CN218031512U - 流量控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种流量控制装置，包括流动块、驱动组件和活塞，流动块内部设置有流体通路，驱动组件用于驱动活塞进入或离开流体通路，以改变流体通路的流通截面积，驱动组件包括支架、驱动机构、转接机构、弹性连接件和至少一个导杆，驱动机构和导杆固定设置在支架上；转接机构活动设置在导杆上，且转接机构通过弹性连接件与活塞连接；驱动机构用于驱动转接机构沿导杆运动，以使转接机构通过弹性连接件带动活塞进入或离开流体通路。本实用新型中利用导杆结构对弹性连接件及活塞进行导向，提高了活塞运动方向的稳定性，进而提高了流量控制装置控制流体流量的精确性及稳定性。

Description

流量控制装置

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种流量控制装置。

背景技术

非封闭空间内的压力往往很容易随着外界的压力改变而改变。这对某些对压力环境要求较高的产品往往很不友好，例如药物研发验室和高洁净度的生物医疗实验室等医药研究环境都需要形成一个稳定的负压，来保证病毒不会外泄并影响到人员的生命安全。芯片的生产也需要一个恒定的不被外界影响的压力环境，从而减少生产芯片时因外界环境压力的改变带来的缺陷。因此，在现代化的很多工业领域，例如半导体工艺领域中，往往需要一个环境压力相对稳定的空间。

为稳定控制封闭空间内的压力，通常需要在该封闭空间的进气或排气处设置流量控制装置，并响应于空间内的压力变化情况实时调整进气或排气流量。

如图1所示为一种现有的流量控制装置的结构示意图，该流量控制装置包括电机1a、支架2a、电机次级3a、弹簧4a、活塞5a。该流量控制装置的气体调节过程主要为：电机1a通电，电机次级3a开始沿着轴线方向做直线运动，并带动弹簧4a做直线运动，活塞5a受到弹簧4a的拉力也随之做直线运动。随着活塞5a的上下直线运动，气体在通道中流动的过气气隙也将发生改变，进而实现改变气体流量。

然而，现有的流量控制装置常出现精度下降的问题。因此，如何提供一种能够保证流量控制精度的流量控制装置，成为本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种流量控制装置，该流量控制装置的流量控制精度高、稳定性好。

为实现上述目的，本实用新型提供一种流量控制装置，包括流动块、驱动组件和活塞，所述流动块内部设置有流体通路，所述驱动组件用于驱动所述活塞进入或离开所述流体通路，以改变所述流体通路的流通截面积，所述驱动组件包括支架、驱动机构、转接机构、弹性连接件和至少一个导杆，所述驱动机构和所述导杆固定设置在所述支架上；所述转接机构活动设置在所述导杆上，且所述转接机构通过所述弹性连接件与所述活塞连接；所述驱动机构用于驱动所述转接机构沿所述导杆运动，以使所述转接机构通过所述弹性连接件带动所述活塞进入或离开所述流体通路。

可选地，所述驱动机构包括旋转电机和螺纹配合件，所述螺纹配合件具有配合外螺纹，所述转接机构具有配合螺纹孔，所述螺纹配合件与所述转接机构通过所述配合外螺纹与所述配合螺纹孔的内螺纹配合连接，所述旋转电机用于驱动所述螺纹配合件旋转，以通过所述螺纹配合件的配合外螺纹与所述配合螺纹孔的内螺纹之间的配合作用，驱动所述转接机构沿所述导杆运动。

可选地，所述驱动组件包括一对所述导杆；所述转接机构包括转接件和一对直线轴承，所述转接件包括连接部和与所述连接部固定连接的两个导向部，所述连接部的顶部形成有所述配合螺纹孔，所述连接部的底部用于与所述弹性连接件连接；两个所述导向部中均形成有沿竖直方向贯穿所述导向部的导向孔，且两个所述导向孔分别位于所述配合螺纹孔的两侧，两个所述直线轴承分别固定设置在两个所述导向孔中，两个所述导杆一一对应地插入至两个所述直线轴承中。

可选地，所述螺纹配合件包括同轴且相互连接的连接筒和配合柱，所述连接筒在背离所述配合柱的一侧具有与所述连接筒同轴的连接孔，所述旋转电机的输出轴插入并固定设置在所述连接孔中，所述配合柱上形成有所述配合外螺纹。

可选地，所述流量控制装置还包括调节机构，所述连接部的底部通过所述调节机构与所述弹性连接件连接，所述调节机构用于调节所述连接部的底部与所述弹性连接件之间的相对位置。

可选地，所述连接部的底部凸出于所述导向部的底部，以形成连接柱，所述连接柱与所述调节机构连接。

可选地，所述调节机构包括配合杆与配合套筒，所述配合杆的顶端与所述连接柱的底端固定连接，所述配合套筒的内壁上具有内螺纹，所述配合杆上具有外螺纹，所述配合套筒套设在所述配合杆上，且所述配合杆的所述外螺纹与所述配合套筒的所述内螺纹配合，所述配合套筒的底端与所述弹性连接件连接，所述配合套筒与所述配合杆之间可相对转动，以改变所述连接柱的底端与所述弹性连接件之间的相对位置。

可选地，所述调节机构还包括紧定螺钉，所述配合套筒的侧壁上形成有沿厚度方向贯穿所述配合套筒侧壁的紧定螺纹孔，所述紧定螺钉设置在所述紧定螺纹孔中，且能够选择性地旋入至接触所述配合杆，以锁定所述配合套筒与所述配合杆之间的相对转动位置。

可选地，所述配合杆表面的外螺纹由所述配合杆的顶端延伸至所述配合杆的底端，所述连接部的底端形成有连接螺纹孔，所述配合杆的顶端旋入至所述连接螺纹孔中，以将所述配合杆与所述连接部固定连接。

可选地，所述流动块中形成有进气通道、排气通道和连接腔，所述进气通道与所述排气通道通过所述连接腔连通并形成所述流体通路，所述进气通道在所述流动块的侧壁上形成进气口，所述排气通道在所述流动块的侧壁上形成排气口，所述流动块中还形成有由所述流动块的顶部贯穿至所述连接腔的活塞孔，所述活塞能够依次穿过所述活塞孔和所述连接腔到达所述进气通道与所述连接腔的连接处，以改变所述进气通道与所述连接腔的连接处的流体流通截面积；

所述支架包括顶板和一对侧板，两个所述侧板的顶端均与所述顶板连接，两个所述侧板的底端均固定设置在所述流动块的顶部且位于所述活塞孔的两侧，所述导杆的顶端固定设置在所述顶板上。

在本实用新型提供的流量控制装置中，支架上固定设置有导杆，驱动机构能够驱动转接机构沿导杆运动，从而带动弹性连接件及活塞在导杆的导向作用下进入或离开流体通路，进而改变流体通路的最小流通截面积，实现流量控制。本实用新型中利用导杆结构对弹性连接件及活塞进行导向，在保留弹性连接件的缓冲作用的同时，提高了活塞运动方向的稳定性，进而提高了流量控制装置控制流体(例如气体)流量的精确性及稳定性。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是一种现有的流量控制装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的流量控制装置的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的流量控制装置的部分结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的流量控制装置的结构爆炸示意图；

图5是本实用新型实施例提供的流量控制装置中转接机构的示意图；

图6是本实用新型实施例提供的流量控制装置中转接机构的俯视示意图；

图7是本实用新型实施例提供的流量控制装置中转接机构的剖视图；

图8是本实用新型实施例提供的流量控制装置的部分结构示意图；

图9是图8中结构沿一个方向的剖视图；

图10是图8中结构沿另一个方向的剖视图；

图11是图8中结构的俯视示意图；

图12是图8中结构的仰视示意图；

图13是本实用新型实施例提供的流量控制装置中螺纹配合件的结构示意图；

图14是图13中螺纹配合件的俯视示意图；

图15是图13中螺纹配合件的仰视示意图；

图16是本实用新型实施例提供的流量控制装置中活塞底座的结构示意图；

图17是本实用新型实施例提供的流量控制装置中活塞底座在另一视角下的结构示意图；

图18是本实用新型实施例提供的流量控制装置中配合套筒的结构示意图；

图19是本实用新型实施例提供的流量控制装置中配合套筒在另一视角下的结构示意图。

附图标记说明：

10：流体通路 11：进气通道

12：排气通道 13：连接腔

20：活塞 21：活塞筒

22：活塞底座 30：流动块

100：支架 110：顶板

120：侧板 200：驱动机构

210：旋转电机 220：螺纹配合件

221：连接筒 2211：连接孔

222：配合柱 300：转接机构

310：转接件 311：连接部

3111：配合螺纹孔 3112：连接螺纹孔

3113：紧定螺钉孔 312：导向部

3121：导向孔 320：直线轴承

330：挡板 400：弹性连接件

500：导杆 600：调节机构

610：配合杆 620：配合套筒

630：紧定螺钉

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

本实用新型的发明人在研究中发现，现有的流量控制装置容易出现精度降低、故障率高等问题的原因在于，现有的电机次级3a仅简单地起到电机1a输出端与弹簧4a之间的连接作用，并未对弹簧4a的运动起到导向作用，而弹簧4a是柔性物体，在缺乏导向性的结构中很难控制其运动方向，从而影响气流通过通道的稳定性，进而影响控制精度及稳定性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种流量控制装置，如图2所示，该流量控制装置包括流动块30、驱动组件和活塞20，流动块30的内部设置有流体通路10，驱动组件用于驱动活塞20进入或离开流体通路10，以改变流体通路10的流通截面积。如图2、图3所示，驱动组件包括支架100、驱动机构200、转接机构300、弹性连接件400和至少一个导杆500，驱动机构200和导杆500固定设置在支架100上，转接机构300活动设置在导杆500上，且转接机构300通过弹性连接件400(例如，可以是弹簧)与活塞20连接，驱动机构200用于驱动转接机构300沿导杆500运动，以使转接机构300通过弹性连接件400带动活塞20进入或离开流体通路10。

在本实用新型提供的流量控制装置中，支架100上固定设置有导杆500，驱动机构200能够驱动转接机构300沿导杆500运动，从而带动弹性连接件400及活塞20在导杆500的导向作用下进入或离开流体通路10，进而改变流体通路10的最小流通截面积，实现流量控制。本实用新型中利用导杆500结构对弹性连接件400及活塞20进行导向，在保留弹性连接件400的缓冲作用的同时，提高了活塞20运动方向的稳定性，进而提高了流量控制装置控制流体(例如气体)流量的精确性及稳定性，保证了对密闭环境(例如，半导体工艺腔室)的压力控制精度。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图1所示，流动块30中具体形成有进气通道11、排气通道12和连接腔13，进气通道11与排气通道12通过连接腔13连通并形成流体通路10，进气通道11在流动块30的侧壁上形成进气口，排气通道12在流动块30的侧壁上形成排气口，流动块30中还形成有由流动块30的顶部贯穿至连接腔13的活塞孔，活塞20能够依次穿过活塞孔和连接腔13到达进气通道11与连接腔13的连接处，以改变进气通道11与连接腔13的连接处的流体流通截面积。

为提高通过驱动机构200控制转接机构300升降高度的精确性，作为本实用新型的一种优选实施方式，如图2至图4所示，驱动机构200包括旋转电机210和螺纹配合件220，转接机构300具有配合螺纹孔3111，螺纹配合件220具有配合外螺纹，螺纹配合件220与转接机构300通过配合外螺纹与配合螺纹孔3111的内螺纹配合连接，旋转电机210用于驱动螺纹配合件220旋转，以通过螺纹配合件220的配合外螺纹与配合螺纹孔3111的内螺纹之间的配合作用，驱动转接机构300沿导杆500运动。

即，在本实用新型实施例中，旋转电机210驱动螺纹配合件220转动，进而通过螺纹配合件220的配合外螺纹与转接机构300上的配合螺纹孔3111的内螺纹之间的配合关系，将螺纹配合件220的转动转化为转接机构300沿竖直方向的进给量，进而提高控制转接机构300沿竖直的导杆500运动的位置调节精度。

并且，螺纹配合件220为连接在旋转电机210输出轴上的外接结构，当螺纹配合件220与转接机构300之间的螺纹配合出现问题时，可单独将螺纹配合件220拆下进行维护，不必对旋转电机210进行整体拆卸及修理，提高了维护流量控制装置的便捷性。可选地，旋转电机210为步进电机。

为平衡转接机构300受到的水平力矩，作为本实用新型的一种优选实施方式，如图2至图4所示，驱动组件包括一对导杆500，转接机构300包括转接件310和一对直线轴承320。如图5至图7所示，转接件310包括连接部311和与连接部311固定连接的两个导向部312，连接部311的顶部形成有配合螺纹孔3111，连接部311的底部用于与弹性连接件400连接，两个导向部312中均形成有沿竖直方向贯穿导向部312的导向孔3121(本实用新型中顶端、底端、顶部、底部以及竖直方向，均指图2、图3、图5、图7、图9中的上下方位关系，即流量控制装置正常使用状态下的上下方位关系)，且两个导向孔3121分别位于配合螺纹孔3111轴线的两侧，两个直线轴承320分别固定设置在两个导向孔3121中，两个导杆500一一对应地插入至两个直线轴承320中。

在本实用新型实施例中，驱动组件包括对称设置在连接部311两侧的两个导杆500，从而在避免转接件310转动的同时，使两根导杆向转接件310施加的水平力矩互相抵消，进而消除了螺纹配合件220与转接件310之间的水平力矩，保证了转接件310位置的精确性。

并且，直线轴承320能够有效降低转接件310沿导杆500运动所受的摩擦阻力，延长了导杆500等部件的使用寿命，并保证了调节流量控制装置开度的流畅性，进而保证了气流控制的稳定性及密闭环境的压力控制精度。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图13至图15所示，螺纹配合件220包括同轴且相互连接的连接筒221和配合柱222，连接筒221在背离配合柱222的一侧端面上具有与连接筒221同轴的连接孔2211，旋转电机210的输出轴插入并固定设置在连接孔2211中，配合柱222上形成有配合外螺纹。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图13所示，连接筒221上形成有至少一个沿径向贯穿连接筒221的筒壁的紧定螺钉孔2212，旋转电机210的输出轴通过旋入紧定螺钉孔2212并与该输出轴接触的紧定螺钉，实现与配合柱222固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，如图2至图4所示，流量控制装置还包括调节机构600，连接部311的底部通过调节机构600与弹性连接件400连接，调节机构600用于调节连接部311的底部与弹性连接件之间的相对位置。

在本实用新型实施例中，连接部311的底部通过调节机构600与弹性连接件400连接，调节机构600能够调节连接部311的底部与弹性连接件之间的相对位置，从而可以便捷地对活塞20的初始位置进行调整，提高流量控制装置的维护效率。

作为本实用新型的一种优选实施方式，如图5、图7所示，连接部311的底部凸出于导向部312的底部，以形成连接柱，连接柱的底端与调节机构600连接。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图2至图4所示，调节机构600包括配合杆610与配合套筒620，配合杆610的顶端与连接柱的底端固定连接，配合套筒620的内壁上具有内螺纹，配合杆610上具有外螺纹，配合套筒620套设在配合杆610上，且配合杆610的外螺纹与配合套筒620的内螺纹配合，配合套筒620的底端与弹性连接件400连接，配合套筒620与配合杆610之间可相对转动，以改变连接柱的底端与弹性连接件之间的相对位置。

为防止配合杆610与配合套筒620在使用状态下发生相对转动，以保证活塞20位置的稳定性，作为本实用新型的一种优选实施方式，如图2至图4所示，调节机构600还包括紧定螺钉630，配合套筒620的侧壁上形成有沿厚度方向贯穿配合套筒620侧壁的紧定螺纹孔，紧定螺钉630设置在紧定螺纹孔中，且能够选择性地旋入至接触配合杆610，以锁定配合套筒620与配合杆610之间的相对转动位置。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图2至图4所示，配合杆610表面的外螺纹由配合杆610的顶端延伸至配合杆610的底端，如图7所示，连接部311的底端形成有连接螺纹孔3112，配合杆610的顶端旋入至连接螺纹孔3112中，以将配合杆610与连接部311固定连接。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图7所示，连接部311上还形成有由连接部311的外壁贯穿至连接螺纹孔3112中的紧定螺钉孔3113，配合杆610通过旋入紧定螺钉孔3113并与配合杆610接触的紧定螺钉，实现与连接部311固定连接。

可选地，如图2至图4所示，弹性连接件400为弹簧。在本实用新型的其他实施例中，弹性连接件400也可以为其他类型的弹性件，例如，簧片、皮筋等。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图4、图16至图17所示，活塞20包括活塞筒21和活塞底座22，活塞底座22包括底板22a和形成在底板上的封堵凸台22b，底板22a与活塞筒21的底端端面接触并固定连接，且封堵凸台22b的侧壁与活塞筒21的内侧壁接触，以对活塞筒21的底端进行封堵，弹性连接件400的底端与活塞底座22固定连接。

作为本实用新型的一种可选实施方式，当弹性连接件400为弹簧时，如图4、图16至图19所示，封堵凸台22b的顶面上形成有第一连接部22c，配合套筒620包括套筒本体621和形成在套筒本体621底端的第二连接部622，配合套筒620的内孔贯穿套筒本体621和第二连接部622。第一连接部22c上形成有第一环形凹槽a，第二连接部622上形成有第二环形凹槽b，弹性连接件400(弹簧)的顶端嵌入式连接在第二连接部622的第二环形凹槽b中，弹性连接件400的底端嵌入式连接在第一连接部22c的第一环形凹槽a中。

作为本实用新型的一种可选实施方式，弹性连接件400的顶端通过胶水与第二连接部622固定连接，弹性连接件400的底端通过胶水与第一连接部22c固定连接，活塞底座22通过胶水与活塞筒21固定连接。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图2至图4、图8至图11所示，支架100包括顶板110和一对侧板120，两个侧板120的顶端均与顶板110连接，两个侧板120的底端均固定设置在流动块30的顶部且位于活塞孔的两侧，导杆500的顶端固定设置在顶板110上。

作为本实用新型的一种可选实施方式，如图9所示，顶板110的底部表面上形成有至少一个固定盲孔，导杆500的顶端一一对应地固定设置在固定盲孔中。

可选地，如图9所示，旋转电机210通过螺栓与支架100的顶板110固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，如图2至图6所示，转接机构300还包括挡板330，挡板330的一端固定设置在连接部311上且与连接部311的延伸方向垂直(即沿水平方向延伸)，且挡板330的另一端的水平投影超出活塞20的水平投影，从而在转接机构300的下降速度过快时，挡板330能够抵住活塞筒21的顶端，以使活塞20随之下降，在保证流量控制装置的流量调节响应速度的同时，避免过度压缩弹性连接件400，延长弹性连接件400的使用寿命。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种流量控制装置，包括流动块、驱动组件和活塞，所述流动块内部设置有流体通路，所述驱动组件用于驱动所述活塞进入或离开所述流体通路，以改变所述流体通路的流通截面积，其特征在于，所述驱动组件包括支架、驱动机构、转接机构、弹性连接件和至少一个导杆，所述驱动机构和所述导杆固定设置在所述支架上；所述转接机构活动设置在所述导杆上，且所述转接机构通过所述弹性连接件与所述活塞连接；所述驱动机构用于驱动所述转接机构沿所述导杆运动，以使所述转接机构通过所述弹性连接件带动所述活塞进入或离开所述流体通路。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，所述驱动机构包括旋转电机和螺纹配合件，所述螺纹配合件具有配合外螺纹，所述转接机构具有配合螺纹孔，所述螺纹配合件与所述转接机构通过所述配合外螺纹与所述配合螺纹孔的内螺纹配合连接，所述旋转电机用于驱动所述螺纹配合件旋转，以通过所述螺纹配合件的配合外螺纹与所述配合螺纹孔的内螺纹之间的配合作用，驱动所述转接机构沿所述导杆运动。

3.根据权利要求2所述的流量控制装置，其特征在于，所述驱动组件包括一对所述导杆；所述转接机构包括转接件和一对直线轴承，所述转接件包括连接部和与所述连接部固定连接的两个导向部，所述连接部的顶部形成有所述配合螺纹孔，所述连接部的底部用于与所述弹性连接件连接；两个所述导向部中均形成有沿竖直方向贯穿所述导向部的导向孔，且两个所述导向孔分别位于所述配合螺纹孔的两侧，两个所述直线轴承分别固定设置在两个所述导向孔中，两个所述导杆一一对应地插入至两个所述直线轴承中。

4.根据权利要求3所述的流量控制装置，其特征在于，所述螺纹配合件包括同轴且相互连接的连接筒和配合柱，所述连接筒在背离所述配合柱的一侧具有与所述连接筒同轴的连接孔，所述旋转电机的输出轴插入并固定设置在所述连接孔中，所述配合柱上形成有所述配合外螺纹。

5.根据权利要求3所述的流量控制装置，其特征在于，所述流量控制装置还包括调节机构，所述连接部的底部通过所述调节机构与所述弹性连接件连接，所述调节机构用于调节所述连接部的底部与所述弹性连接件之间的相对位置。

6.根据权利要求5所述的流量控制装置，其特征在于，所述连接部的底部凸出于所述导向部的底部，以形成连接柱，所述连接柱与所述调节机构连接。

7.根据权利要求6所述的流量控制装置，其特征在于，所述调节机构包括配合杆与配合套筒，所述配合杆的顶端与所述连接柱的底端固定连接，所述配合套筒的内壁上具有内螺纹，所述配合杆上具有外螺纹，所述配合套筒套设在所述配合杆上，且所述配合杆的所述外螺纹与所述配合套筒的所述内螺纹配合，所述配合套筒的底端与所述弹性连接件连接，所述配合套筒与所述配合杆之间可相对转动，以改变所述连接柱的底端与所述弹性连接件之间的相对位置。

8.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，所述调节机构还包括紧定螺钉，所述配合套筒的侧壁上形成有沿厚度方向贯穿所述配合套筒侧壁的紧定螺纹孔，所述紧定螺钉设置在所述紧定螺纹孔中，且能够选择性地旋入至接触所述配合杆，以锁定所述配合套筒与所述配合杆之间的相对转动位置。

9.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，所述配合杆表面的外螺纹由所述配合杆的顶端延伸至所述配合杆的底端，所述连接部的底端形成有连接螺纹孔，所述配合杆的顶端旋入至所述连接螺纹孔中，以将所述配合杆与所述连接部固定连接。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的流量控制装置，其特征在于，所述流动块中形成有进气通道、排气通道和连接腔，所述进气通道与所述排气通道通过所述连接腔连通并形成所述流体通路，所述进气通道在所述流动块的侧壁上形成进气口，所述排气通道在所述流动块的侧壁上形成排气口，所述流动块中还形成有由所述流动块的顶部贯穿至所述连接腔的活塞孔，所述活塞能够依次穿过所述活塞孔和所述连接腔到达所述进气通道与所述连接腔的连接处，以改变所述进气通道与所述连接腔的连接处的流体流通截面积；

所述支架包括顶板和一对侧板，两个所述侧板的顶端均与所述顶板连接，两个所述侧板的底端均固定设置在所述流动块的顶部且位于所述活塞孔的两侧，所述导杆的顶端固定设置在所述顶板上。

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