CN217948258U - 玻璃基板搬运组件及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种玻璃基板搬运组件及镀膜设备，其中，玻璃基板搬运组件包括托架、夹具和载体，夹具设置在托架上，载体用于固定玻璃基板，载体具有沿输送方向相对设置的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁和第二侧壁至少在邻近顶部的位置设置有承载柱，夹具设置有与承载柱适配的夹持槽，夹持槽的槽口朝上，承载柱的截面呈等腰三角形状，承载柱的上表面与载体的上表面平行。玻璃基板搬运组件在承载柱上形成的离子膜面积较小，不仅便于对该载体进行清洁，还能减少夹具与承载柱之间的摩擦而产生研磨异物，避免研磨异物掉落至玻璃基板上，从而保证对玻璃基板的镀膜质量。

Description

玻璃基板搬运组件及镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种玻璃基板搬运组件及镀膜设备。

背景技术

玻璃基板生产过程中，玻璃基板需要进行镀膜工艺。镀膜时，如图1和图2所示，玻璃基板1＇放置在载体2＇上，通过载体2＇将玻璃基板1＇固定在镀膜室内，在镀膜室内具有朝向玻璃基板喷射的等离子流(附图1中的箭头的指向代表等离子流的喷射方向)。镀膜完成后，搬运托架3＇通过夹具4＇夹持载体2＇上的承载柱21＇，将玻璃基板1＇移出镀膜室，玻璃基板1＇与载体2＇分离后，载体2＇将被移送至回收装置内进行更换或清洁。现有技术存在以下缺陷：承载柱21＇呈圆柱状，且一般设置在载体2＇靠近等离子密度较高位置，承载柱21＇正对等离子流的一侧的表面积很大，因此承载柱21＇被等离子流覆盖的面积较大，以使承载柱21＇的表面附着较大面积的离子膜，当夹具4＇夹持承载柱21＇时，夹具4＇和承载柱21＇之间相互摩擦，从而导致离子膜发生脱离而产生研磨异物，异物可能会掉落在玻璃基板1＇上，从而影响玻璃基板1＇的镀膜质量。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于：提供一种玻璃基板搬运组件，其结构简单，能降低研磨异物的产生。

本实用新型的另一个目的在于：提供一种镀膜设备，其结构简单，镀膜效果好。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

第一方面，提供一种玻璃基板搬运组件，包括托架、夹具和载体，所述夹具设置在所述托架上，所述载体用于固定玻璃基板，所述载体具有沿输送方向相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁至少在邻近顶部的位置设置有承载柱，所述夹具设置有与所述承载柱适配的夹持槽，所述夹持槽的槽口朝上，所述承载柱的截面呈等腰三角形状，所述承载柱的上表面与所述载体的上表面平行。

作为玻璃基板搬运组件的一种优选方案，所述第一侧壁和/或第二侧壁设置有两个所述承载柱，两个所述承载柱分别邻近于所述载体的顶部和底部。

作为玻璃基板搬运组件的一种优选方案，所述承载柱的截面呈等边三角形。

作为玻璃基板搬运组件的一种优选方案，所述承载柱的一端设置有连接部，所述连接部的外侧壁上设置螺纹，所述载体的侧壁上设置螺纹孔，所述连接部旋拧在所述螺纹孔内。

作为玻璃基板搬运组件的一种优选方案，还包括第一驱动件，所述第一驱动件包括电机、伸缩气缸、固定板和移动轮，所述伸缩气缸设置在所述托架上，所述伸缩气缸的伸缩杆与所述固定板连接，所述伸缩气缸驱动所述固定板沿水平方向移动，所述电机设置在所述固定板上，所述电机的输出轴与所述移动轮连接，所述载体的底部设置移动轨，所述移动轮设置在所述移动轨内，所述电机驱动所述移动轮转动，从而带动所述载体移动。

作为玻璃基板搬运组件的一种优选方案，还包括夹持件，所述夹持件设置在所述托架上，且位于所述夹具的上方，所述夹持件用于顶升所述载体。

作为玻璃基板搬运组件的一种优选方案，所述夹持件包括第二驱动件和第一磁性件，所述第二驱动件与所述第一磁性件连接，所述第二驱动件能驱动所述第一磁性件沿水平方向和竖直方向移动，所述载体的顶部设置有第二磁性件，所述第一磁性件和所述第二磁性件磁吸连接。

作为玻璃基板搬运组件的一种优选方案，所述第一磁性件为电磁铁。

作为玻璃基板搬运组件的一种优选方案，还包括第三驱动件，所述第三驱动件设置在所述托架上，所述第三驱动件与所述夹具连接，所述第三驱动件能驱动所述夹具转动。

第二方面，提供一种镀膜设备，其包括上述的玻璃基板搬运组件。

本实用新型的有益效果为：通过将承载柱的的截面设置成等腰三角形，也就是承载柱的外形轮廓为呈等腰三角形的柱体，且承载柱的上表面与载体的上表面平行，使得在镀膜腔内对玻璃基板镀膜时仅有一个侧面正对等离子流，且承载柱位于邻近顶部的位置，远离了等离子流密度较高的中部位置，以至于在承载柱上形成的离子膜面积较小，不仅便于对承载柱进行清洁，还能减少夹具与承载柱之间的摩擦而产生研磨异物，避免研磨异物掉落至玻璃基板上，从而保证对玻璃基板的镀膜质量。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有的载体的结构示意图。

图2为现有的玻璃基板搬运组件的结构示意图。

图3为本实用新型实施例的玻璃基板搬运组件的第一视角的结构示意图。

图4为本实用新型实施例的玻璃基板搬运组件的第二视角的结构示意图。

图5为本实用新型实施例的载体的局部剖视图。

图1和图2中：

1′、玻璃基板；2′、载体；21′、承载柱；3′、搬运托架；4′、夹具。

图3至图5中：

100、玻璃基板；

1、托架；2、夹具；21、夹持槽；3、载体；31、承载柱；311、连接部；32、螺纹孔；33、第一侧壁；34、第二侧壁；4、第一驱动件；41、电机；42、移动轮；5、夹持件；51、第一磁性件；52、第二驱动件；53、第二磁性件；6、固定件；7、移动轨；8、第三驱动件。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图3和图4所示，本实用新型公开的玻璃基板搬运组件包括托架1、夹具2和载体3，夹具2设置在托架1上，载体3用于固定玻璃基板100，载体3具有沿输送方向相对设置的第一侧壁33和第二侧壁34，第一侧壁33和第二侧壁34至少在邻近顶部的位置设置有承载柱31，夹具2设置有与承载柱31适配的夹持槽21，夹持槽21的槽口朝上，承载柱31的截面呈等腰三角形状，承载柱31的上表面与载体3的上表面平行。通过将承载柱31的截面设置成等腰三角形，也就是承载柱31的外形轮廓为呈等腰三角形的柱体，且承载柱31的上表面与载体3的上表面平行，使得在镀膜腔内对玻璃基板100镀膜时仅有一个侧面正对等离子流，且承载柱31位于邻近顶部的位置，远离了等离子密度较高的位置，以至于在承载柱31上形成的离子膜面积较小，不仅便于对承载柱31进行清洁，还能减少夹具2与承载柱31之间的摩擦而产生研磨异物，避免研磨异物掉落至玻璃基板100上，从而保证对玻璃基板100的镀膜质量。可以理解的是，在玻璃基板100镀膜完成后，通过夹具2夹紧承载柱31，将载体3移送至回收装置内进行更换清洁，在夹具2夹紧承载柱31时，夹具2与承载柱31之间会发生摩擦而造成承载柱31上的离子膜被研磨形成异物，掉落的异物会影响玻璃基板100的镀膜质量。

需要说明的是，面积的大小是在三角形状承载柱31的中心距和圆形状承载柱的半圆直径相等的情况下进行比较。

为了提高对载体3搬运的稳定性，在第一侧壁33和第二侧壁34设置有两个承载柱31，两个承载柱31分别邻近于载体3的顶部和底部，同样的托架1上设置对应承载柱31设置同等数量的夹具2，以对载体3的顶部和底部均同时进行夹持，以避免载体3发生晃动。在其他实施例中，可以仅在第一侧壁33设置两个承载柱31，或仅在第二侧壁34设置两个承载柱31；又或者，在第一侧壁33和第二侧壁34上设置其他数量的承载柱31，不以本实施例为限。

可选地，承载柱31的截面呈等边三角形，该设计的承载柱31的三个侧面的大小相等，各个侧面上附着的异物差异不会太大，以保证承载柱31各个面正对等离子流时，承载柱31上所形成离子膜的面积都比较小。在其他实施例中，三角形还可以是等腰三角形或不等边三角形。

具体地，承载柱31和载体3可拆卸连接，以便于承载柱31和载体3的生产制造。

具体地，如图5所示，承载柱31的一端设置有连接部311，连接部311的外侧壁上设置螺纹，载体3的侧壁上设置螺纹孔32，连接部311旋拧在螺纹孔32内，以实现承载柱31与载体3之间的固定。螺纹连接的稳定性较高，拆装方便。

一实施例中，承载柱31和载体3卡接，卡接的连接方式拆装便捷，且无需拆装工具。具体地，载体3的侧壁上凸出设置有卡凸(附图未示出)，在承载柱31的端部对应卡凸设置卡槽(附图未示出)，卡凸卡设在卡槽内，以实现承载柱31和载体3之间的固定。在其他实施例中，在承载柱31上设置卡凸，在载体3的侧壁上凹陷设置卡槽，并且卡凸卡设在卡槽内同样能实现承载柱31和载体3之间的卡接。

当然，承载柱31和载体3之间还可以通过焊接、磁吸连接或其它连接方式，不以本实施例为限。

本实施例中，玻璃基板搬运组件还包括第一驱动件4，第一驱动件4包括电机41、伸缩气缸(附图未示出)、固定板(附图未示出)和移动轮42，伸缩气缸设置在托架1上，伸缩气缸的伸缩杆与固定板连接，伸缩气缸驱动固定板沿水平方向移动，所述电机41设置在固定板上，电机41的输出轴与移动轮42连接，在载体3的底部设置移动轨7，移动轮42设置在移动轨7内，电机41带动移动轮42转动，以使载体3发生移动。当托架1靠近载体3时，为了避免移动轮42与载体1发生碰撞，伸缩气缸带动移动轮42朝向托架1的一侧移动，当承载柱31被夹具2夹持后并载体3被顶升时，在将移动轮42推入移动轨7内。当托架1将载体3移送至邻近回收装置的位置时，电机41带动移动轮42转动，当多个移动轮42在移动轨7内转动，同时移动轨7的侧壁具有限位作用，不仅能避免移动轮42脱离移动轨7，还能对载体3进行导向，使得载体3朝向回收装置的方向移动。

本实施例中，玻璃基板搬运组件还包括夹持件5，夹持件5设置在托架1上，且位于夹具2的上方，夹持件5用于顶升载体3，以使载体3可以沿竖直方向移动，此外，夹持件5具有限位功能，可以用于限制承载柱31脱离夹持槽21。

具体地，夹持件5包括第二驱动件52和第一磁性件51，第二驱动件52与第一磁性件51连接，第二驱动件52能驱动第一磁性件51沿水平方向和竖直方向移动，载体3的顶部设置有第二磁性件53，第一磁性件51和第二磁性件53磁吸连接。第二驱动件52驱动第一磁性件51沿水平方向移动和竖直方向移动，以使第一磁性件51可以远离或靠近载体3，而通过在载体3的顶部设置第二磁性件53，通过第一磁性件51和第二磁性件53磁吸，以实现夹持件5对载体3的固定及顶升载体3。磁性连接的结构简单，且无需设置复杂的机械手结构，便能实现对载体3的夹紧，且制造成本较低。

一实施例中，第二驱动件52包括第一液压缸、安装板和第二液压缸，第一液压缸设置在托架1上，第一液压缸的液压杆与安装板连接，第二液压缸设置在安装板上，第二液压缸的液压杆与第一磁性件51连接，第一液压缸驱动安装板沿水平方向移动，从而带动第一磁性件51移动，第二液压缸带动第一磁性件51沿竖直方向移动。

可选地，第一磁性件51为电磁铁，电磁铁是通电产生电磁的一种装置。在铁芯的外部缠绕与其功率相匹配的导电绕组，这种通有电流的线圈像磁铁一样具有磁性。因此该玻璃基板搬运组件只需通过控制通电或断电便能实现对第二磁性件53的夹紧或松开，结构简单，可靠性高。

可选地，第二磁性件53为连接板，连接板通过螺栓和载体3可拆卸连接。

可选地，连接板采用磁性金属制成，例如铁合金、铁、钴或镍等。

本实施例中，托架1上设置有第三驱动件8，第三驱动件8与夹具2连接，第三驱动件8能驱动夹具2转动，以便于承载柱31进入或退出夹持槽21。可选地，第三驱动件8为旋转电机。

玻璃基板搬运组件在还包括多个固定件6，所有的固定件6间隔设置在载体3上，以通过多个固定件6对玻璃基板100进行固定。

本实用新型还提供一种镀膜设备，其包括上述任一实施例的玻璃基板搬运组件。通过应用该玻璃基板搬运组件，在搬运玻璃基板过程中产生的研磨异物较少，防止研磨异物掉落至玻璃基板100上，从而提高了该镀膜设备的镀膜质量。

具体地，镀膜设备还包括回收装置，托架1将载体3移动至回收装置的回收口处时，玻璃基板搬运组件将载板从镀膜腔输送至回收装置内。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种玻璃基板搬运组件，包括托架、夹具和载体，所述夹具设置在所述托架上，所述载体用于固定玻璃基板，所述载体具有沿输送方向相对设置的第一侧壁和第二侧壁，其特征在于，所述第一侧壁和所述第二侧壁至少在邻近顶部的位置设置有承载柱，所述夹具设置有与所述承载柱适配的夹持槽，所述夹持槽的槽口朝上，所述承载柱的截面呈等腰三角形状，所述承载柱的上表面与所述载体的上表面平行。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板搬运组件，其特征在于，所述第一侧壁和/或第二侧壁设置有两个所述承载柱，两个所述承载柱分别邻近于所述载体的顶部和底部。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板搬运组件，其特征在于，所述承载柱的截面呈等边三角形。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板搬运组件，其特征在于，所述承载柱的一端设置有连接部，所述连接部的外侧壁上设置螺纹，所述载体的侧壁上设置螺纹孔，所述连接部旋拧在所述螺纹孔内。

5.根据权利要求1-4任一项所述的玻璃基板搬运组件，其特征在于，还包括第一驱动件，所述第一驱动件包括电机、伸缩气缸、固定板和移动轮，所述伸缩气缸设置在所述托架上，所述伸缩气缸的伸缩杆与所述固定板连接，所述伸缩气缸驱动所述固定板沿水平方向移动，所述电机设置在所述固定板上，所述电机的输出轴与所述移动轮连接，所述载体的底部设置移动轨，所述移动轮设置在所述移动轨内，所述电机驱动所述移动轮转动，从而带动所述载体移动。

6.根据权利要求1-4任一项所述的玻璃基板搬运组件，其特征在于，还包括夹持件，所述夹持件设置在所述托架上，且位于所述夹具的上方，所述夹持件用于顶升所述载体。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板搬运组件，其特征在于，所述夹持件包括第二驱动件和第一磁性件，所述第二驱动件与所述第一磁性件连接，所述第二驱动件能驱动所述第一磁性件沿水平方向和竖直方向移动，所述载体的顶部设置有第二磁性件，所述第一磁性件和所述第二磁性件磁吸连接。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板搬运组件，其特征在于，所述第一磁性件为电磁铁。

9.根据权利要求1-4任一项所述的玻璃基板搬运组件，其特征在于，还包括第三驱动件，所述第三驱动件设置在所述托架上，所述第三驱动件与所述夹具连接，所述第三驱动件能驱动所述夹具转动。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的玻璃基板搬运组件。

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