CN217895742U - 一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，包括：承载件，承载件固定于真空镀膜机上；升降组件，升降组件包括升降件和气缸；气缸设置于承载件上，气缸的活塞杆与升降件转动连接，气缸用于驱动升降件升降；伸缩组件，伸缩组件包括驱动件和两个伸缩板，两个伸缩板均滑移设置于升降件上，驱动件设置于升降件上，驱动件用于驱动两个伸缩板朝向相互靠近或相互远离的方向滑动；吸附组件，吸附组件的数量有两个，两个吸附组件分别设置于两个伸缩板上，两个吸附组件均用于吸附托板；旋转组件，旋转组件用于驱动升降件旋转。本申请提升了对托板的交换效率。

Description

一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构

技术领域

本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构。

背景技术

目前单室真空镀膜机镀膜工艺流程时间比较长，真空镀膜机在加工工件的过程中，每当加工完成时，位于加工区域内的托板和位于等待区域内的托板互相交换。因此，在加工区域内的加工完成后，放置在位于加工区域内的托板上的工件返回到等待区域，与此同时，放置在位于等待区域内的托板上的工件返回到加工区域。

相关技术中的多室（双室）真空镀膜机的托板传送组件，大多采用整毂传送或单托板传送的方式对托板进行交换。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在以下缺陷：整毂传送的设备，占地面积大，安装操作复杂，有一部分设备虽然采用单托板传送，但结构过于庞大，每次进行托板交换时，需要大幅度运动两次，才能将所需要的托板转移到需要的位置，占地面积虽然比整毂占地面积要小，但整体的交换效率低。

发明内容

为了提升对托板的交换效率，本申请提供一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构。

本申请提供的一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构采用如下的技术方案：

一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，包括

承载件，所述承载件固定于真空镀膜机上；

升降组件，所述升降组件包括升降件和气缸；所述气缸设置于所述承载件上，所述气缸的活塞杆与所述升降件转动连接，所述气缸用于驱动所述升降件升降；

伸缩组件，所述伸缩组件包括驱动件和两个伸缩板，两个所述伸缩板均滑移设置于所述升降件上，所述驱动件设置于所述升降件上，所述驱动件用于驱动两个所述伸缩板朝向相互靠近或相互远离的方向滑动；

吸附组件，所述吸附组件的数量有两个，两个所述吸附组件分别设置于两个所述伸缩板上，两个所述吸附组件均用于吸附托板；

旋转组件，所述旋转组件用于驱动所述升降件旋转。

通过采用上述技术方案，在交换托板的过程中，通过两个吸附组件吸附两个托板；然后通过气缸驱动升降件上升，从而将两个托板从镀膜机上取下；然后通过驱动件驱动两个伸缩板朝向相互靠近的方向运动，最后通过旋转组件驱动升降件旋转180度；然后通过驱动件驱动两个伸缩板朝向相互远离的方向运动，通过气缸驱动件驱动升降件下降，从而将两个托板安装于镀膜机内部，从而同时实现对两个托板的更换，进而提升了对两个托板的更换效率。

可选的，所述驱动件包括旋转杆、第一电机和两个齿轮；所述旋转杆转动设置于所述升降件上，所述第一电机设置于所述升降件上，所述第一电机用于驱动所述旋转杆旋转；其中一个伸缩板上固定设置有第一齿条，所述齿轮与所述第一齿条相互啮合；另一个所述伸缩板上固定设置有第二齿条，所述齿轮与所述第二齿条相互啮合。

通过采用上述技术方案，第一电机驱动旋转杆旋转，旋转杆带动齿轮旋转，齿轮在旋转的过程中同时带动第一齿条和第二齿条沿水平方向滑动，从而同时带动两个伸缩板朝向相互靠近或相互远离的方向滑动，进而在传送两个托板的过程中，便于减小两个托板之间的距离，以使传送机构在传送托板的过程中，两个托板不会接触到镀膜机内部，对两个托板均有保护作用。

可选的，所述升降件上固定设置有第一导向块，所述第一导向块的上开设有第一导槽；所述伸缩板上固定设置有第一导轨，所述第一导轨穿过所述第一导槽，所述第一导轨与第一导向块滑移配合。

通过采用上述技术方案，第一导向块对第一导轨有导向作用，从而增加了第一导轨沿水平方向滑动的稳定性，进而增加了伸缩板沿水平方向滑动的稳定性。

可选的，所述升降件上固定设置有两个压盖，两个所述压盖相互靠近的侧壁均开设有半圆形的避位孔，气缸的活塞杆抵接于两个避位孔的内侧壁，气缸的活塞杆与两个压盖转动连接；两个压盖的内侧壁均固定设置防脱台阶，所述气缸的活塞杆上开设有环形的防脱槽，两个防脱台阶的侧壁均抵接于防脱槽的内侧壁，所述气缸的活塞杆与两个所述压盖转动连接。

通过采用上述技术方案，两个压盖不仅将升降件安装于气缸的活塞杆上，同时由于两个压盖内侧壁的防脱台阶均抵接于活塞杆上的防脱槽，同时气缸的活塞杆与两个压盖转动连接，从而使旋转机构在驱动旋转件旋转180度的过程中，对气缸的活塞杆有保护作用。

可选的，所述吸附组件均包括连接板、承载框和多个吸盘；所述连接板固定于所述伸缩板上，所述承载框固定于所述连接板上，多个所述吸盘均固定于所述承载框上，多个所述吸盘用于吸附托板。

通过采用上述技术方案，伸缩板对连接板有承载作用，连接板对承载框有承载作用，承载框对多个吸盘有承载作用，多个吸盘对托板有吸附作用，从而便于实现对托板的更换。

可选的，所述伸缩板上固定设置有支座，所述支座均包括第一导向杆和两个支撑块，两个所述支撑块均固定于所述伸缩板上，所述第一导向杆的两端分别与两个支撑块固定连接；所述连接板上均固定设置有第一缓冲块，所述第一缓冲块内固定设置有套筒，所述套筒套设于所述第一导向杆上，所述套筒与所述第一导向杆滑移配合。

通过采用上述技术方案，传送机构在传送托板的过程中，由于套筒与第一导向杆滑移配合，因此连接板与伸缩板之间沿水平方向可以产生相对滑动，从而对连接板有调节作用，进而延长了连接板和伸缩板的使用寿命；同时第一导向杆也增加了套筒沿水平方向滑动的稳定性，从而增加了伸缩板沿水平方向滑动的稳定性。

可选的，所述第一导向杆上均套设有弹簧，弹簧的一端抵接于其中所述支撑块的侧壁，所述弹簧的另一端抵接于所述套筒的侧壁。

通过采用上述技术方案，当连接板受到外力作用朝向靠近伸缩板的方向滑动时，套筒在滑动的过程中挤压弹簧，以使弹簧产生弹性形变；当连接板不受外力时，处于压缩状态的弹簧以使连接板沿第一导向杆的长度方向滑动至原来的位置。

可选的，所述伸缩板的端部固定设置有限位板。

通过采用上述技术方案，限位板可以限制伸缩板沿水平方向滑动的距离。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.在交换托板的过程中，通过两个吸附组件吸附两个托板；然后通过气缸驱动升降件上升，从而将两个托板从镀膜机上取下；然后通过驱动件驱动两个伸缩板朝向相互靠近的方向运动，最后通过旋转组件驱动升降件旋转180度；然后通过驱动件驱动两个伸缩板朝向相互远离的方向运动，通过气缸驱动件驱动升降件下降，从而将两个托板安装于镀膜机内部，从而同时实现对两个托板的更换，进而提升了对两个托板的更换效率；

2.第一电机驱动旋转杆旋转，旋转杆带动齿轮旋转，齿轮在旋转的过程中同时带动第一齿条和第二齿条沿水平方向滑动，从而同时带动两个伸缩板朝向相互靠近或相互远离的方向滑动，进而在传送两个托板的过程中，便于减小两个托板之间的距离，以使传送机构在传送托板的过程中，两个托板不会接触到镀膜机内部，对两个托板均有保护作用；

3.两个压盖不仅将升降件安装于气缸的活塞杆上，同时由于两个压盖内侧壁的防脱台阶均抵接于活塞杆上的防脱槽，同时气缸的活塞杆与两个压盖转动连接，从而使旋转机构在驱动旋转件旋转180度的过程中，对气缸的活塞杆有保护作用。

附图说明

图1是本申请实施例中用于多室真空镀膜机的托板传送机构的结构示意图。

图2是本申请实施例中升降组件的结构示意图。

图3是图2中A部分的局部放大图。

图4是本申请实施例中升降件与导向件的结构示意图。

图5是本申请实施例中伸缩组件的结构示意图。

图6是图5中B部分的局部放大图。

图7是图5中C部分的局部放大图。

图8是本申请实施例中伸缩组件与吸附组件的结构示意图。

图9是图8中D部分的局部放大图。

图10是本申请实施例中伸缩板与吸附组件的结构示意图。

图11是图10中E部分的局部放大图。

图12是本申请实施例中连接板与承载框的结构示意图。

图13是图12中F部分的局部放大图。

附图标记说明：

1、承载件；2、升降组件；21、升降件；211、顶板；212、底板；213、支撑板；214、第一导向块；215、第一导槽；216、第二导向块；217、第二导槽；218、第一角钢；219、第二角钢；22、气缸；221、活塞杆；222、防脱槽；23、压盖；231、避位孔；232、防脱台阶；24、导向件；241、第一导向筒；242、第二导向筒；243、固定环；3、伸缩组件；31、驱动件；311、旋转杆；312、第一电机；313、齿轮；314、第一齿条；315、第二齿条；32、伸缩板；321、第一导轨；322、第二导轨；33、支座；331、第一导向杆；332、支撑块；333、弹簧；34、限位板；4、吸附组件；41、连接板；411、第一缓冲块；412、套筒；413、夹持块；414、第二导向杆；415、扭簧；416、防脱块；42、承载框；421、第二缓冲块； 43、吸盘；5、旋转组件。

具体实施方式

以下结合附图1-13对本申请作进一步详细说明。

为了便于理解，以图1为参考，在三维坐标系内，将X轴的长度方向定义为第一方向，将Y轴的长度方向定义为第二方向，以此为基础对用于多室真空镀膜机的托板传送机构进行说明。

本申请实施例公开一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构。参照图1，用于多室真空镀膜机的托板传送机构包括承载件1、升降组件2、伸缩组件3、吸附组件4和旋转组件5。

继续参照图1，承载件1固定于真空镀膜机外部，承载件1呈水平设置。升降组件2包括升降件21和气缸22，气缸22固定于承载件1的上表面，气缸22的活塞杆221与升降件21的顶端转动连接，气缸22用于驱动升降件21升降。

参照图2和图3，升降件21包括顶板211、底板212和两个支撑板213，顶板211和底板212均呈水平设置，两个支撑板213均沿竖直方向延伸，两个支撑板213相互平行。两个支撑板213的顶端均通过第一角钢218与顶板211固定连接，两个支撑板213的底端均通过第二角钢219与底板212固定连接。顶板211的上表面通过螺栓固定设置有两个压盖23，每个压盖23的截面均为半圆形。两个压盖23相互靠近的侧壁均开设有半圆形的避位孔231，气缸22的活塞杆221抵接于两个避位孔231的内侧壁，气缸22的活塞杆221与两个压盖23转动连接。两个压盖23的内侧壁均一体成型有半环形状的防脱台阶232，同时气缸22的活塞杆221弧形的侧壁上开设有环形的防脱槽222，两个防脱台阶232的侧壁均抵接于防脱槽222的内侧壁，从而使气缸22在驱动活塞杆221伸缩的过程中，活塞杆221带动两个压盖23升降，从而带动升降件21升降。

参照图4，升降组件2还包括导向件24，导向件24包括第一导向筒241和第二导向筒242，第一导向筒241与第二导向筒242均沿竖直方向延伸。第一导向筒241的底端与第二导向筒242的顶端一体成型，且第一导向筒241的内侧壁与第二导向筒242的内侧壁相连通。值得注意的是，在本实施例中，第一导向筒241顶端的外侧壁固定设置有固定环243，固定环243的上表面抵接于底板212的下表面，固定环243上穿设有多个螺栓，多个螺栓均与底板212螺纹配合，从而将导向件24固定于升降件21的底端。增加了工作人员安装和拆卸导向件24的便捷性。

参照图1，伸缩组件3包括驱动件31和两个伸缩板32，两个伸缩板32均滑移设置于升降件21上，驱动件31设置于升降件21上，驱动件31用于驱动两个伸缩板32朝向相互靠近或相互远离的方向滑动。

参照图5和图6，具体的，底板212的上表面固定设置有两个第一导向块214，两个第一导向块214相互对称，两个第一导向块214的上表面均开设有第一导槽215。两个伸缩板32底部均固定设置有第一导轨321，两个第一导轨321分别穿过两个第一导槽215，两个第一导轨321分别与两个第一导向块214滑移配合。两个第一导向块214分别对两个伸缩板32有导向作用，增加了两个伸缩板32沿第一方向滑动的稳定性。

参照图5和图7，同时顶板211的下表面固定设置有两个第二导向块216，两个第二导向块216相互对称，两个第二导向块216的下表面均开设有第二导槽217。两个伸缩板32底部均固定设置有第二导轨322，两个第二导轨322分别穿过两个第二导槽217，两个第二导轨322分别与两个第二导向块216滑移配合。两个第二导向块216分别对两个伸缩板32有导向作用，进一步增加了两个伸缩板32沿第一方向滑动的稳定性。

参照图8和图9，驱动件31包括旋转杆311、第一电机312、两个齿轮313，旋转杆311沿竖直方向延伸，旋转杆311的顶端穿设于顶板211并与顶板211转动连接，旋转杆311的底端依次穿过底板212、第一导向筒241、第二导向筒242，旋转杆311与底板212转动连接，同时旋转杆311位于第一导向筒241和第二导向筒242内部。第一电机312设置于第二导向筒242底端，第一电机312的输出轴与旋转杆311的底端通过联轴器固定连接。两个齿轮313均套设于旋转杆311上并与旋转杆311固定连接，其中一个伸缩板32上固定设置有两个第一齿条314，两个第一齿条314均沿第一方向延伸，两个齿轮313分别与两个第一齿条314相互啮合。另一个伸缩板32上固定设置有两个第二齿条315，两个第二齿条315均沿第一方向延伸，两个齿轮313分别与两个第二齿条315相互啮合。通过第一电机312驱动旋转杆311旋转，旋转杆311同时带动两个齿轮313旋转，从而同时带动两个第一齿条314和两个第二齿条315沿第一方向滑动，进而带动两个伸缩板32朝向相互靠近或相互远离的方向滑动。

继续参照图8，吸附组件4的数量有两个，两个吸附组件4分别设置于两个伸缩板32相互远离的侧壁，两个吸附组件4均用于吸附托板。具体的，每个吸附组件4均包括连接板41、承载框42和多个吸盘43。连接板41安装于伸缩板32的侧壁，承载框42安装于连接板41上。在本实施例中，吸盘43的数量为三个，三个吸盘43均固定于承载框42上，三个吸盘43均用于吸附托板。通过三个吸盘43将托板吸附，然后通过驱动件31驱动两个伸缩板32朝向相互靠近或相互远离的方向滑动，从而带动两个托板朝向相互靠近或相互远离的方向运动。

参照图10和图11，具体的，每个伸缩板32的侧壁均设置有两个支座33，其中一个支座33位于另一个支座33的上方。每个支座33均包括第一导向杆331和两个支撑块332，两个支撑块332均固定于伸缩板32的侧壁，两个支撑块332相互平行。第一导向杆331沿第一方向延伸，第一导向杆331的两端分别穿设于两个支撑块332，第一导向杆331的两端分别与两个支撑块332固定连接。每个连接板41上均固定设置有两个第一缓冲块411，两个第一缓冲块411内均固定设置有套筒412，两个套筒412分别套设于两个第一导向杆331上，两个套筒412分别与两个第一导向杆331滑移配合。且每个第一导向杆331上均套设有弹簧333，弹簧333的一端抵接于其中一个支撑块332的侧壁，弹簧333的另一端抵接于套筒412的侧壁。两个弹簧333分别对两个套筒412有缓冲作用，从而对两个第一缓冲块411有缓冲作用，进而对连接板41有缓冲作用。

参照图12和图13，同时，每个连接板41的侧壁均设置有两个夹持块413，每个夹持块413均通过螺栓固定于连接板41上。每个夹持块413上均开设有定位孔，每个定位孔内均固定设置有第二导向杆414，每个第二导向杆414均沿竖直方向延伸。每个承载框42上均固定设置有两个第二缓冲块421，每个第二缓冲块421的上表面均开设有导向孔，两个第二导向杆414分别穿过两个导向孔，两个第二缓冲块421分别与两个第二导向杆414滑移配合。每个第二导向杆414上均套设有扭簧415，扭簧415的顶端地接于第二缓冲块421的下表面，扭簧415的底端抵接于夹持块413的上表面。扭簧415对承载框42有缓冲作用，同时当承载框42受到外力的作用发生倾斜时，扭簧415能使承载框42恢复至原来的位置。每个第二导向杆414的顶端均固定设置有防脱块416，防脱块416对第二缓冲块421有限位作用，以使第二缓冲块421在防脱块416与夹持块413之间滑动，从而保证第二缓冲块421不会与第二导向杆414完全脱离。

参照图5，两个伸缩板32远离吸附机构的一端均固定设置有限位板34，当两个伸缩板32朝向相互远离的方向滑动使，两个限位板34可以限制两个伸缩板32的滑移行程。

参照图1和图4，旋转组件5设置于第二导向筒242的底端，旋转组件5用于驱动第二导向筒242旋转，第二导向筒242在旋转的过程中带动第一导向筒241旋转，第一导向筒241带动旋转件旋转，从而带动两个伸缩板32旋转，进而实现两个托板的更换。

上述实施例的实施原理为：在交换托板的过程中，通过两个吸附组件4吸附两个托板；然后通过气缸22驱动升降件21上升，从而将两个托板从镀膜机上取下；然后通过驱动件31驱动两个伸缩板32朝向相互靠近的方向运动，最后通过旋转组件5驱动升降件21旋转180度；然后通过驱动件31驱动两个伸缩板32朝向相互远离的方向运动，通过气缸22驱动件31驱动升降件21下降，从而将两个托板安装于镀膜机内部，从而同时实现对两个托板的更换，进而提升了对两个托板的更换效率。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，其特征在于：包括

承载件(1)，所述承载件(1)固定于真空镀膜机上；

升降组件(2)，所述升降组件(2)包括升降件(21)和气缸(22)；所述气缸(22)设置于所述承载件(1)上，所述气缸(22)的活塞杆(221)与所述升降件(21)转动连接，所述气缸(22)用于驱动所述升降件(21)升降；

伸缩组件(3)，所述伸缩组件(3)包括驱动件(31)和两个伸缩板(32)，两个所述伸缩板(32)均滑移设置于所述升降件(21)上，所述驱动件(31)设置于所述升降件(21)上，所述驱动件(31)用于驱动两个所述伸缩板(32)朝向相互靠近或相互远离的方向滑动；

吸附组件(4)，所述吸附组件(4)的数量有两个，两个所述吸附组件(4)分别设置于两个所述伸缩板(32)上，两个所述吸附组件(4)均用于吸附托板；

旋转组件(5)，所述旋转组件(5)用于驱动所述升降件(21)旋转。

2.根据权利要求1所述的一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，其特征在于：所述驱动件(31)包括旋转杆(311)、第一电机(312)和两个齿轮(313)；所述旋转杆(311)转动设置于所述升降件(21)上，所述第一电机(312)设置于所述升降件(21)上，所述第一电机(312)用于驱动所述旋转杆(311)旋转；其中其一个伸缩板(32)上固定设置有第一齿条(314)，所述齿轮(313)与所述第一齿条(314)相互啮合；另一个所述伸缩板(32)上固定设置有第二齿条(315)，所述齿轮(313)与所述第二齿条(315)相互啮合。

3.根据权利要求2所述的一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，其特征在于：所述升降件(21)上固定设置有第一导向块(214)，所述第一导向块(214)的上开设有第一导槽；所述伸缩板(32)上固定设置有第一导轨(321)，所述第一导轨(321)穿过所述第一导槽，所述第一导轨(321)与第一导向块(214)滑移配合。

4.根据权利要求1所述的一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，其特征在于：所述升降件(21)上固定设置有两个压盖(23)，两个所述压盖(23)相互靠近的侧壁均开设有半圆形的避位孔(231)，气缸(22)的活塞杆(221)抵接于两个避位孔(231)的内侧壁，气缸(22)的活塞杆(221)与两个压盖(23)转动连接；两个压盖(23)的内侧壁均固定设置防脱台阶(232)，所述气缸(22)的活塞杆(221)上开设有环形的防脱槽(222)，两个防脱台阶(232)的侧壁均抵接于防脱槽(222)的内侧壁，所述气缸(22)的活塞杆(221)与两个所述压盖(23)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，其特征在于：所述吸附组件(4)均包括连接板(41)、承载框(42)和多个吸盘(43)；所述连接板(41)固定于所述伸缩板(32)上，所述承载框(42)固定于所述连接板(41)上，多个所述吸盘(43)均固定于所述承载框(42)上，多个所述吸盘(43)用于吸附托板。

6.根据权利要求5所述的一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，其特征在于：所述伸缩板(32)上固定设置有支座(33)，所述支座(33)均包括第一导向杆(331)和两个支撑块(332)，两个所述支撑块(332)均固定于所述伸缩板(32)上，所述第一导向杆(331)的两端分别与两个支撑块(332)固定连接；所述连接板(41)上均固定设置有第一缓冲块(411)，所述第一缓冲块(411)内固定设置有套筒(412)，所述套筒(412)套设于所述第一导向杆(331)上，所述套筒(412)与所述第一导向杆(331)滑移配合。

7.根据权利要求6所述的一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，其特征在于：所述第一导向杆(331)上均套设有弹簧(333)，弹簧(333)的一端抵接于其中所述支撑块(332)的侧壁，所述弹簧(333)的另一端抵接于所述套筒(412)的侧壁。

8.根据权利要求1所述的一种用于多室真空镀膜机的托板传送机构，其特征在于：所述伸缩板(32)的端部固定设置有限位板(34)。

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