CN218002880U - 一种测量玻璃基板分光均匀性的治具 - Google Patents

Abstract

一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，包括底板、Y方向滑动结构、X方向滑动结构和两个X方向导向块；Y方向滑动板结构和底板提供基板位置定位，X方向滑动板结构提供基板或者带夹具的基板厚度方面的夹持，底板上和滑动结构挡板上的刻度有效定位玻璃基板上单位点位，两个手动锁紧螺丝可定位X,Y所移动到的位置，提高了测量的准确性。

Description

一种测量玻璃基板分光均匀性的治具

技术领域

本实用新型属于玻璃测量领域，具体涉及一种测量玻璃基板分光均匀性的治具。

背景技术

日立光度计设备使用贴合点位测试，测量玻璃基板尺寸小，点位不明确，为了测试整片玻璃基板上的光谱，可能需要切割后逐个测试，工艺上不支持切割，测试大尺寸玻璃基板镀膜后光谱时候，无法精确的确认整片玻璃基板上的光谱均匀性。

实用新型内容

本实用新型提出一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，以解决现有技术中，玻璃基板分光均匀性测量精度低、手法适用性差的问题。

为达上述目的，本实用新型提出技术方案如下：

一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，包括底板、Y方向滑动结构、X方向滑动结构和两个X方向导向块；

底板中间设有一排导向孔，导向孔一边设有刻度线；导向孔另一边设有底板U形槽；

Y方向滑动结构为长方形板，Y方向滑动结构一侧长边上设有Y挡板，Y方向滑动结构(2)上设有Y方向U形槽，Y方向U形槽长边与Y挡板长边平行，Y方向U形槽中间设有X方向U形槽，X方向U形槽长边与Y方向U形槽的长边垂直；Y方向U形槽两端各设有两个定位螺孔；Y方向滑动结构边缘设有Y方向固定螺孔；

X方向滑动结构为长方形板，X方向滑动结构一侧长边上设有X挡板，X方向滑动结构中间设有X方向固定螺孔；

X方向导向块为长方体结构，带有两个螺孔，边缘存在一处凸起；

Y方向滑动结构置于底板上，导向轴穿过导向孔和Y方向U形槽，Y方向固定螺孔和底板U形槽通过Y方向固定螺丝固定；

X方向滑动结构放置于Y方向滑动结构上两侧的定位螺孔之间，X方向滑动结构上的X挡板与Y方向滑动结构的Y挡板朝同一方向，两个X方向导向块各固定在Y方向滑动结构两端的定位螺孔上，固定螺丝将X方向导向块和Y方向滑动结构两侧的固定螺孔固定住；

X方向导向块上的凸起处将X方向滑动结构压在Y方向滑动机构上，X方向固定螺孔上设有固定螺丝。

优选的，底板两边设有固定孔。

优选的，底板上刻度线的刻度槽宽0.5mm，间距5mm，测量范围在0到90mm之间；

优选的，Y方向滑动结构上的Y挡板上设有U形缺口。

优选的，Y方向滑动结构上挡板的U形缺口上设有刻度线，0.1mm槽宽度的刻度线，间距10mm。

优选的，X方向滑动结构上的X挡板上设有U形缺口。

优选的，X方向滑动结构上的X挡板的U形缺口上设有刻度线，0.1mm槽宽度的刻度线，间距10mm。

优选的，Y方向滑动结构上的Y挡板比X方向滑动结构上的X挡板稍高一些，当X方向滑动结构放置在Y方向滑动结构上时，Y挡板和X挡板边缘重合。

本实用新型的有益之处在于：

通过Y方向滑动板结构和底板提供基板位置定位、X方向滑动板结构提供基板或者带夹具的基板厚度方面的夹持，实现了精确定位的测量，对比现有技术提高了精确性；

更换不同尺寸的底板，可以适应不同测量环境，对比现有技术提高了泛用性。

附图说明

构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为一种测量玻璃基板分光均匀性的治具示意图；

图2为底板示意图；

图3为Y方向滑动结构示意图；

图4为X方向滑动结构示意图；

图5为一种可测量wafer分光均匀性的治具使用示意图；

图中，1为底板，11未固定孔，12未导向孔，13为底板U形槽，2为Y方向滑动结构，21为Y挡板，22为Y方向U形槽，23为X方向U形槽，24为Y方向固定螺孔，25为定位螺孔，3为X方向滑动结构，31为X挡板，32为X方向固定螺孔，4为X方向导向块。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

以下详细说明均是示例性的说明，旨在对本实用新型提供进一步的详细说明。除非另有指明，本实用新型所采用的所有技术术语与本实用新型所属领域的一般技术人员的通常理解的含义相同。本实用新型所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而并非意图限制根据本实用新型的示例性实施方式。

实施例1：

如图1所示的一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，包括底板1、Y方向滑动结构2、X方向滑动结构3和两个X方向导向块4；

如图2所示，底板1两边设有固定孔11，用于将底板1固定在工作台上，底板1中间设有一排导向孔12，导向孔12与一边固定孔11之间设有刻度线，用于定位中线，刻度槽宽0.5mm，间距5mm，测量范围在0到90mm之间；导向孔12与另一边固定孔11之间设有底板U形槽13，用于Y方向螺丝的滑动。

如图3所示，Y方向滑动结构2为长方形板，Y方向滑动结构2一侧长边上设有Y挡板21，Y挡板21上设有U形缺口，缺口上设有刻度线，0.1mm槽宽度的刻度线，间距10mm，还设有Y方向U形槽22，Y方向U形槽22长边与挡板长边平行，Y方向U形槽22中间设有X方向U形槽23，X方向U形槽23长边与Y方向U形槽22垂直；Y方向U形槽22两端各设有两个定位螺孔25；Y方向滑动结构2边缘设有Y方向固定螺孔24。

Y方向滑动结构2置于底板1上，导向轴穿过导向孔12和Y方向U形槽22，由此操作Y方向滑动结构2的移动定位，Y方向固定螺丝穿过Y方向固定螺孔24和底板U形槽13，进行位置固定。

如图4所示，X方向滑动结构3为长方形板，X方向滑动结构3一侧长边上设有X挡板31，X挡板上31设有U形缺口，缺口上设有刻度线，0.1mm槽宽度的刻度线，间距10mm，X方向滑动结构3中间设有X方向固定螺孔32，X方向固定螺孔32两端各设有一个方形空洞，用于减轻配重和可视化结构。

X方向滑动结构3长度小于Y方向滑动结构2上两端定位螺孔25之间的距离。

X方向导向块4为长方体结构，带有两个螺孔，且存在一处凸起。

X方向滑动结构3放置于Y方向滑动结构2上两侧的定位螺孔25之间，Y方向滑动结构2上的Y挡板21和X方向滑动结构3上的X挡板31边缘对齐，两个X方向导向块4各固定在Y方向滑动结构2两端，且固定螺丝穿过X方向导向块4两侧的螺孔和Y方向滑动结构2两侧的定位螺孔25，X方向导向块4上的凸起处将X方向滑动结构4压在Y方向滑动机构2上，X方向滑动结构3通过滑动进行X方向上的定位，使X挡板31和Y挡板21形成夹持结构，固定螺丝穿过X方向固定螺孔32进行水平方向上的固定。

实施例2：

将待测基板和Y方向滑动结构2上的Y挡板21边缘平齐，调整X方向滑动结构3紧贴于待测基板，锁紧X方向螺丝，固定待测基板和X方向滑动结构3上的X挡板31平齐，并垂直于光路；

移动Y方向滑动结构2，定位Y挡板21的中线或者底板1上的零线位置，锁紧Y方向固定螺丝，开始测量光谱即可。

中心点测量完成后，松开Y方向固定螺丝，根据底板1上的刻度，上下移动Y方向滑动结构2即可测量剩余待测基板位置，若剩余待测基板超过Y方向滑动结构2的移动距离，则需要重新定位基板初始位置再进行测量，叠加后可测量整片待测基板上入射光单位距离的每一个点位，结构简易，操作方便，适用性强。

一般可测量最大长度为92mm，以保证导向轴的定位范围既不过大也不过小，导向柱的定位范围过大，就会缩小Y方向滑动结构2的移动范围，导向柱的定位范围过小，就不能保证Y方向滑动结构2移动的顺畅性和直线性。

图5为测带夹具的待测基板分光均匀性的实例图。

为了更好确认整片玻璃基板上中心点和边缘的光谱差异，一种测量玻璃基板分光均匀性的治具设计了可定位测量的测试装置，在多种光度计大尺寸测量腔室内均可适用，只需要更改下底板的空位和长度即可。

由技术常识可知，本实用新型可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方案来实现。因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本实用新型范围内或在等同于本实用新型的范围内的改变均被本实用新型包含。

Claims (8)

1.一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，其特征在于，包括底板(1)、Y方向滑动结构(2)、X方向滑动结构(3)和两个X方向导向块(4)；

底板(1)中间设有一排导向孔(12)，导向孔(12)一边设有刻度线；导向孔另一边设有底板U形槽(13)；

Y方向滑动结构(2)为长方形板，Y方向滑动结构(2)一侧长边上设有Y挡板(21)，Y方向滑动结构(2)上设有Y方向U形槽(22)，Y方向U形槽(22)长边与Y挡板(21)长边平行，Y方向U形槽(22)中间设有X方向U形槽(23)，X方向U形槽(23)长边与Y方向U形槽(22)的长边垂直；Y方向U形槽(22)两端各设有两个定位螺孔(25)；Y方向滑动结构(2)边缘设有Y方向固定螺孔(24)；

X方向滑动结构(3)为长方形板，X方向滑动结构(3)一侧长边上设有X挡板(31)，X方向滑动结构(3)中间设有X方向固定螺孔(32)；

X方向导向块(4)为长方体结构，带有两个螺孔，边缘存在一处凸起；

Y方向滑动结构(2)置于底板(1)上，导向轴穿过导向孔(12)和Y方向U形槽(22)，Y方向固定螺孔(24)和底板U形槽(13)通过Y方向固定螺丝固定；

X方向滑动结构(3)放置于Y方向滑动结构(2)上两侧的定位螺孔(25)之间，X方向滑动结构(3)上的X挡板(31)与Y方向滑动结构(2)的Y挡板(21)朝同一方向，两个X方向导向块(4)各固定在Y方向滑动结构(2)两端的定位螺孔(25)上，固定螺丝将X方向导向块(4)和Y方向滑动结构(2)两侧的固定螺孔固定住；

X方向导向块(4)上的凸起处将X方向滑动结构(3)压在Y方向滑动结构(2)上，X方向固定螺孔(32)上设有固定螺丝。

2.如权利要求1所述的一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，其特征在于，底板(1)两边设有固定孔(11)。

3.如权利要求1所述的一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，其特征在于，底板(1)上刻度线的刻度槽宽0.5mm，间距5mm，测量范围在0到90mm之间。

4.如权利要求1所述的一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，其特征在于，Y方向滑动结构(2)上的Y挡板(21)上设有U形缺口。

5.如权利要求4所述的一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，其特征在于，Y方向滑动结构(2)上挡板的U形缺口上设有刻度线，0.1mm槽宽度的刻度线，间距10mm。

6.如权利要求4所述的一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，其特征在于，X方向滑动结构(3)上的X挡板(31)上设有U形缺口。

7.如权利要求6所述的一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，其特征在于，X方向滑动结构(3)上的X挡板(31)的U形缺口上设有刻度线，0.1mm槽宽度的刻度线，间距10mm。

8.如权利要求7所述的一种测量玻璃基板分光均匀性的治具，其特征在于，Y方向滑动结构(2)上的Y挡板(21)比X方向滑动结构(3)上的X挡板(31)稍高一些，当X方向滑动结构(3)放置在Y方向滑动结构(2)上时，Y挡板(21)和X挡板(31)边缘重合。

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