CN217911954U - 一种晶圆废边去除装置 - Google Patents

Abstract

一种晶圆废边去除装置，属于晶圆加工设备技术领域。其特征在于：包括晶圆夹紧装置、动力装置、废边收集装置以及抽负压装置，抽负压装置的进气口设置在晶圆夹紧装置的一侧，抽负压装置的出气口与废边收集装置相连通，动力装置与晶圆夹紧装置相连，并带动其转动。本晶圆废边去除装置的晶圆夹紧装置能够夹紧裂片后的晶圆，抽负压装置的进气口能够吸取晶圆的废边，并将抽取的废边送入到废边收集装置内，动力装置带动晶圆夹紧装置转动，实现了晶圆周圈废边的去除，废边收集装置能够对去除的废边进行收集，方便对去除的废边进行集中处理，避免废边对工作环境造成污染。

Description

一种晶圆废边去除装置

技术领域

一种晶圆废边去除装置，属于晶圆加工设备技术领域。

背景技术

晶圆在经裂片机裂片后，需要对晶圆边缘的废边进行取出，目前主要是通过人工的方式取出晶圆的废边，这种废边去除的方式工作效率低。申请号为202021647060.X的中国实用新型专利公开了一种去边机，其通过去边喷嘴对晶圆的的废边进行吹除，为了保证将废边吹走，需要喷嘴吹出的空气具有足够的压力，但是压缩气会将废边吹散，导致吹除的废边难以集中处理。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种能够实现裂片后晶圆废边的去除，且能够对去除的废边收集并集中处理的晶圆废边去除装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该晶圆废边去除装置，其特征在于：包括晶圆夹紧装置、动力装置、废边收集装置以及抽负压装置，抽负压装置的进气口设置在晶圆夹紧装置的一侧，抽负压装置的出气口与废边收集装置相连通，动力装置与晶圆夹紧装置相连，并带动其转动。

优选的，所述的废边收集装置包括收集仓，收集仓的顶部与抽负压装置的出气口相连通。收集仓能够承接去除的废边。

优选的，所述的废边收集装置还包括抽屉，抽屉可滑动的安装在收集仓内。进入到收集仓内的废边落入到抽屉内，方便对收集仓内的废边进行清理。

优选的，所述的晶圆夹紧装置包括压盘、托盘以及压紧气缸，托盘与动力装置相连，压盘同轴设置在托盘的正上方，压紧气缸的活塞杆与压盘可转动的连接。

优选的，所述的压盘连接有导向装置。

优选的，所述的导向装置包括导向轴以及导向套，导向轴竖向设置，导向套与压盘相连，导向套可滑动的套设在导向轴外。导向轴与导向套相配合，对压盘进行导向，使压盘直线升降，保证压盘与托盘正对，对晶圆的夹紧位置精确。

优选的，所述的晶圆夹紧装置还包括复位弹簧，复位弹簧与压盘相连。复位弹簧能够辅助压盘复位。

优选的，还包括挡料筒，挡料筒为底部封闭的圆筒，托盘设置在挡料筒内。挡料筒能够对托盘上甩出的废边进行阻挡，且由于晶圆底部通过液体粘附在纸片上，挡料筒还能够避免液体甩至工作台面上。

优选的，所述的动力装置包括旋转电机以及同步带，旋转电机的输出轴通过同步带与晶圆夹紧装置相连。

优选的，还包括吹气管，吹气管的出气口设置在晶圆夹紧装置的一侧，且吹气管的出气口与抽负压装置的出气口沿夹紧装置的转动方向依次设置。由于裂片后的晶圆通过液体粘附在纸片上，吹气管通过吹气口使纸片与晶圆分离，保证晶圆的废边去除更加稳定。

与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果是：

本晶圆废边去除装置的晶圆夹紧装置能够夹紧裂片后的晶圆，抽负压装置的进气口能够吸取晶圆的废边，并将抽取的废边送入到废边收集装置内，动力装置带动晶圆夹紧装置转动，实现了晶圆周圈废边的去除，废边收集装置能够对去除的废边进行收集，方便对去除的废边进行集中处理，避免废边对工作环境造成污染。

附图说明

图1为晶圆废边去除装置的立体示意图。

图2为压紧装置与动力装置连接后的立体示意图。

图3为图2中A处的局部放大图。

图中：1、机架 2、脚杯 3、万向轮 4、输送管 5、收集口 6、龙门架 7、压紧气缸 8、导向轴 9、连接板 901、让位口 10、复位弹簧 11、导向套 12、升降架 13、转轴 14、被动同步带轮 15、同步带 16、旋转电机 17、主动同步带轮 18、支撑环 19、吸取管 20、吸嘴 21、压盘 22、托盘 23、挡料筒 24、安装轴 25、收集仓 26、抽屉 27、阀门。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型做进一步说明，然而熟悉本领域的人们应当了解，在这里结合附图给出的详细说明是为了更好的解释，本实用新型的结构必然超出了有限的这些实施例，而对于一些等同替换方案或常见手段，本文不再做详细叙述，但仍属于本申请的保护范围。

图1~3是本实用新型的最佳实施例，下面结合附图1~3对本实用新型做进一步说明。

一种晶圆废边去除装置，包括晶圆夹紧装置、动力装置、废边收集装置以及抽负压装置，抽负压装置的进气口设置在晶圆夹紧装置的一侧，抽负压装置的出气口与废边收集装置相连通，动力装置与晶圆夹紧装置相连，并带动其转动。本晶圆废边去除装置的晶圆夹紧装置能够夹紧裂片后的晶圆，抽负压装置的进气口能够吸取晶圆的废边，并将抽取的废边送入到废边收集装置内，动力装置带动晶圆夹紧装置转动，实现了晶圆周圈废边的去除，废边收集装置能够对去除的废边进行收集，方便对去除的废边进行集中处理，避免废边对工作环境造成污染。

如图1~3所示：本晶圆废边去除装置还包括机架1，晶圆夹紧装置安装在机架1的顶部，动力装置安装在机架1内，动力装置与晶圆夹紧装置相连，并带动其转动。抽负压装置安装在机架1上。废边收集装置安装在机架1内。

机架1的底部安装有万向轮3，通过万向轮3方便移动本晶圆废边去除装置。机架1的底部还安装有脚杯2，脚杯2的顶部与机架1的底部螺纹连接，各脚杯2上均螺纹连接有锁紧螺母，方便调节脚杯2的高度，且在脚杯2的高度调节完成后方便对脚杯2进行锁紧，脚杯2能够使机架1支撑在地面上，从而既方便了本晶圆废边去除装置的移动，又方便使本晶圆废边去除装置稳定的支撑在地面上。

晶圆夹紧装置包括压紧气缸7、压盘21以及托盘22，本晶圆废边去除装置还包括挡料筒23，挡料筒23为底部封闭的圆筒，挡料筒23竖向安装在机架1的顶部，挡料筒23的直径大于托盘22的直径，托盘22可转动的设置在挡料筒23内，且托盘22与挡料筒23同轴设置，托盘22的顶部低于挡料筒23的顶部设置。机架1上可转动的安装有转轴13，转轴13的上端穿过挡料筒23的封闭端有与托盘22相连，并带动托盘22转动，转轴13与挡料筒23的封闭端相对转动设置。优选挡料筒23与转轴13之间密封连接。机架1的顶部设置有龙门架6，压紧气缸7竖向安装在龙门架6的顶部，压盘21可转动的安装在压紧气缸7的活塞杆上，压盘21设置在托盘22的正上方，且压盘21的直径小于托盘22的直径。在本实施例中，托盘22的直径大于晶圆的直径，压盘21的直径小于晶圆的直径，当压盘21与托盘22相配合夹紧晶圆时，晶圆的废边恰好位于压盘21外。

压盘21连接有导向装置，导向装置包括导向轴8、导向套11以及连接板9，导向轴8竖向安装在机架1的顶部，导向轴8的下端与机架1的顶部固定连接，导向轴8的上端低于龙门架6的顶部设置，导向轴8有对称设置在挡料筒23两侧的两根，两导向轴8的顶部通过连接板9固定连接，连接板9的两端分别与对应侧的导向轴8的顶部相连，以增加导向轴8的稳定性。连接板9的中部设置有让位口901。压盘21通过安装轴24安装在升降架12上，压盘21设置在升降架12的下侧，安装轴24位于压盘21和升降架12之间，安装轴24的上端与升降架12可转动的连接，安装轴24的下端与压盘21同轴连接。压紧气缸7的活塞杆穿过让位口901后与升降架12的中部相连，压紧气缸7的活塞杆与连接板9相对滑动设置。升降架12的两端对称安装有导向套11，各导向套11分别可滑动的套设在对应侧的导向轴8外，导向轴8与导向套11相配合对升降架12进行导向，使压盘21直线升降，对晶圆的夹紧更加准确，进而保证了晶圆的废边去除更加准确。

晶圆夹紧装置还包括复位弹簧10，各导向轴8的下部均安装有支撑环18，支撑环18与导向轴8固定连接，支撑环18位于升降架12的下侧，各导向轴8外均套设有复位弹簧10，各复位弹簧10位于对应侧的支撑环18与升降架12之间，复位弹簧10的下端支撑在对应侧的支撑环18上，上端支撑在升降架12的对应侧的底部，复位弹簧10处于压缩状态，并推动升降架12复位，进而辅助压盘21复位。

动力装置包括旋转电机16以及同步带15，旋转电机16安装在机架1上，旋转电机16的输出轴上安装有主动同步带轮17，转轴13的底部同轴安装有被动同步带轮14，同步带15的两端分别与主动同步带轮17和被动同步带轮14相连，旋转电机16通过同步带15带动转轴13转动，进而带动托盘22转动。

废边收集装置包括收集仓25以及抽屉26，收集仓25安装在机架1的顶部，收集仓25为长方体箱体，收集仓25的顶部设置有收集口5，抽屉26可滑动的安装在收集仓25内，且抽屉26位于收集仓25的底部，收集口5设置在抽屉26的正上方，从而方便对收集仓25内的废边进行清理。

抽负压装置为风机或真空泵，在本实施例中，抽负压装置为风机。风机的进气口设置在托盘22的一侧，风机的出气口与收集口5相连通。

风机的进风口还可以与收集仓25相连通，收集口5依次连接有输送管4以及吸取管19，输送管4的出气口与收集口5相连通，输送管4的进气口串联阀门27后与吸取管19的出气口相连通，吸气管19的进气口安装有吸嘴20，吸嘴20设置在托盘22的一侧，从而吸取晶圆的废边。通过阀门27方便调节吸嘴20的吸力。

本晶圆废边去除装置还包括吹气管，吹气管的进气口连接压缩空气，吹气管的出气口设置在托盘22的一侧，且吹气管的出气口和吸嘴20沿托盘22的转动方向依次设置，吹气管上也设置有阀门27，以方便调节吹气量，从而使晶圆与纸片分离。

本晶圆废边去除装置的工作过程如下：首先将晶圆放置在托盘22上，压紧气缸7动作，并通过升降架12推动压盘21向下运动，使压盘21与托盘22相配合夹紧晶圆。旋转电机16带动托盘22转动。

吹气管吹出压缩空气，并将晶圆与晶圆底部的纸片分离，吸嘴20将分离后的晶圆的废边吸走，并依次经过吸气管19和输送管4送入到收集仓25内，并进入到抽屉26内，从而实现了晶圆的废边的去除。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶圆废边去除装置，其特征在于：包括晶圆夹紧装置、动力装置、废边收集装置以及抽负压装置，抽负压装置的进气口设置在晶圆夹紧装置的一侧，抽负压装置的出气口与废边收集装置相连通，动力装置与晶圆夹紧装置相连，并带动其转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：所述的废边收集装置包括收集仓（25），收集仓（25）的顶部与抽负压装置的出气口相连通。

3.根据权利要求2所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：所述的废边收集装置还包括抽屉（26），抽屉（26）可滑动的安装在收集仓（25）内。

4.根据权利要求1所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：所述的晶圆夹紧装置包括压盘（21）、托盘（22）以及压紧气缸（7），托盘（22）与动力装置相连，压盘（21）同轴设置在托盘（22）的正上方，压紧气缸（7）的活塞杆与压盘（21）可转动的连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：所述的压盘（21）连接有导向装置。

6.根据权利要求5所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：所述的导向装置包括导向轴（8）以及导向套（11），导向轴（8）竖向设置，导向套（11）与压盘（21）相连，导向套（11）可滑动的套设在导向轴（8）外。

7.根据权利要求4所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：所述的晶圆夹紧装置还包括复位弹簧（10），复位弹簧（10）与压盘（21）相连。

8.根据权利要求4所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：还包括挡料筒（23），挡料筒（23）为底部封闭的圆筒，托盘（22）设置在挡料筒（23）内。

9.根据权利要求1所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：所述的动力装置包括旋转电机（16）以及同步带（15），旋转电机（16）的输出轴通过同步带与晶圆夹紧装置相连。

10.根据权利要求1所述的晶圆废边去除装置，其特征在于：还包括吹气管，吹气管的出气口设置在晶圆夹紧装置的一侧，且吹气管的出气口与抽负压装置的出气口沿夹紧装置的转动方向依次设置。

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