进气口用于连通大气，所述连接接头的一端与所述出气口气密性连通，另一端与VCR接头气密性连通，所述控制阀具有导通状态及闭合状态，所述控制阀处于所述导通状态时，所述进气口与所述出气口连通，所述控制阀处于所述闭合状态时，所述进气口与所述出气口断开。本实用新型的VCR接头免拆除装置，只需要将所述控制阀切换至导通状态即可实现所述分子泵与外界大气的导通，进而将分子泵由真空状态变为大气压状态，以便于进行VCD设备的保养，保证机台稳定性。整个过程操作简单方便，不需要拆卸VCR接头，节省了更换VCR接头的金属垫片的成本。

Description

VCR接头免拆除装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种VCR接头免拆除装置。

背景技术

化学气相沉积(CVD)是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。该技术所涉及的化学反应需要在较高的真空度与洁净度的CVD设备中进行。在对该CVD设备进行维护和保养时，需要将用于隔离反应腔与分子泵的闸阀拆卸分解，以便于进行清理维护，而该闸阀拆卸时需要先将分子泵由真空状态变为大气压状态。

现目前将分子泵由真空状态变为大气压状态的常用做法是将分子泵的真空法兰接头上的VCR(Vacuum Coupling Radius Seal即真空连接径向密封)接头拆除，使所述分子泵与外界大气连通。VCR接头是面密封接头的一种，密封元件采用金属垫片，通过内、外螺纹互锁来压迫该金属垫片，使垫片产生一定的变形，从而达到密封的效果。

但是，VCR接头多次拆卸后会加快老化且需要更换新的金属垫片，安装及拆卸比较麻烦，更换成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种VCR接头免拆除装置，解决VCR接头多次拆卸后会加快老化且需要更换新的金属垫片，安装及拆卸比较麻烦，更换成本较高的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种VCR接头免拆除装置，包括控制阀及连接接头，所述控制阀具有进气口及出气口，所述进气口用于连通大气，所述连接接头的一端与所述出气口气密性连通，另一端与VCR接头气密性连通，所述控制阀具有导通状态及闭合状态，所述控制阀处于所述导通状态时，所述进气口与所述出气口连通，所述控制阀处于所述闭合状态时，所述进气口与所述出气口断开。

可选的，所述控制阀为手动阀。

可选的，所述手动阀具有一手操杆，通过驱使所述手操杆旋转以使所述控制阀在所述导通状态与所述闭合状态之间进行切换。

可选的，所述连接接头的所述一端与所述出气口焊接连接。

可选的，所述VCR接头免拆除装置还包括一转接管，所述连接接头与所述VCR接头通过所述转接管连通。

可选的，所述控制阀上安装有一密闭接头，所述密闭接头的出气端与所述进气口连通，所述密闭接头的进气端用于连通大气，且所述密闭接头的进气端可开合地设置一盖板。

可选的，所述盖板通过销轴与所述密闭接头的进气端转动连接。

可选的，所述盖板可滑动地设置在所述密闭接头的进气端。

可选的，所述密闭接头为KF真空接头或NW真空接头。

可选的，所述连接接头为KF真空接头或NW真空接头。

在本实用新型提供的一种VCR接头免拆除装置中，包括控制阀及连接接头，所述控制阀具有进气口及出气口，所述进气口用于连通大气，所述连接接头的一端与所述出气口气密性连通，另一端与VCR接头气密性连通，所述控制阀具有导通状态及闭合状态，所述控制阀处于所述导通状态时，所述进气口与所述出气口连通，所述控制阀处于所述闭合状态时，所述进气口与所述出气口断开。至少具有以下有益效果：

1)只需要将所述控制阀切换至导通状态即可实现所述分子泵与外界大气的导通，进而将分子泵由真空状态变为大气压状态，以便于进行VCD设备的保养，保证机台稳定性，整个过程操作简单方便；

2)不需要拆卸VCR接头，节省了更换VCR接头的金属垫片的成本；

3)所述控制阀为手动阀，通过人手操作即可切换所述控制阀的导通与闭合，操作简单方便；

4)通过在所述进气阀的进气口处增设一密闭接头，能够进一步提高密封效果，防止空气通过所述控制阀、所述连接接头及所述VCR接头进入所述分子泵。同时，通过在所述密闭接头的进气端可开合地设置所述盖板，在需要进气时，只需将所述盖板开启，同时将所述控制阀切换至导通状态即可。

附图说明

本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本实用新型，而不对本实用新型的范围构成任何限制。其中：

图1为本实用新型一实施例提供的VCR接头免拆除装置的结构示意图。

附图中：

1-控制阀；2-连接接头；3-VCR接头；4-转接管；5-密闭接头；6-盖板；7-分子泵。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

如在本实用新型中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本实用新型中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本实用新型中所使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本实用新型中所使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。

请参照图1，图1为本实用新型一实施例提供的VCR接头免拆除装置的结构示意图。本实施例提供了一种VCR接头免拆除装置，包括控制阀1及连接接头2，所述控制阀1具有进气口及出气口，所述进气口用于连通大气，所述连接接头2的一端与所述出气口气密性连通，另一端与VCR接头3气密性连通，所述控制阀1具有导通状态及闭合状态，所述控制阀1处于所述导通状态时，所述进气口与所述出气口连通，所述控制阀1处于所述闭合状态时，所述进气口与所述出气口断开。

本实施例提供的VCR接头免拆除装置，只需要将所述控制阀1切换至导通状态即可实现分子泵7与外界大气的导通，将所述分子泵7由真空状态变为大气压状态，以便于进行VCD设备的保养，保证机台稳定性。整个过程操作简单方便，不需要拆卸VCR接头3，节省了更换VCR接头3的金属垫片的成本。

本实施例中，所述控制阀1具有导通状态及闭合状态，所述控制阀1切换至所述导通状态时，所述进气口与所述出气口连通，此时，空气可通过所述控制阀1顺次经过所述连接接头2及VCR接头3到达所述分子泵7，将所述分子泵7由真空状态变为大气压状态，以便于设备保养。将所述控制阀1切换至所述闭合状态时，所述进气口与所述出气口断开，此时不影响分子泵7的真空状态。

较佳的，所述控制阀1为手动阀，通过人手操作即可切换所述控制阀1的导通与闭合，操作简单方便。所述手动阀为市面上常见的阀门，可直接选用标准件。当然，除了手动阀之外，也可以采用其它本领域常用的阀门，如电磁阀、电动阀等，本申请对此不作限制，可根据需求进行旋转。

进一步较佳的，所述手动阀具有一手操杆，通过驱使所述手操杆旋转以使所述控制阀1在所述导通状态与所述闭合状态之间进行切换。当然，所述手动阀还可以采用其它的方式进行操作，如手轮、手柄等，只要便于人手操作即可，本申请对此不做限制。

本实施例中，所述连接接头2的所述一端与所述出气口焊接连接。也就是说，根据需求选择好合适的连接接头2之后，可直接在工厂将所述连接接头2与控制阀1焊接成一体，然后再连接所述VCR接头3即可。

本实施例中，所述连接接头2为KF真空接头或NW真空接头。KF真空接头或NW真空接头均为高真空系统中常见的密封连接部件，如KF真空接头通常由以下几个元件构成：两个成对称分布的KF法兰、密封圈、定心支架及卡箍，密封圈及所述定心支架设置在两个所述KF法兰之间，不需使用别的工具，只要简单地用手拧动碟形螺母就可以松开或抱紧所述卡箍，完成所述KF真空接头的安装。

请继续参照图1，所述VCR接头免拆除装置还包括一转接管4，所述连接接头2与所述VCR接头3通过所述转接管4连通。本实施例中，所述转接管4的一端可通过螺纹连接的方式旋合至所述VCR接头3内，另一端可通过焊接的方式与所述连接接头2(如KF法兰)固定。本实施例中，所述转接管4为90°金属弯管。

请继续参照图1，所述控制阀1上安装有一密闭接头5，所述密闭接头5的出气端与所述进气口连通，所述密闭接头5的进气端用于连通大气，且所述密闭接头5的进气端可开合地设置一盖板6。虽然所述控制阀1本身具有导通和闭合功能，但通过在所述进气阀的进气口处增设一密闭接头5，能够进一步提高密封效果，防止空气通过所述控制阀1、所述连接接头2及所述VCR接头3进入所述分子泵7。同时，通过在所述密闭接头5的进气端可开合地设置所述盖板6，在需要进气时，只需将所述盖板6开启，同时将所述控制阀1切换至导通状态即可，操作上同样比较简单方便。

作为本实施例中一个较佳的示例，所述盖板6通过销轴与所述密闭接头5的进气端转动连接。

作为本实施例中另一个较佳的示例，所述盖板可滑动地设置在所述密闭接头的进气端。

以上两种方式均可以实现所述盖板6的可开合，但并不以此为限。

本实施例中，所述密闭接头5为KF真空接头或NW真空接头。

综上，本实用新型实施例提供了一种VCR接头免拆除装置，包括控制阀1及连接接头2，所述控制阀1具有进气口及出气口，所述进气口用于连通大气，所述连接接头2的一端与所述出气口气密性连通，另一端与VCR接头3气密性连通，所述控制阀1具有导通状态及闭合状态，所述控制阀1处于所述导通状态时，所述进气口与所述出气口连通，所述控制阀1处于所述闭合状态时，所述进气口与所述出气口断开。本实用新型实施例提供的VCR接头免拆除装置，只需要将所述控制阀1切换至导通状态即可实现分子泵7与外界大气的导通，将分子泵7由真空状态变为大气压状态，以便于进行VCD设备的保养，保证机台稳定性。整个过程操作简单方便，不需要拆卸VCR接头3，节省了更换VCR接头3的金属垫片的成本。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种VCR接头免拆除装置，其特征在于，包括控制阀及连接接头，所述控制阀具有进气口及出气口，所述进气口用于连通大气，所述连接接头的一端与所述出气口气密性连通，另一端与VCR接头气密性连通，所述控制阀具有导通状态及闭合状态，所述控制阀处于所述导通状态时，所述进气口与所述出气口连通，所述控制阀处于所述闭合状态时，所述进气口与所述出气口断开。

2.如权利要求1所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述控制阀为手动阀。

3.如权利要求2所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述手动阀具有一手操杆，通过驱使所述手操杆旋转以使所述控制阀在所述导通状态与所述闭合状态之间进行切换。

4.如权利要求1所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述连接接头的所述一端与所述出气口焊接连接。

5.如权利要求1所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述VCR接头免拆除装置还包括一转接管，所述连接接头与所述VCR接头通过所述转接管连通。

6.如权利要求1所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述控制阀上安装有一密闭接头，所述密闭接头的出气端与所述进气口连通，所述密闭接头的进气端用于连通大气，且所述密闭接头的进气端可开合地设置一盖板。

7.如权利要求6所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述盖板通过销轴与所述密闭接头的进气端转动连接。

8.如权利要求6所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述盖板可滑动地设置在所述密闭接头的进气端。

9.如权利要求7所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述密闭接头为KF真空接头或NW真空接头。

10.如权利要求1所述的VCR接头免拆除装置，其特征在于，所述连接接头为KF真空接头或NW真空接头。