CN217839127U - 一种加热装置及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种加热装置及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。加热装置包括腔体，腔体内设有支撑机构、连接单元和加热组件，连接单元用于连接镀膜工件，镀膜工件可拆卸连接于连接单元；加热组件设于支撑机构上，镀膜工件连接于连接单元时，镀膜工件的基板面朝向加热组件。本实用新型的加热装置及真空镀膜设备，保证镀膜工件均匀、快速加热，以提高镀膜品质和镀膜效率，结构紧凑，减小占用空间。

Description

一种加热装置及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种加热装置及真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜通常是指在真空条件下，利用物理或化学等方法，将镀膜材料气化成原子、分子或离子等微观粒子而沉积到镀膜工件表面的过程。在镀膜前，往往需要对镀膜工件进行预加热处理，以使镀膜工件的待镀膜面满足真空镀膜所需条件。现有技术中，有如下镀膜工件的加热方式：一种是如图1所示，加热组件102安装在腔体101的内侧壁上，镀膜工件103设于腔体101中心，多个镀膜工件103重叠放置；或如图2所示，加热组件202安装在腔体201的内侧壁上，镀膜工件203设于腔体201中心，多个镀膜工件203呈放射状放置，结构紧凑，占用空间较小，然而加热组件202设于镀膜工件203的一端或者两端，加热效率低，且容易导致镀膜工件203受热不均，降低了镀膜品质和镀膜效率。另一种是如图3所示，加热组件302设置在腔体301的内侧壁上，加热组件302安装在腔体301的内侧壁上，多个镀膜工件303沿腔体301内侧壁布置；腔体301内侧壁横截面呈圆环状，加热组件302相应地呈圆环状分布在内侧壁上，多个镀膜工件303相应地圆环状分布在加热组件302背离内侧壁的一侧，镀膜工件303的待加热面朝向加热组件302，实现了镀膜工件303均匀、快速加热，进而提高了镀膜品质和镀膜效率，然而腔体301占用空间较大，提高了成本。

因此，亟需一种加热装置及真空镀膜设备，以解决上述存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加热装置及真空镀膜设备，保证镀膜工件均匀、快速加热，以提高镀膜品质和镀膜效率，结构紧凑，减小占用空间。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，提供一种加热装置，包括腔体，所述腔体内设有：

支撑机构；

连接单元，用于连接镀膜工件，所述镀膜工件可拆卸连接于所述连接单元；

加热组件，设于所述支撑机构上，所述镀膜工件连接于所述连接单元时，所述镀膜工件的基板面朝向所述加热组件。

在一些可能的实施方式中，所述基板面包括待镀膜面，所述待镀膜面朝向或背向所述加热组件的加热面。

在一些可能的实施方式中，所述镀膜工件设于两个所述加热组件之间，所述加热组件为双面加热或单面加热。

在一些可能的实施方式中，所述镀膜工件通过所述连接单元连接于所述加热组件和/或所述支撑机构。

在一些可能的实施方式中，所述连接单元包括：

挂钩，所述加热组件和所述镀膜工件二者中，一个与所述挂钩连接，另一个与所述挂钩挂接；和/或

卡销，所述加热组件和所述镀膜工件二者中，一个与所述卡销连接，另一个与所述卡销卡接。

在一些可能的实施方式中，所述加热组件的加热面与所述基板面之间的夹角角度不超过10°。

在一些可能的实施方式中，多个所述加热组件呈放射状设置，且若干所述加热组件的一端排布成闭合环状或非闭合环状。

在一些可能的实施方式中，多个所述加热组件的一端呈圆环状、椭圆环状或矩形环状排布时，所述腔体的内部空间形状与多个所述加热组件的外部形状相适应，多个所述加热组件的中心与所述腔体的中心相重合。

在一些可能的实施方式中，所述腔体设有用于所述镀膜工件穿过的搬运口，所述加热装置还包括驱动机构，所述连接单元连接于所述加热组件，所述驱动机构能够驱动所述支撑机构移动并带动所述加热组件移动，以使多个所述加热组件分别移动至朝向所述搬运口。

另一方面，提供一种真空镀膜设备，包括上述的加热装置。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的一种加热装置及真空镀膜设备，镀膜工件的基板面朝向加热组件进行加热，提高了加热速度，使待镀膜面受热均匀，从而提高了镀膜品质和镀膜效率。支撑机构、连接单元和加热组件均设于腔体内部，相较于传统结构中加热及镀膜工件沿内侧壁设置，充分利用腔体中间区域，使结构紧凑，减小了腔体占用空间，降低了成本。

附图说明

图1是现有技术中的第一种加热装置的示意图；

图2是现有技术中的第二种加热装置的示意图；

图3是现有技术中的第三种加热装置的示意图；

图4是本实用新型的实施例一提供的加热装置的示意图；

图5是本实用新型的实施例一提供的加热装置的半剖腔体的示意图；

图6是本实用新型的实施例二提供的加热装置的示意图；

图7是本实用新型的实施例三提供的加热装置的示意图；

图8是本实用新型的实施例四提供的加热装置的示意图。

图中：

101、腔体；102、加热组件；103、镀膜工件；

201、腔体；202、加热组件；203、镀膜工件；

301、腔体；302、加热组件；303、镀膜工件；

100、镀膜工件；200、待镀膜面；

1、腔体；11、搬运口；2、支撑机构；21、骨架；22、安装轴；23、支撑架；3、连接单元；31、挂钩；32、座板；4、加热组件；41、加热面。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例一

本实施例提供一种真空镀膜设备，如图4和图5所示，其包括用于加热镀膜工件100的加热装置，具体地首先通过加热装置将镀膜工件100预加热处理以满足镀膜条件，之后再进行镀膜。本实施例还提供了一种加热装置，包括腔体1，腔体1内设有支撑机构2、连接单元3和加热组件4，连接单元3用于连接镀膜工件100，镀膜工件100可拆卸连接于连接单元3；加热组件4设于支撑机构2上，镀膜工件100连接于连接单元3时，镀膜工件100的基板面朝向加热组件4。

镀膜工件100的基板面朝向加热组件4进行加热，提高了加热速度，使待镀膜面200受热均匀，从而提高了镀膜品质和镀膜效率。支撑机构2、连接单元3和加热组件4均设于腔体1内部，相较于传统结构中加热及镀膜工件100沿内侧壁设置，本实施例充分利用腔体1中间区域，使结构紧凑，减小了腔体1占用空间，降低了成本。

本实施例中，真空镀膜设备还包括镀膜装置，加热装置和镀膜装置分别用于预加热和镀膜。进一步地，真空镀膜设备还包括设于加热装置和镀膜装置之间的搬运或转运机构，以将加热后的镀膜工件100从加热装置转运至镀膜装置，镀膜装置和转运机构具体结构可参照现有技术，不进行限定。

在一种实施方式中，基板面包括待镀膜面200，待镀膜面200朝向加热组件4的加热面41，以提高加热速度；或，待镀膜面200也可以背向加热组件4的加热面41，由于镀膜工件100的厚度比较薄，待镀膜面200背向加热面41时，也能够实现加热。

在一种实施方式中，镀膜工件100设于两个加热组件4之间，加热组件4为双面加热，通过从镀膜工件100的两侧同时加热，进一步提高了加热速度；或，加热组件4也可以单面加热，即对镀膜工件100的单侧进行加热，可以朝着待镀膜面200也可以背向待镀膜面200，不进行限定，由于镀膜工件100的厚度较薄，同样可以实现加热。

在一种实施方式中，镀膜工件100通过连接单元3连接于加热组件4或者支撑机构2，使结构紧凑。

可选地，连接单元3连接于加热组件4的加热面41，镀膜工件100的待镀膜面200朝向与之连接的加热组件4；或设置至少两个相间隔的加热组件4，连接单元3连接于其中一个加热组件4，镀膜工件100的待镀膜面200朝向另一个加热组件4的加热面41；或设置至少两个相间隔的加热组件4，连接单元3连接于其中一个加热组件4，两个加热组件4朝向镀膜工件100的一侧均设有加热面41。

在一种实施方式中，加热组件4包括加热丝和包覆于加热丝外部的外壳，外壳的侧面为加热面41，加热丝通过外壳向外传递热量，外壳一方面能够对加热丝起到防护作用，另一方面，连接单元3能够连接在外壳上，起到支撑作用。外壳可以是铝板等具有良好导热性的材质制成。

在一种实施方式中，如图5所示，连接单元3包括挂钩31，加热组件4和镀膜工件100二者中，一个与挂钩31连接，另一个与挂钩31挂接；或者连接单元3包括卡销，加热组件4和镀膜工件100二者中，一个与卡销连接，另一个与卡销卡接；或者连接单元3同时包括挂钩31和卡销。

镀膜工件100包括设于相对两侧的待镀膜面200和非待镀膜面。进一步地，镀膜工件100的非待镀膜面连接于挂钩31，镀膜工件100的待镀膜面200朝向相邻加热组件4的加热面41，具体地，可通过调节挂钩31的形状等以保证加热面41与待镀膜面200相平行或尽可能平行。进一步地，连接单元3还包括座板32，挂钩31通过座板32连接于一个加热组件4，可通过调节座板32的形状以保证加热面41与待镀膜面200相平行，从而保证挂钩31具有通用性。进一步地，座板32可以呈矩形块或者三角块等形状，本实施例中，座板32包括两个呈夹角设置的连接板，一个连接板连接于加热组件4，另一个连接板用于连接挂钩31，其夹角角度根据实际情况进行设置。

具体地，通过紧固件连接于加热组件4，挂钩31通过紧固件连接于座板32。进一步地，每个加热组件4上设有两个挂钩31，以分别连接镀膜工件100的上下两端，保证连接可靠性。或者每个加热组件4上设有三个挂钩31，以分别连接镀膜工件100的上中下三个位置，进一步保证连接可靠性。在一种实施方式中，加热组件4的加热面41与基板面(待镀膜面200或非待镀膜面)之间的夹角不超过10°，以保证加热面41与待镀膜面200之间的间隔距离较为均匀，提高加热均匀性。在一种实施方式中，如图5所示，加热面41的形状与待镀膜面200的形状相适应，以使加热面41与待镀膜面200相平行或大致平行，保证加热面41与待镀膜面200之间间隔尽可能均匀，保证受热均匀，具体可根据待镀膜面200的形状设置加热面41的结构形状，保证加热面41与待镀膜面200相平行。例如，待镀膜面200为曲面，则加热面41为与待镀膜面200的曲率相同的曲面；待镀膜面200为平面，则加热面41为平面。进一步地，加热面41与待镀膜面200之间间距越小越好，以提高热传递效率，进而提高加热速度，当加热面41与待镀膜面200相贴合时，能够以最快速度加热镀膜工件100。

在一种实施方式中，如图4和图5所示，多个加热组件4呈放射状设置，且若干加热组件4的一端排布成闭合环状或非闭合环状，以充分利用腔体1的内部空间，提高紧凑性。在一种实施方式中，腔体1的内部空间形状与多个加热组件4的外部形状相适应，具体地，当腔体1内部为圆状空间时，多个加热组件4的一端呈圆环状排布，多个加热组件4的中心与腔体1的中心相重合或尽可能重合，进一步充分利用内部空间。具体地，支撑机构2设于腔体1的中间位置。

在一种实施方式中，如图4和图5所示，腔体1设有用于镀膜工件100穿过的搬运口11，加热装置还包括驱动机构(图中未示出)，连接单元3连接于加热组件4，使镀膜工件100能够随加热组件4移动，驱动机构能够驱动支撑机构2移动并带动加热组件4移动，以使多个加热组件4分别移动至朝向搬运口11，当加热组件4朝向搬运口11时，进行挂取镀膜工件100，以方便操作，且通过加热组件4的旋转，减少搬运口11的开口尺寸，避免外部大气对腔体1内部加热产生影响，从而提高了加热及镀膜效果。

可选地，如图4和图5所示，腔体1设有一个搬运口11，既能够穿过搬运口11进行挂载镀膜工件100，也能够通过搬运口11取出镀膜工件100，减少搬运口11数量，从而减少与外部连通。可选地，也可以设有两个搬运口11，通过穿过一个搬运口11进行挂载镀膜工件100，通过另一个搬运口11取出镀膜工件100，两个搬运口11可以同时进行搬运，提高作业效率。

在一种实施方式中，如图4和图5所示，支撑机构2包括支撑架23，多个加热组件4间隔连接于支撑架23的外周面，驱动机构能够驱动支撑架23转动，实现多个加热组件4分别转动至朝向搬运口11，驱动机构可以是电机等旋转驱动件，其可以固定于腔体1的顶部或者底部等，也可以设置得腔体1的内部或者外部，不进行限定；支撑架23的具体结构可以参考现有结构，如支撑架23呈圆筒状，多个加热组件4的一端连接于支撑架23的外周。进一步地，支撑机构2还包括连接于支撑架23外周面的骨架21和安装轴22，骨架21呈放射状连接于支撑架23的外周，安装轴22连接于转动连接于骨架21，安装轴22连接加热组件4，可根据实际情况调整安装轴22，以调整加热组件4的安装角度，适用性好，例如通过调整安装轴22，以使加热面41与镀膜面尽量相平行。进一步地，支撑架23呈圆筒状时，加热组件4连接于圆筒的外周，且加热组件4不指向圆筒的中心线，其目的在于保证加热面41与待镀膜面200尽可能平行的前提下，装载更多的加热组件4。

在一种实施方式中，腔体1内还设有热电偶等监控组件，监控组件分别与镀膜工件100和加热组件4电连接，以用于对镀膜工件100的加热效果进行监控，保证加热温度满足需求，提高加热效果。

实施例二

本实施例提供一种加热装置及真空镀膜设备，其与实施例一的结构基本相同，相同之处不再赘述。本实施例与实施例一的区别在于，如图6所示，腔体1内部呈椭圆状空间，多个加热组件4的一端呈椭圆环状排布，多个加热组件4的中心与腔体1的中心相重合或者大致重合，适应于腔体1内部空间进行设置，进一步充分利用内部空间。

实施例三

本实施例提供一种加热装置及真空镀膜设备，其与实施例一、实施例二的结构基本相同，相同之处不再赘述。本实施例与实施例一、实施例二的区别在于，如图7所示，腔体1内部为矩形空间，多个加热组件4的一端呈矩形环状排布，多个加热组件4的中心与腔体1的中心相重合，适应于腔体1内部空间进行设置，进一步充分利用内部空间。

实施例四

本实施例提供一种加热装置及真空镀膜设备，其与实施例一至实施例三的结构基本相同，相同之处不再赘述。本实施例与实施例一至实施例三的区别在于，如图8所示，腔体1内部为矩形空间，多个加热组件4平行间隔设置。具体地，支撑机构2包括支撑板，多个加热组件4的一端均匀间隔连接在支撑板上，多个加热组件4的排布方向垂直于搬运口11的开口方向，驱动机构驱动支撑板平移以使加热组件4朝向搬运口11，从而实现镀膜工件100的挂取；进一步地，相邻两个加热组件4之间的间隔保持足够大，以方便挂取镀膜工件100。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种加热装置，其特征在于，包括腔体(1)，所述腔体(1)内设有：

支撑机构(2)；

连接单元(3)，用于连接镀膜工件(100)，所述镀膜工件(100)可拆卸连接于所述连接单元(3)；

加热组件(4)，设于所述支撑机构(2)上，所述镀膜工件(100)连接于所述连接单元(3)时，所述镀膜工件(100)的基板面朝向所述加热组件(4)。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述基板面包括待镀膜面(200)，所述待镀膜面(200)朝向或背向所述加热组件(4)的加热面(41)。

3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述镀膜工件(100)设于两个所述加热组件(4)之间，所述加热组件(4)为双面加热或单面加热。

4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述镀膜工件(100)通过所述连接单元(3)连接于所述加热组件(4)和/或所述支撑机构(2)。

5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述连接单元(3)包括：

挂钩(31)，所述加热组件(4)和所述镀膜工件(100)二者中，一个与所述挂钩(31)连接，另一个与所述挂钩(31)挂接；和/或

卡销，所述加热组件(4)和所述镀膜工件(100)二者中，一个与所述卡销连接，另一个与所述卡销卡接。

6.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热组件(4)的加热面(41)与所述基板面之间的夹角角度不超过10°。

7.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，多个所述加热组件(4)呈放射状设置，且若干所述加热组件(4)的一端排布成闭合环状或非闭合环状。

8.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，多个所述加热组件(4)的一端呈圆环状、椭圆环状或矩形环状排布时，所述腔体(1)的内部空间形状与多个所述加热组件(4)的外部形状相适应，多个所述加热组件(4)的中心与所述腔体(1)的中心相重合。

9.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述腔体(1)设有用于所述镀膜工件(100)穿过的搬运口(11)，所述加热装置还包括驱动机构，所述连接单元(3)连接于所述加热组件(4)，所述驱动机构能够驱动所述支撑机构(2)移动并带动所述加热组件(4)移动，以使多个所述加热组件(4)分别移动至朝向所述搬运口(11)。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的加热装置。

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