CN217983298U - 一种晶锭定向装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶锭定向装置，包括定位筒，所述的定位筒呈圆筒状，该定位筒内孔下部的两侧对称布置有两个凸起条，两个凸起条均沿定位筒的轴向布置，所述的定位筒内孔的顶部安装有可上下滑动的定位顶块，所述的定位筒上端并列布置有多个螺纹孔，每个螺纹孔内均旋接有一顶紧螺栓，所述的顶紧螺栓下端顶在定位顶块上。本实用新型把4寸晶锭放置于定位筒的内孔处，再用定位顶块锁住，定位筒套装在晶锭外，用于辅助测量使用，解决了当前定向仪不能兼容4寸晶锭定向定位的问题。

Description

一种晶锭定向装置

技术领域

本实用新型涉及半导体硅片制造加工技术领域，特别是涉及一种晶锭定向装置。

背景技术

参照图2，晶锭1呈圆柱状，晶锭1上端设有水平切面9。现有的定向仪由于两根滚杆轴距大，4寸的晶锭1直径偏小，若直接放置在两根滚杆上，高度不到X射线的水平发射线，X射线打不到晶锭端面，定向测量不了。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶锭定向装置，把4寸晶锭放置于定位筒的内孔处，再用定位顶块锁住，定位筒套装在晶锭外，用于辅助测量使用，解决了当前定向仪不能兼容4寸晶锭定向定位的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种晶锭定向装置，包括定位筒，所述的定位筒呈圆筒状，该定位筒内孔下部的两侧对称布置有两个凸起条，两个凸起条均沿定位筒的轴向布置，所述的定位筒内孔的顶部安装有可上下滑动的定位顶块，所述的定位筒上端并列布置有多个螺纹孔，每个螺纹孔内均旋接有一顶紧螺栓，所述的顶紧螺栓下端顶在定位顶块上。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的定位筒上端并列布置有两个螺纹孔。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的定位顶块呈T字块状结构，所述的定位筒内孔的顶部开设有供定位顶块插入的安装槽，该安装槽的两端均通过挡板封住。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的挡板与定位筒端面之间采用螺丝固定。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的安装槽包括水平槽和竖直贯通槽，所述的水平槽下端中部开设有与定位筒内孔相通的竖直贯通槽，所述的定位顶块由水平部和竖直部组成，所述的水平部安装在水平槽内且水平部可上下滑动，所述的竖直部下端穿过竖直贯通槽。

有益效果：本实用新型涉及一种晶锭定向装置，把4寸晶锭放置于定位筒的内孔处，再用定位顶块锁住，定位筒套装在晶锭外，用于辅助测量使用，解决了当前定向仪不能兼容4寸晶锭定向定位的问题；定位筒的直径大于两根滚杆间距，且具有足够的接触长度，从而提高4寸晶锭的测量定位稳定性。本实用新型具有操作方便，晶锭定位稳定性高、精度好、不限晶锭长度等的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型所述的定位顶块和晶锭的结构示意图；

图3是本实用新型所述的定位筒的结构示意图。

图示：1、晶锭，2、定位筒，3、凸起条，4、挡板，5、定位顶块，6、螺纹孔，7、螺丝，8、竖直贯通槽，9、水平切面，10、水平部，11、竖直部，12、水平槽。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

本实用新型的实施方式涉及一种晶锭定向装置，如图1-3所示，包括定位筒2，所述的定位筒2呈圆筒状，该定位筒2内孔下部的两侧对称布置有两个凸起条3，两个凸起条3均沿定位筒2的轴向布置，凸起条3与晶锭1的接触面为圆弧面，所述的定位筒2内孔的顶部安装有可上下滑动的定位顶块5，所述的定位筒2上端并列布置有多个螺纹孔6，每个螺纹孔6内均旋接有一顶紧螺栓，所述的顶紧螺栓下端顶在定位顶块5上。

所述的定位筒2上端并列布置有两个螺纹孔6，螺纹孔6以及顶紧螺栓的数量可根据实际需要进行增加。

所述的定位顶块5呈T字块状结构，所述的定位筒2内孔的顶部开设有供定位顶块5插入的安装槽，该安装槽的两端均通过挡板4封住；所述的挡板4与定位筒2端面之间采用螺丝7固定。

所述的安装槽包括水平槽12和竖直贯通槽8，所述的水平槽12下端中部开设有与定位筒2内孔相通的竖直贯通槽8，所述的定位顶块5由水平部10和竖直部11组成，所述的水平部10安装在水平槽12内且水平部10可上下滑动，所述的竖直部11下端穿过竖直贯通槽8；参照图1，可知挡板4封住只是水平槽12。

本实用新型的使用过程：A、把该定位筒2平稳放置在工作台的凹形板上，有定位顶块5的方向朝上，拧松顶紧螺栓；B、把需要定向测量的4寸大小的晶锭1，轻缓地往定位筒2内孔塞入，两个凸起条3用于支撑限位晶锭1底部，晶锭1上端的水平切面9位于定位顶块5下方；C、调整好晶锭1与定位筒2的轴向相对距离；D、拧紧定位筒2的顶紧螺栓，顶紧定位晶锭1；E、当装好辅助定位筒2后，整体移至定向仪的机台上正常定向作业；F、晶锭1定向测量结束，取下定位筒2至原安装工作台上，拧松顶紧螺栓，取出晶锭1，定向测量作业完成。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述做出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

以上对本申请所提供的一种晶锭定向装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (5)

1.一种晶锭定向装置，包括定位筒(2)，其特征在于：所述的定位筒(2)呈圆筒状，该定位筒(2)内孔下部的两侧对称布置有两个凸起条(3)，两个凸起条(3)均沿定位筒(2)的轴向布置，所述的定位筒(2)内孔的顶部安装有可上下滑动的定位顶块(5)，所述的定位筒(2)上端并列布置有多个螺纹孔(6)，每个螺纹孔(6)内均旋接有一顶紧螺栓，所述的顶紧螺栓下端顶在定位顶块(5)上。

2.根据权利要求1所述的一种晶锭定向装置，其特征在于：所述的定位筒(2)上端并列布置有两个螺纹孔(6)。

3.根据权利要求1所述的一种晶锭定向装置，其特征在于：所述的定位顶块(5)呈T字块状结构，所述的定位筒(2)内孔的顶部开设有供定位顶块(5)插入的安装槽，该安装槽的两端均通过挡板(4)封住。

4.根据权利要求3所述的一种晶锭定向装置，其特征在于：所述的挡板(4)与定位筒(2)端面之间采用螺丝(7)固定。

5.根据权利要求3所述的一种晶锭定向装置，其特征在于：所述的安装槽包括水平槽(12)和竖直贯通槽(8)，所述的水平槽(12)下端中部开设有与定位筒(2)内孔相通的竖直贯通槽(8)，所述的定位顶块(5)由水平部(10)和竖直部(11)组成，所述的水平部(10)安装在水平槽(12)内且水平部(10)可上下滑动，所述的竖直部(11)下端穿过竖直贯通槽(8)。

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