CN217877566U - 一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，包括装置基座，其正上方螺栓固定有检测箱体，且检测箱体的上表面胶合连接有LED屏幕，所述LED屏幕的左右两侧电线连接有光纤光谱仪，还包括：检测机构，其嵌套固定在检测箱体的左侧，且检测箱体的右侧嵌套连接有储料机构，所述检测机构的正下方轴连接有辅助滚轮；薄膜样品，其设置在储料机构的内部，且检测箱体的内壁螺栓固定有横向基板，所述横向导杆的外侧嵌套连接有储料机构。该具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，设置有横向夹持条及夹持面板，一方面夹持面板通过外侧的膜插槽对膜体的其中一侧进行卡合定位，避免膜体在照射及厚度测量时发生晃动情况。

Description

一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置

技术领域

本实用新型涉及光学薄膜技术领域，具体为一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置。

背景技术

光学薄膜是附著在光学元件表面的介质薄膜，基于薄膜内光的干涉效应来改变透射光或反射光的光强，光学薄膜的厚度对其本身性能以及应用效果有着很大的影响，所以需要装置对光学薄膜厚度进行检测。

薄膜厚度检测装置在使用过程中，虽然现有的光学薄膜厚度测量方法有很多，但是非光学的方法会对样品造成损伤，许多光学的方法操作方法复杂，测量受到诸多条件限制，在使用过程中，主要对激光发射头与薄膜样品相互对齐，但薄膜样品本身为柔性材质，在检测的过程中，会因为膜体的表面受到挤压力，会造成膜体的内部发生弯曲情况，导致激光发射头发射的激光进入到膜体的内部，会导致激光信号本身发生扭曲情况，导致膜体测量的信号误差增加。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，以解决上述背景技术中提出膜样品本身为柔性材质，在检测的过程中，会因为膜体的表面受到挤压力，会造成膜体的内部发生弯曲情况，导致激光发射头发射的激光进入到膜体的内部，会导致激光信号本身发生扭曲情况，导致膜体测量的信号误差增加的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，包括装置基座，其正上方螺栓固定有检测箱体，且检测箱体的上表面胶合连接有LED屏幕，所述LED屏幕的左右两侧电线连接有光纤光谱仪，还包括：检测机构，其嵌套固定在检测箱体的左侧，且检测箱体的右侧嵌套连接有储料机构，所述检测机构的正下方轴连接有辅助滚轮；薄膜样品，其设置在储料机构的内部，横向导杆，其焊接固定在检测箱体的内部，且检测箱体的内壁螺栓固定有横向基板，所述横向导杆的外侧嵌套连接有储料机构。

优选的，所述检测箱体与储料机构相互平行，且检测箱体的左右两侧采用矩形开口式结构，并且检测箱体与横向导杆焊接为一体式结构，通过储料机构在检测箱体内部进行滑动，对发射激光的距离进行调节。

优选的，所述检测机构的内部包括有控制手柄和a矩形导槽，控制手柄，其焊接固定在检测机构左侧，调校轴，其嵌套固定在横向托板左侧，且横向托板的右侧轴连接有调校转盘；a矩形导槽，其贯穿开设在横向托板上表面，且a矩形导槽的外侧嵌套连接有圆形导块，所述圆形导块的外侧嵌套连接有激光发射头。

优选的，所述激光发射头与圆形导块通过a矩形导槽和横向托板构成滑动结构，且激光发射头与圆形导块的数量为3组，并且圆形导块和a矩形导槽为相互贴合，使得激光发射头与薄膜样品对齐，使得激光直接射入薄膜样品的内部。

优选的，所述储料机构的内部包括有伸缩气缸和横向夹持条；伸缩气缸，其输出端螺栓固定有夹持面板，且夹持面板的上表面开设有膜插槽，所述夹持面板的正下方螺栓固定有辅助滑块；横向夹持条，其上表面胶合连接有橡胶条，储料机构，其上表面开设有b矩形导槽，且b矩形导槽的内部嵌套连接有辅助滑块。

优选的，所述橡胶条等间距设置在横向夹持条外侧，且橡胶条的纵截面为“U”字型结构，并且橡胶条与膜插槽相互平行，而且膜插槽的宽度为夹持面板宽度一半，通过膜插槽对不同宽度的薄膜样品进行定位处理。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，设置有横向夹持条及横向导杆，一方面夹持面板通过外侧的膜插槽对膜体的其中一侧进行卡合定位，避免膜体在照射及厚度测量时发生晃动情况，同时一方面利用另一侧的橡胶条对膜体的一侧进行抵压限位，方便对不同厚度的膜体进行夹持及检测处理，利用横向导杆对检测机构及储料机构内部进行嵌套，对储料机构的位置进行调节，对储料机构及检测机构的距离进行调节，对激光发射的距离进行调节控制；

该具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，设置有横向夹持条与夹持面板，夹持面板通过外侧不同宽度的膜插槽对不同宽度的薄膜样品的一侧进行卡合定位，避免薄膜样品在定位过程中发生晃动情况，同时对夹持面板的一侧进行推动，方便对薄膜样品的一侧进行推动，使得薄膜样品其表面发生弯曲方便装置对薄膜样品进行反复激光测试，避免测试数据误差变大，通过横向夹持条对薄膜样品的另一侧进行限位处理，确保薄膜样品为垂直状态，方便另一侧的激光发射头横向射入到薄膜样品内部。

附图说明

图1为本实用新型正视结构示意图；

图2为本实用新型检测机构侧视结构示意图；

图3为本实用新型储料机构正剖结构示意图；

图4为本实用新型检测箱体内部结构示意图；

图5为本实用新型储料机构俯剖结构示意图。

图中：1、装置基座；2、检测箱体；3、LED屏幕；4、光纤光谱仪；5、检测机构；51、控制手柄；52、调校轴；53、横向托板；54、圆形导块；55、a矩形导槽；56、激光发射头；57、调校转盘；6、储料机构；61、伸缩气缸；62、夹持面板；63、横向夹持条；64、橡胶条；65、b矩形导槽；66、膜插槽；67、辅助滑块；7、辅助滚轮；8、薄膜样品；9、横向导杆；10、横向基板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，包括装置基座1，其正上方螺栓固定有检测箱体2，且检测箱体2的上表面胶合连接有LED屏幕3，检测箱体2与储料机构6相互平行，且检测箱体2的左右两侧采用矩形开口式结构，并且检测箱体2与横向导杆9焊接为一体式结构，LED屏幕3的左右两侧电线连接有光纤光谱仪4，还包括：

检测机构5，其嵌套固定在检测箱体2的左侧，且检测箱体2的右侧嵌套连接有储料机构6，检测机构5的正下方轴连接有辅助滚轮7；

薄膜样品8，其设置在储料机构6的内部，横向导杆9，其焊接固定在检测箱体2的内部，且检测箱体2的内壁螺栓固定有横向基板10，横向导杆9的外侧嵌套连接有储料机构6。

根据图1、图2及图4所示，在光学薄膜中发生光的干涉后信号光反射进激光发射头56，耦合进入Y型光纤后通过Y型光纤传输到达光纤光谱仪4进行分光和模数转换，在光纤光谱仪4上进行数据处理和分析，读入某一点的光谱数据并获得其所有峰值波长，取多组相邻峰值波长，并通过LED屏幕3对获取到的数据及邻峰值波长进行展示，与此同时，握持调校轴52，利用调校轴52带动横向托板53进行转动，使得横向托板53与激光发射头56与储料机构6内部的薄膜样品8相互对齐，此时激光发射头56与薄膜样品8形成0度，使得激光发射头56直接将射线导入到薄膜样品8内部反射光与所述法线之间的夹角，即反射角也为0-5度，其取决于入射角的大小。

检测机构5的内部包括有控制手柄51和a矩形导槽55，控制手柄51，其焊接固定在检测机构5左侧，调校轴52，其嵌套固定在横向托板53左侧，且横向托板53的右侧轴连接有调校转盘57；a矩形导槽55，其贯穿开设在横向托板53上表面，且a矩形导槽55的外侧嵌套连接有圆形导块54，圆形导块54的外侧嵌套连接有激光发射头56；激光发射头56与圆形导块54通过a矩形导槽55和横向托板53构成滑动结构，且激光发射头56与圆形导块54的数量为3组，并且圆形导块54和a矩形导槽55为相互贴合。

根据图1、图3及图5所示，首先将该装置放置在需要进行工作的位置，操作人员首先拉动储料机构6，通过横向导杆9对储料机构6进行水平导向，使得储料机构6与检测箱体2相互分离，操作人员将需要检验的薄膜样品8的其中一侧膜插槽66的内部，使得夹持面板62外侧的膜插槽66对薄膜样品8定位，因膜插槽66的宽度不同可以对不同类型的薄膜样品8定位，同时将横向夹持条63放置在b矩形导槽65正上方，使得横向夹持条63表面的橡胶条64与薄膜样品8另一侧接触，完成对薄膜样品8的外侧进行定位处理；

储料机构6的内部包括有伸缩气缸61和横向夹持条63；伸缩气缸61，其输出端螺栓固定有夹持面板62，且夹持面板62的上表面开设有膜插槽66，夹持面板62的正下方螺栓固定有辅助滑块67；横向夹持条63，其上表面胶合连接有橡胶条64，储料机构6，其上表面开设有b矩形导槽65，且b矩形导槽65的内部嵌套连接有辅助滑块67；橡胶条64等间距设置在横向夹持条63外侧，且橡胶条64的纵截面为“U”字型结构，并且橡胶条64与膜插槽66相互平行，而且膜插槽66的宽度为夹持面板62宽度一半。

工作原理：在使用该具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置时，根据图1、图2及图4所示，操作人员在测试的过程中，首先将薄膜样品8放置在横向基板10上表面，操作人员握持调校轴52，利用调校轴52带动横向托板53及圆形导块54进行转动，并根据膜体的宽度，拉动圆形导块54在a矩形导槽55的外侧进行滑动，对圆形导块54及激光发射头56的位置进行添加，激光发射头56入射光的入射角为0-5度，所述入射光的入射角指的是入射光与待测样品表面的法线之间的夹角，入射光的入射角为0度，也就是入射光垂直照射在待测样品表面。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，包括装置基座(1)，其正上方螺栓固定有检测箱体(2)，且检测箱体(2)的上表面胶合连接有LED屏幕(3)，所述LED屏幕(3)的左右两侧电线连接有光纤光谱仪(4)，其特征在于：还包括：

检测机构(5)，其嵌套固定在检测箱体(2)的左侧，且检测箱体(2)的右侧嵌套连接有储料机构(6)，所述检测机构(5)的正下方轴连接有辅助滚轮(7)；

薄膜样品(8)，其设置在储料机构(6)的内部，横向导杆(9)，其焊接固定在检测箱体(2)的内部，且检测箱体(2)的内壁螺栓固定有横向基板(10)，所述横向导杆(9)的外侧嵌套连接有储料机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述检测箱体(2)与储料机构(6)相互平行，且检测箱体(2)的左右两侧采用矩形开口式结构，并且检测箱体(2)与横向导杆(9)焊接为一体式结构。

3.根据权利要求1所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述检测机构(5)的内部包括有控制手柄(51)和a矩形导槽(55)，

控制手柄(51)，其焊接固定在检测机构(5)左侧，调校轴(52)，其嵌套固定在横向托板(53)左侧，且横向托板(53)的右侧轴连接有调校转盘(57)；

a矩形导槽(55)，其贯穿开设在横向托板(53)上表面，且a矩形导槽(55)的外侧嵌套连接有圆形导块(54)，所述圆形导块(54)的外侧嵌套连接有激光发射头(56)。

4.根据权利要求3所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述激光发射头(56)与圆形导块(54)通过a矩形导槽(55)和横向托板(53)构成滑动结构，且激光发射头(56)与圆形导块(54)的数量为3组，并且圆形导块(54)和a矩形导槽(55)为相互贴合。

5.根据权利要求1所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述储料机构(6)的内部包括有伸缩气缸(61)和横向夹持条(63)；

伸缩气缸(61)，其输出端螺栓固定有夹持面板(62)，且夹持面板(62)的上表面开设有膜插槽(66)，所述夹持面板(62)的正下方螺栓固定有辅助滑块(67)；

横向夹持条(63)，其上表面胶合连接有橡胶条(64)，储料机构(6)，其上表面开设有b矩形导槽(65)，且b矩形导槽(65)的内部嵌套连接有辅助滑块(67)。

6.根据权利要求5所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述橡胶条(64)等间距设置在横向夹持条(63)外侧，且橡胶条(64)的纵截面为“U”字型结构，并且橡胶条(64)与膜插槽(66)相互平行，而且膜插槽(66)的宽度为夹持面板(62)宽度一半。

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