CN218059163U - 一种pvd真空镀膜设备 - Google Patents
一种pvd真空镀膜设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218059163U CN218059163U CN202220762598.8U CN202220762598U CN218059163U CN 218059163 U CN218059163 U CN 218059163U CN 202220762598 U CN202220762598 U CN 202220762598U CN 218059163 U CN218059163 U CN 218059163U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed
- vacuum coating
- thread bush
- pvd vacuum
- operation panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 6
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 6
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种PVD真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域，包括机壳，所述机壳的内壁顶部固定装设有镀膜组件，所述机壳的内壁底部固定设置有底座，所述底座的内部固定装设有转动组件，所述转动组件的顶部固定有操作板，所述操作板的底部固定有滑柱，所述底座的表面开设有与滑柱相配合的导槽，所述操作板的表面活动连接有调节杆，所述调节杆的前端外围固定套设有第一螺纹套，所述调节杆的后端外围固定套设有第二螺纹套，所述第一螺纹套的外部活动连接有承载板。一种PVD真空镀膜设备，通过限位组件的设置，在保证板材镀膜时稳定性的同时，不会对板材表面进行遮挡，避免了板材表面镀膜死角的出现，提高了板材镀膜的完整性。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种PVD真空镀膜设备。
背景技术
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法，常见的真空镀膜设备一般采用C字型夹具对板材进行夹持，在对板材进行夹持时遮挡了板材的部分区域，造成板材表面无法完全镀膜，存在一定的镀膜死角，影响板材正常的加工处理。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种PVD真空镀膜设备，以解决上述背景技术中PVD真空镀膜设备的问题。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种PVD真空镀膜设备，包括机壳，所述机壳的内壁顶部固定装设有镀膜组件，所述机壳的内壁底部固定设置有底座，所述底座的内部固定装设有转动组件，所述转动组件的顶部固定有操作板，所述操作板的底部固定有滑柱，所述底座的表面开设有与滑柱相配合的导槽，所述操作板的表面活动连接有调节杆，所述调节杆的前端外围固定套设有第一螺纹套，所述调节杆的后端外围固定套设有第二螺纹套，所述第一螺纹套的外部活动连接有承载板，所述承载板的外侧活动连接有限位组件。
可选的，所述转动组件包括电机，所述电机的输出轴通过联轴器固定连接有第一锥齿，所述第一锥齿的外侧活动连接有第二锥齿。
可选的，所述限位组件包括侧板，所述侧板的表面开设有卡孔，所述卡孔的内部活动连接有插杆，所述插杆的前部外围套设有弹簧，所述弹簧的外部罩设有外罩。
可选的，所述承载板与调节杆通过第一螺纹套构成联动结构，且第一螺纹套与第二螺纹套采用反向螺纹设置，并且第一螺纹套与第二螺纹套的外部均活动连接有承载板。
可选的，所述第一锥齿与第二锥齿之间为啮合连接，且第二锥齿与操作板之间为焊接连接。
可选的，所述插杆与卡孔通过弹簧构成弹性伸缩结构，且卡孔呈水平阵列分布在侧板的表面。
本实用新型的技术效果和优点：
1、PVD真空镀膜设备，在对板材夹持固定时，用户向外拉出插杆，此时可根据板材厚度，上下调节侧板高度，以保证侧板对不同厚度板材的限位效果，调节完成后松开插杆，插杆在弹簧弹力作用下复位与对应位置卡孔相卡合，对侧板位置进行固定，通过限位组件的设置，在保证板材镀膜时稳定性的同时，不会对板材表面进行遮挡，避免了板材表面镀膜死角的出现，提高了板材镀膜的完整性。
2、PVD真空镀膜设备，镀膜时，启动电机，电机带动第一锥齿转动，进而再第一锥齿与第二锥齿的啮合配合下，由第二锥齿带动操作板转动，同时操作板在转动过程中，滑柱沿导槽滑动，对操作板进支撑，通过两锥齿的传动配合，使得板材在镀膜过程中处于转动状态，板材表面各处可受到均匀的镀膜处理，提高了设备对板材的镀膜效果。
附图说明
图1为本实用新型正视结构示意图；
图2为本实用新型插杆与卡孔的内部结构示意图；
图3为本实用新型图1中A处放大结构示意图。
图中：1、机壳；2、镀膜组件；3、底座；4、转动组件；41、电机；42、第一锥齿；43、第二锥齿；5、操作板；6、滑柱；7、导槽；8、调节杆；9、第一螺纹套；10、第二螺纹套；11、承载板；12、限位组件；121、侧板；122、卡孔；123、插杆；124、弹簧；125、外罩。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
本实用新型提供了如图1-3所示的一种PVD真空镀膜设备，包括1、机壳；2、镀膜组件；3、底座；4、转动组件；41、电机；42、第一锥齿；43、第二锥齿；5、操作板；6、滑柱；7、导槽；8、调节杆；9、第一螺纹套；10、第二螺纹套；11、承载板；12、限位组件；121、侧板；122、卡孔；123、插杆；124、弹簧；125、外罩，机壳1的内壁顶部固定装设有镀膜组件2，机壳1的内壁底部固定设置有底座3，底座3的内部固定装设有转动组件4，转动组件4的顶部固定有操作板5，操作板5的底部固定有滑柱6，底座3的表面开设有与滑柱6相配合的导槽7，操作板5的表面活动连接有调节杆8，调节杆8的前端外围固定套设有第一螺纹套9，调节杆8的后端外围固定套设有第二螺纹套10，第一螺纹套9的外部活动连接有承载板11，承载板11的外侧活动连接有限位组件12。
转动组件4包括电机41，电机41的输出轴通过联轴器固定连接有第一锥齿42，第一锥齿42的外侧活动连接有第二锥齿43。
限位组件12包括侧板121，侧板121的表面开设有卡孔122，卡孔122的内部活动连接有插杆123，插杆123的前部外围套设有弹簧124，弹簧124的外部罩设有外罩125。
承载板11与调节杆8通过第一螺纹套9构成联动结构，且第一螺纹套9与第二螺纹套10采用反向螺纹设置，并且第一螺纹套9与第二螺纹套10的外部均活动连接有承载板11，进行镀膜前，将待镀膜板材放置在两承载板11上，随后转动调节杆8，在第一螺纹套9与第二螺纹套10反向螺纹的配合下，使两承载板11相向移动，并与侧板121配合对板材进行夹持固定，通过承载板11的可移动设置，使得用户可根据板材尺寸对承载板11承载位置进行灵活调节，降低了设备使用的局限性，满足了不同板材的镀膜加工需求。
第一锥齿42与第二锥齿43之间为啮合连接，且第二锥齿43与操作板5之间为焊接连接，镀膜时，启动电机41，电机41带动第一锥齿42转动，进而再第一锥齿42与第二锥齿43的啮合配合下，由第二锥齿43带动操作板5转动，同时操作板5在转动过程中，滑柱6沿导槽7滑动，对操作板5进支撑，通过两锥齿的传动配合，使得板材在镀膜过程中处于转动状态，板材表面各处可受到均匀的镀膜处理，提高了设备对板材的镀膜效果。
插杆123与卡孔122通过弹簧124构成弹性伸缩结构，且卡孔122呈水平阵列分布在侧板121的表面，在对板材夹持固定时，用户向外拉出插杆123，此时可根据板材厚度，上下调节侧板121高度，以保证侧板121对不同厚度板材的限位效果，调节完成后松开插杆123，插杆123在弹簧124弹力作用下复位与对应位置卡孔122相卡合，对侧板121位置进行固定，通过限位组件12的设置，在保证板材镀膜时稳定性的同时，不会对板材表面进行遮挡，避免了板材表面镀膜死角的出现，提高了板材镀膜的完整性。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种PVD真空镀膜设备，包括机壳（1），其特征在于：所述机壳（1）的内壁顶部固定装设有镀膜组件（2），所述机壳（1）的内壁底部固定设置有底座（3），所述底座（3）的内部固定装设有转动组件（4），所述转动组件（4）的顶部固定有操作板（5），所述操作板（5）的底部固定有滑柱（6），所述底座（3）的表面开设有与滑柱（6）相配合的导槽（7），所述操作板（5）的表面活动连接有调节杆（8），所述调节杆（8）的前端外围固定套设有第一螺纹套（9），所述调节杆（8）的后端外围固定套设有第二螺纹套（10），所述第一螺纹套（9）的外部活动连接有承载板（11），所述承载板（11）的外侧活动连接有限位组件（12）。
2.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜设备，其特征在于：所述转动组件（4）包括电机（41），所述电机（41）的输出轴通过联轴器固定连接有第一锥齿（42），所述第一锥齿（42）的外侧活动连接有第二锥齿（43）。
3.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜设备，其特征在于：所述限位组件（12）包括侧板（121），所述侧板（121）的表面开设有卡孔（122），所述卡孔（122）的内部活动连接有插杆（123），所述插杆（123）的前部外围套设有弹簧（124），所述弹簧（124）的外部罩设有外罩（125）。
4.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜设备，其特征在于：所述承载板（11）与调节杆（8）通过第一螺纹套（9）构成联动结构，且第一螺纹套（9）与第二螺纹套（10）采用反向螺纹设置，并且第一螺纹套（9）与第二螺纹套（10）的外部均活动连接有承载板（11）。
5.根据权利要求2所述的一种PVD真空镀膜设备，其特征在于：所述第一锥齿（42）与第二锥齿（43）之间为啮合连接，且第二锥齿（43）与操作板（5）之间为焊接连接。
6.根据权利要求3所述的一种PVD真空镀膜设备，其特征在于：所述插杆（123）与卡孔（122）通过弹簧（124）构成弹性伸缩结构，且卡孔（122）呈水平阵列分布在侧板（121）的表面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220762598.8U CN218059163U (zh) | 2022-04-02 | 2022-04-02 | 一种pvd真空镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220762598.8U CN218059163U (zh) | 2022-04-02 | 2022-04-02 | 一种pvd真空镀膜设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218059163U true CN218059163U (zh) | 2022-12-16 |
Family
ID=84415014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202220762598.8U Expired - Fee Related CN218059163U (zh) | 2022-04-02 | 2022-04-02 | 一种pvd真空镀膜设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218059163U (zh) |
-
2022
- 2022-04-02 CN CN202220762598.8U patent/CN218059163U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114618909B (zh) | 一种基于导向原理的金属钢管生产用矫正设备及矫正方法 | |
| CN212494658U (zh) | 一种铝塑板加工用开槽折弯装置 | |
| CN218059163U (zh) | 一种pvd真空镀膜设备 | |
| CN217749690U (zh) | 一种用于齿轮轴加工的滚齿机 | |
| CN213671921U (zh) | 一种重型汽车前轮毂螺孔加工工装 | |
| CN111992937A (zh) | 一种自动化焊接机用的工件搬送装置 | |
| CN212071111U (zh) | 一种加工中心pcb板夹紧装置 | |
| CN216397798U (zh) | 一种折弯机用冲压件上料装置 | |
| CN219053996U (zh) | 一种五金件抛光装置 | |
| CN215788315U (zh) | 一种用于螺纹成型机的支撑机构 | |
| CN217832273U (zh) | 一种辊类零件激光毛化装置 | |
| CN218798329U (zh) | 一种折弯机防刮机构 | |
| CN220005511U (zh) | 一种角度圆弧成型机 | |
| CN220741080U (zh) | 一种铝幕墙加工翻转工作台 | |
| CN219819214U (zh) | 一种金属板材加工用打磨装置 | |
| CN219824338U (zh) | 一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机 | |
| CN210789545U (zh) | 一种五金件生产攻丝设备 | |
| CN214976808U (zh) | 一种新型矫正机 | |
| CN217225017U (zh) | 一种不锈钢煲内部的自动抛光装置 | |
| CN217914413U (zh) | 一种钛合金板材的表面缺陷自动打磨设备 | |
| CN219762560U (zh) | 压胶机 | |
| CN220637272U (zh) | 不锈钢保温杯表面处理装置 | |
| CN112588912B (zh) | 一种钣金加工用起垄装置 | |
| CN218194429U (zh) | 一种机械设备零件加工用表面抛光处理装置 | |
| CN217412199U (zh) | 一种用于轴承加工的压力机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20221216 |