CN217943376U - 一种抓取硅片新型机械手 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种抓取硅片新型机械手，包括基座，基座上设有固定架，固定架上安装有伸缩气缸，伸缩气缸的输出端设有连接板，连接板的下端对称设有两个夹持装置；夹持装置，包括设置于连接板下端的方形固定块，方形固定块的侧壁均设有两个交错排布有气缸，同侧两个气缸的输出端共同连接有固定板，固定板的下端设有夹持爪，夹持爪的夹持端设有卡槽，本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，通过设置伸缩气缸带动连接板和夹持装置进行上下移动，通过夹持爪的夹持端设置的卡槽代替挂钩，实现了能够勾住提篮的同时也取放单片硅片，避免了当需要取放单片硅片时挂钩难以适用的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，具体领域为一种抓取硅片新型机械手。
背景技术
在硅片生产过程中，通常采用机械手取放硅片进行提升效率。例如在硅片清洗时，装载着硅片的提篮在不同水槽内的运动需要靠机械手来完成。机械手的运动有两个方向，一个是按照设备纵向轴线水平移动，每个水槽作为一个工位，自动状态下机械手会停在相应的工位；另一个方向是沿着机械手自身的与地面垂直的方向上下运动，目的是对提篮进行升降操作。但是，现有的机械手通常采用挂钩，从而能够勾住提篮，当需要取放单片硅片时，挂钩难以适用，为此提供一种抓取硅片新型机械手。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种抓取硅片新型机械手，以解决现有的机械手通常采用挂钩，从而能够勾住提篮，当需要取放单片硅片时，挂钩难以适用的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种抓取硅片新型机械手，包括基座，所述基座上设有固定架，所述固定架上安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸的输出端设有连接板，所述连接板的下端对称设有两个夹持装置；
夹持装置，包括设置于连接板下端的方形固定块，所述方形固定块的侧壁均设有两个交错排布有气缸，同侧两个所述气缸的输出端共同连接有固定板，所述固定板的下端设有夹持爪，所述夹持爪的夹持端设有卡槽。
优选的，所述固定架设置为H形架，所述固定架的上端设有用于安装伸缩气缸的安装槽。
优选的，所述固定架上且位于伸缩气缸的两侧均设有通孔，所述连接板的上端设有穿过通孔的导柱。
优选的，所述卡槽的内侧壁设有弹性垫。
优选的，多个所述卡槽位于同一水平面上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种抓取硅片新型机械手，通过设置伸缩气缸带动连接板和夹持装置进行上下移动，通过夹持爪的夹持端设置的卡槽代替挂钩，实现了能够勾住提篮的同时也取放单片硅片，避免了当需要取放单片硅片时挂钩难以适用的问题。
附图说明
图1为本实用新型的主剖视结构示意图；
图2为本实用新型夹持爪的结构示意图。
图中：1、基座；2、固定架；3、伸缩气缸；4、连接板；5、夹持装置；51、方形固定块；52、气缸；53、固定板；54、夹持爪；55、卡槽；6、安装槽；7、通孔；8、导柱；9、弹性垫。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种抓取硅片新型机械手，包括基座1，基座1用于与外部设备连接，基座1上设有固定架2，固定架2设置为H形架，固定架2上安装有伸缩气缸3，固定架2的上端设有用于安装伸缩气缸3的安装槽6，增加了伸缩气缸3安装的稳定性，伸缩气缸3用于调整夹持装置5的高度，伸缩气缸3的输出端设有连接板4，连接板4的下端对称设有两个夹持装置5，两个夹持装置5分别设置于连接板4下表面两端，使连接板4保持平衡，通过伸缩气缸3带动连接板4和夹持装置5上下移动实现对夹持装置5的高度进行调整。
具体而言，夹持装置5，包括设置于连接板4下端的方形固定块51，方形固定块51的侧壁均设有两个交错排布有气缸52，同侧两个所述气缸52的输出端共同连接有固定板53，固定板53的下端设有夹持爪54，通过设置四个夹持爪54能够从四面将硅片夹紧，避免了出现松脱掉落的现象，通过设置气缸52带动固定板53和夹持爪54进行平移，通过多个夹持爪54聚拢和分离，实现将硅片进行夹紧和放松，夹持爪54的夹持端设有卡槽55，卡槽55设置为横向槽，多个卡槽55位于同一水平面上，卡槽55的内侧壁设有弹性垫9，弹性垫9设置为橡胶垫，通过设置卡槽55和弹性垫9，使得硅片能够卡设在卡槽55内，使抓取更稳定，卡槽55内侧壁的弹性垫9能够避免硅片与夹持爪54接触磨损，避免硅片受损，同时，卡槽55也能够挂设提篮，通过相对设置在卡槽55组合将提篮卡住，增加了机械手的使用范围，通过夹持爪54的夹持端设置的卡槽55代替挂钩，实现了能够勾住提篮的同时也取放单片硅片，避免了当需要取放单片硅片时挂钩难以适用的问题。
具体而言，固定架2上且位于伸缩气缸3的两侧均设有通孔7，连接板4的上端设有穿过通孔7的导柱8，通过设置导柱8，使连接板4通过导柱8导向进行升降，增加了设备的稳定性。
工作原理：本实用新型首先通过启动伸缩气缸3带动连接板4和夹持装置5上下移动进行调整高度，通过气缸52带动固定板53和夹持爪54移动实现对硅片进行夹持。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种抓取硅片新型机械手，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)上设有固定架(2)，所述固定架(2)上安装有伸缩气缸(3)，所述伸缩气缸(3)的输出端设有连接板(4)，所述连接板(4)的下端对称设有两个夹持装置(5)；
夹持装置(5)，包括设置于连接板(4)下端的方形固定块(51)，所述方形固定块(51)的侧壁均设有两个交错排布有气缸(52)，同侧两个所述气缸(52)的输出端共同连接有固定板(53)，所述固定板(53)的下端设有夹持爪(54)，所述夹持爪(54)的夹持端设有卡槽(55)。
2.根据权利要求1所述的一种抓取硅片新型机械手，其特征在于：所述固定架(2)设置为H形架，所述固定架(2)的上端设有用于安装伸缩气缸(3)的安装槽(6)。
3.根据权利要求1所述的一种抓取硅片新型机械手，其特征在于：所述固定架(2)上且位于伸缩气缸(3)的两侧均设有通孔(7)，所述连接板(4)的上端设有穿过通孔(7)的导柱(8)。
4.根据权利要求1所述的一种抓取硅片新型机械手，其特征在于：所述卡槽(55)的内侧壁设有弹性垫(9)。
5.根据权利要求1所述的一种抓取硅片新型机械手，其特征在于：多个所述卡槽(55)位于同一水平面上。
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| CN116968452A (zh) * | 2023-08-28 | 2023-10-31 | 苏州天裕塑胶有限公司 | 连续加工型喷码设备 |
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