CN217877626U - 一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，包括固定环，所述固定环内侧壁上开设有环形槽，环形槽内活动连接有转动环，转动环的内壁固接有固定滑轨，固定滑轨上滑动有调节滑块，调节滑块上螺纹连接有调节螺栓，调节滑块的底部设有两个卡扣机构并通过两个卡扣机构可拆卸安装有高度表，此应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，区别于现有技术，对高度表拆装方便，转动环可带动固定滑轨旋转，同时移动调节滑块处于固定滑轨上的位置，从而可以测量加热器插销中间任意点的数据以及加热器插销在腔体内的高度，减少破片以及停机时间，校准加热器插销高度，可以计算加热器插销中心点与四边点的水平差值。

Description

一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体为一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具。

背景技术

目前加热器中会使用到插销，为防止插销使用磨损、刀身下垂、插销板不平或各种因素导致插销高度异常，需要测量加热器插销的高度，先将刀片伸进腔体使用钢尺测量，加热器插销到刀身下沿高度要求需大于3毫米，而在刀身传片或取片时容易撞到插销导致产生破片或掉片的风险，同时受限于量测插销高度需要停机换刀伸进腔体，导致停机时间过长，减少跑产品效率，不能测量出加热器插销中心点与四边点的水平差值，为此，我们提出一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，包括固定环，所述固定环内侧壁上开设有环形槽，环形槽内活动连接有转动环，转动环的内壁固接有固定滑轨，固定滑轨上滑动有调节滑块，调节滑块上螺纹连接有调节螺栓，调节滑块的底部设有两个卡扣机构并通过两个卡扣机构可拆卸安装有高度表。

作为优选，所述转动环的两侧壁上均固接有限位环，两个限位环分别活动连接在环形槽内壁上开设的两个限位槽内。

作为优选，所述转动环的外壁上设有蜗轮齿，转动环通过蜗轮齿与蜗杆轴相啮合，蜗杆轴通过轴承转动连接在固定环内，蜗杆轴的一端延伸至固定环外部并固接有手轮。

作为优选，所述固定环的外壁上固接有两个安装块，两个安装块均为L形，两个安装块的顶部均开设有安装孔。

作为优选，所述卡扣机构包括活动块，活动块活动连接在调节滑块底部开设的活动孔内，活动块的一端延伸至调节滑块一侧并设有边缘凸起，边缘凸起通过弹簧与调节滑块的侧壁弹性连接，活动块的另一端侧壁上固接有卡块，卡块卡合连接在高度表侧壁上开设的卡槽内。

作为优选，所述卡块为直角梯形，卡块的底面为斜面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型区别于现有技术，通过卡扣机构的设置，对高度表拆装方便，再调节高度表的位置，转动环可带动固定滑轨旋转，同时移动调节滑块处于固定滑轨上的位置，从而可以测量加热器插销中间任意点的数据以及加热器插销在腔体内的高度，减少破片以及停机时间，校准加热器插销高度，可以计算加热器插销中心点与四边点的水平差值。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型固定环剖视后各部件的结构示意图；

图3为本实用新型固定环截面的结构示意图；

图4为本实用新型调节滑块底部各部件的结构示意图。

图中：1、固定环；2、环形槽；3、转动环；4、限位环；5、限位槽；6、蜗轮齿；7、蜗杆轴；8、轴承；9、手轮；10、固定滑轨；11、调节滑块；12、调节螺栓；13、卡扣机构；131、活动块；132、活动孔；133、弹簧；134、拉杆；135、卡块；14、高度表；15、卡槽；16、安装块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，包括固定环1，固定环1内侧壁上开设有环形槽2，环形槽2内活动连接有转动环3，转动环3的内壁固接有固定滑轨10，固定滑轨10上滑动有调节滑块11，调节滑块11上螺纹连接有调节螺栓12，调节滑块11的底部设有两个卡扣机构13并通过两个卡扣机构13可拆卸安装有高度表14。

进一步地，转动环3的两侧壁上均固接有限位环4，两个限位环4分别活动连接在环形槽2内壁上开设的两个限位槽5内；保持转动环3在环形槽2内转动的稳定性。

进一步地，转动环3的外壁上设有蜗轮齿6，转动环3通过蜗轮齿6与蜗杆轴7相啮合，蜗杆轴7通过轴承8转动连接在固定环1内，蜗杆轴7的一端延伸至固定环1外部并固接有手轮9；方便调节转动环3的转动角度。

进一步地，固定环1的外壁上固接有两个安装块16，两个安装块16均为L形，两个安装块16的顶部均开设有安装孔；便于安装整体。

进一步地，卡扣机构13包括活动块131，活动块131活动连接在调节滑块11底部开设的活动孔132内，活动块131的一端延伸至调节滑块11一侧并设有边缘凸起，边缘凸起通过弹簧133与调节滑块11的侧壁弹性连接，活动块131的另一端侧壁上固接有卡块135，卡块135卡合连接在高度表14侧壁上开设的卡槽15内；对高度表14拆装方便。

进一步地，卡块135为直角梯形，卡块135的底面为斜面；便于安装高度表14。

本方案，在使用时，先通过安装块16将固定环1安装至加热器内，安装完毕后将高度表14插在两个卡扣机构13之间，利用高度表14对两个卡块135底部斜面的挤压作用，从而使两个活动块131相互远离，此时弹簧133处于拉伸状态，当卡块135与高度表14侧壁的卡槽15位置对应时，在弹簧133的拉力作用下使卡块135卡入卡槽15中，从而完成对高度表14的安装工作，且后续拆卸高度表14时，直接拉动拉杆134使卡块135从卡槽15中脱离即可，对高度表14拆装方便，最后调节高度表14的位置，转动手轮9并带动蜗杆轴7旋转，蜗杆轴7通过与蜗轮齿6的啮合作用带动转动环3旋转，转动环3可带动固定滑轨10旋转，再拧松调节螺栓12，移动调节滑块11处于固定滑轨10上的位置，从而可以测量加热器插销中间任意点的数据以及加热器插销在腔体内的高度。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，包括固定环(1)，其特征在于：所述固定环(1)内侧壁上开设有环形槽(2)，环形槽(2)内活动连接有转动环(3)，转动环(3)的内壁固接有固定滑轨(10)，固定滑轨(10)上滑动有调节滑块(11)，调节滑块(11)上螺纹连接有调节螺栓(12)，调节滑块(11)的底部设有两个卡扣机构(13)并通过两个卡扣机构(13)可拆卸安装有高度表(14)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，其特征在于：所述转动环(3)的两侧壁上均固接有限位环(4)，两个限位环(4)分别活动连接在环形槽(2)内壁上开设的两个限位槽(5)内。

3.根据权利要求1所述的一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，其特征在于：所述转动环(3)的外壁上设有蜗轮齿(6)，转动环(3)通过蜗轮齿(6)与蜗杆轴(7)相啮合，蜗杆轴(7)通过轴承(8)转动连接在固定环(1)内，蜗杆轴(7)的一端延伸至固定环(1)外部并固接有手轮(9)。

4.根据权利要求1所述的一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，其特征在于：所述固定环(1)的外壁上固接有两个安装块(16)，两个安装块(16)均为L形，两个安装块(16)的顶部均开设有安装孔。

5.根据权利要求1所述的一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，其特征在于：所述卡扣机构(13)包括活动块(131)，活动块(131)活动连接在调节滑块(11)底部开设的活动孔(132)内，活动块(131)的一端延伸至调节滑块(11)一侧并设有边缘凸起，边缘凸起通过弹簧(133)与调节滑块(11)的侧壁弹性连接，活动块(131)的另一端侧壁上固接有卡块(135)，卡块(135)卡合连接在高度表(14)侧壁上开设的卡槽(15)内。

6.根据权利要求5所述的一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，其特征在于：所述卡块(135)为直角梯形，卡块(135)的底面为斜面。

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