CN218002794U - 电容真空计密封组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体真空技术领域，尤其为电容真空计密封组件，包括真空计，真空计两侧外壁上连接有连接固件，真空计顶部一侧连接有与真空检测仪相连接的密封部件，密封部件包括有第一连接管和第二连接管，第一连接管与第二连接管两侧之间均设置有密封紧固组件，本实用新型通过密封部件替代以往通过环形密封圈进行密封的方式，通过设置密封插销方式使第一连接管与第二连接管进行密封连接，防止出现漏气情况，且通过在密封插销下方设置圆球形密封气囊进行密封限位，密封气囊直径略大于第一连接管内壁与第二连接管外壁之间的距离，第二连接管放置于第一连接管内壁挤压密封气囊进行密封，密封效果好，使用简单。

Description

电容真空计密封组件

技术领域

本实用新型涉及半导体真空技术领域，具体为电容真空计密封组件。

背景技术

真空计，又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。

真空计在使用过程中，将待检测真空的仪器与真空计连接，分别打开真空计和待检测仪器的控制阀，从而检测待检测仪器的真空度，现有的技术两者在连接时，通过环形密封圈连接，然而效果并不是很好，容易出现漏气情况，真空计内部与待检测机器连通时，测量相对气压的同时，机器内部的气压会挤压密封圈，可能导致真空计与外界连通，造成密封性不好，从而损坏真空计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供电容真空计密封组件，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

电容真空计密封组件，包括真空计，所述真空计两侧外壁上连接设有连接固件，所述真空计顶部一侧连接有与真空检测仪相连接的密封部件，所述密封部件包括有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管底部与所述真空计贯通相连接，所述第二连接管与真空检测仪相连接，所述第二连接管远离真空检测仪一端套设位于所述第一连接管内部，所述第一连接管与所述第二连接管两侧之间均设置有密封紧固组件。

作为本实用新型优选的方案，每个所述密封紧固组件包括有密封插销和密封气囊，所述密封插销包括有固定块、插杆、第一密封弹簧和密封塞头，所述固定块位于所述第一连接管顶部两侧外壁上，所述插杆依次贯穿所述固定块和第一连接管并延伸至其内部，位于所述第一连接管内部的插杆上套设有第一密封弹簧和限位环，所述限位环与所述插杆固定相连接，所述第一密封弹簧位于所述插杆上所述限位环和第一连接管内壁之间，所述密封塞头固定位于所述插杆靠近所述限位环一端。

作为本实用新型优选的方案，所述密封气囊呈球形结构设置，所述密封气囊对称位于所述密封插销下方第一连接管的内壁上。

作为本实用新型优选的方案，所述第二连接管底部两侧外壁上开设有与所述密封塞头相对应的密封槽。

作为本实用新型优选的方案，所述第一连接管内部设置有第一密封阀门。

作为本实用新型优选的方案，所述第二连接管内部设置有第二密封阀门。

作为本实用新型优选的方案，所述密封塞头外圆周壁上套设有密封垫片。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

针对背景技术中的问题，本使用新型通过密封部件替代以往通过环形密封圈进行密封的方式，通过设置密封插销方式使第一连接管与第二连接管进行密封连接，防止出现漏气情况，且通过在密封插销下方设置密封气囊进行密封限位，密封气囊呈圆球形结构设置，密封气囊直径略大于第一连接管内壁与第二连接管外壁之间的距离，第二连接管放置于第一连接管内壁挤压密封气囊进行密封，密封效果好，使用简单。

附图说明

图1为本实用新型整体主视图；

图2为本实用新型密封部件示意图；

图3为本实用新型第一连接管与第二连接管示意图；

图4为本实用新型密封插销示意图。

图中：1、真空计；2、连接固件；3、密封部件；31、第一连接管；311、第一密封阀门；32、第二连接管；321、密封槽；322、第二密封阀门；33、密封紧固组件；331、密封插销；332、密封气囊；333、固定块；334、插杆；335、第一密封弹簧；336、密封塞头；337、限位环；338、密封垫片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：电容真空计密封组件，包括真空计1，真空计1两侧外壁上连接设有连接固件2，真空计1顶部一侧连接有与真空检测仪相连接的密封部件3，密封部件3包括有第一连接管31和第二连接管32，第一连接管31内部设置有第一密封阀门311，第一密封阀门311便于将第一连接管31打开进行检测，独立操作方便，第二连接管32内部设置有第二密封阀门322，第二密封阀门322便于将第二连接管32打开进行检测，独立操作方便，第一连接管31底部与真空计1贯通相连接，第二连接管32与真空检测仪相连接，第二连接管32远离真空检测仪一端套设位于第一连接管31内部，第一连接管31与第二连接管32两侧之间均设置有密封紧固组件33，本使用新型通过密封部件3替代以往通过环形密封圈进行密封的方式，通过设置密封插销331方式使第一连接管31与第二连接管32进行密封连接，防止出现漏气情况，且通过在密封插销331下方设置密封气囊332进行密封限位，密封气囊332呈圆球形结构设置，密封气囊332直径略大于第一连接管31内壁与第二连接管32外壁之间的距离，第二连接管32放置于第一连接管31内壁挤压密封气囊332进行密封，密封效果好，使用简单。

实施例，请参照图2和图3和图4，每个密封紧固组件33包括有密封插销331和密封气囊332，密封插销331包括有固定块333、插杆334、第一密封弹簧335和密封塞头336，固定块333位于第一连接管31顶部两侧外壁上，插杆334依次贯穿固定块333和第一连接管31并延伸至其内部，位于第一连接管31内部的插杆334上套设有第一密封弹簧335和限位环337，限位环337与插杆334固定相连接，第一密封弹簧335位于插杆334上限位环337和第一连接管31内壁之间，第一密封弹簧335在插杆334上处于涨紧状态，挤压限位环337带动插杆334向密封槽321内部运动，使第二连接管32与第一连接管31保持密封连接，密封塞头336固定位于插杆334靠近限位环337一端，密封塞头336外圆周壁上套设有密封垫片338，密封垫片338加强第一连接管31与第二连接管32连接密封性，密封气囊332呈球形结构设置，密封气囊332对称位于密封插销331下方第二连接管32的内壁上，第二连接管32底部两侧外壁上开设有与密封塞头336相对应的密封槽321，密封槽321与密封塞头336匹配，使密封塞头336牢牢卡合于密封槽321内部，防止漏气，设置密封插销331方式使第一连接管31与第二连接管32进行密封连接，防止出现漏气情况，通过在密封插销331下方设置密封气囊332进行密封限位，密封气囊332呈圆球形结构设置，密封气囊332直径略大于第一连接管31内壁与第二连接管32外壁之间的距离，第二连接管32放置于第一连接管31内壁挤压密封气囊332进行密封，密封效果好，使用简单。

本实用新型工作流程：

在使用时，将第二连接管32远离真空检测仪一端插接于第一连接管31内部，向内推动第二连接管32，使密封槽321与密封塞头336上部相接，拉动插杆334，插杆334带动第一密封弹簧335收缩，继续推动第二连接管32向下运动，第二连接管32外壁挤压密封气囊332向两侧运动，使密封槽321有密封塞头336卡合相连接，连接完成进行使用，本使用新型通过密封部件3替代以往通过环形密封圈进行密封的方式，通过设置密封插销331方式使第一连接管31与第二连接管32进行密封连接，防止出现漏气情况，且通过在密封插销331下方设置密封气囊332进行密封限位，密封气囊332呈圆球形结构设置，密封气囊332直径略大于第一连接管31内壁与第二连接管32外壁之间的距离，第二连接管32放置于第一连接管31内壁挤压密封气囊332进行密封，密封效果好，使用简单。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.电容真空计密封组件，包括真空计（1），其特征在于：所述真空计（1）两侧外壁上连接设有连接固件（2），所述真空计（1）顶部一侧连接有与真空检测仪相连接的密封部件（3），所述密封部件（3）包括有第一连接管（31）和第二连接管（32），所述第一连接管（31）底部与所述真空计（1）贯通相连接，所述第二连接管（32）与真空检测仪相连接，所述第二连接管（32）远离真空检测仪一端套设位于所述第一连接管（31）内部，所述第一连接管（31）与所述第二连接管（32）两侧之间均设置有密封紧固组件（33）。

2.根据权利要求1所述的电容真空计密封组件，其特征在于：每个所述密封紧固组件（33）包括有密封插销（331）和密封气囊（332），所述密封插销（331）包括有固定块（333）、插杆（334）、第一密封弹簧（335）和密封塞头（336），所述固定块（333）位于所述第一连接管（31）顶部两侧外壁上，所述插杆（334）依次贯穿所述固定块（333）和第一连接管（31）并延伸至其内部，位于所述第一连接管（31）内部的插杆（334）上套设有第一密封弹簧（335）和限位环（337），所述限位环（337）与所述插杆（334）固定相连接，所述第一密封弹簧（335）位于所述插杆（334）上所述限位环（337）和第一连接管（31）内壁之间，所述密封塞头（336）固定位于所述插杆（334）靠近所述限位环（337）一端。

3.根据权利要求2所述的电容真空计密封组件，其特征在于：所述密封气囊（332）呈球形结构设置，所述密封气囊（332）对称位于所述密封插销（331）下方第一连接管（31）的内壁上。

4.根据权利要求2所述的电容真空计密封组件，其特征在于：所述第二连接管（32）底部两侧外壁上开设有与所述密封塞头（336）相对应的密封槽（321）。

5.根据权利要求1所述的电容真空计密封组件，其特征在于：所述第一连接管（31）内部设置有第一密封阀门（311）。

6.根据权利要求1所述的电容真空计密封组件，其特征在于：所述第二连接管（32）内部设置有第二密封阀门（322）。

7.根据权利要求4所述的电容真空计密封组件，其特征在于：所述密封塞头（336）外圆周壁上套设有密封垫片（338）。

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