CN217836786U

CN217836786U - 一种ito靶材生产用边角保护装置

Info

Publication number: CN217836786U
Application number: CN202221496987.7U
Authority: CN
Inventors: 李叶; 刘文杰; 蔡基常; 钟小华; 李帅; 裴炜扬
Original assignee: Vital Thin Film Materials Guangdong Co Ltd
Current assignee: Vital Thin Film Materials Guangdong Co Ltd
Priority date: 2022-06-15
Filing date: 2022-06-15
Publication date: 2022-11-18
Anticipated expiration: 2032-06-15

Abstract

本实用新型涉及生产用具技术领域，尤其涉及一种ITO靶材生产用边角保护装置，包括第一板件、第二板件、第三板件和过渡板，第一板件和第二板件均包括平板部和凸起部，凸起部的厚度从与过渡板连接的一端向远离过渡板的一端逐渐减小。使用时，将ITO靶材放置于第三板件上完成定位，通过过渡板包裹靶胚的棱角，第一板件和第二板件包裹靶胚的棱边，从而形成靶胚与袋子之间的阻隔，防止靶胚的棱边棱角刺破用于包裹靶胚的袋子，此外，凸起部的厚度与过渡板连接的一端向远离过渡板的一端逐渐减小，使得袋子从与过渡板接触、到与第一板件或第二板件接触、再到与ITO靶材接触的过程中近似于一条直线，减少了袋子弯折率过大造成破损的可能性。

Description

一种ITO靶材生产用边角保护装置

技术领域

本实用新型涉及生产用具技术领域，尤其涉及一种ITO靶材生产用边角保护装置。

背景技术

为了制备致密度更高的ITO靶材，在生产的过程中需要将ITO粉末压制成型靶胚后进行CIP工艺处理以增加产品的密度。在CIP工艺的过程中，需要通过注塑机压入模腔，注坯脱模后，加热去除增塑剂，再进一步提高烧结温度从而成型，靶胚需要在高压环境下进行加工。在高压的作用下，靶胚的棱角和棱边容易刺破用于包裹靶胚的袋子，造成靶胚的生产不良，也导致包裹靶胚的袋子损坏无法循环使用。

实用新型内容

基于此，本实用新型提供一种能够防止靶胚棱边棱角刺破袋子的ITO靶材生产用边角保护装置。

本实用新型的技术方案为：一种ITO靶材生产用边角保护装置，包括第一板件、第二板件、第三板件和过渡板，所述第一板件的一端和所述第二板件的一端通过所述过渡板弧状过渡连接，所述第三板件连接于所述第一板件、所述第二板件、所述过渡板的第一侧边，所述第一板件和所述第二板件均包括平板部和凸起部，所述平板部的两侧分别与所述凸起部和所述第三板件连接，所述凸起部的厚度从与所述过渡板连接的一端向远离所述过渡板的一端逐渐减小。

可选的，所述凸起部的形状为半椎体，所述凸起部的底部与所述过渡板相接，且向远离所述过渡板的一端延伸。

可选的，所述平板部的长度为A，A≥40mm。

可选的，所述第一板件、所述第二板件和所述过渡板的高度为B，30mm≥B≥5mm。

可选的，所述平板部远离所述过渡板的一端设有倒角，所述倒角设于所述平板部靠近所述凸起部的一面。

可选的，所述平板部和所述倒角的最小厚度为C，C≤0.5mm。

可选的，所述第三板件的厚度为D，D≤0.2mm。

可选的，所述第三板件设有圆弧段，所述圆弧段的两端分别与所述第一板件和所述第二板件连接，且向所述过渡板所在方向弯曲。

可选的，所述圆弧段的半径为R，所述圆弧段与所述过渡板的最短距离为E，且R＊30％≤E。

可选的，所述第一板件、第二板件、第三板件和过渡板为一体结构，且邵氏硬度为80±30度。

实施本实用新型实施例，与现有技术相比，具有如下有益效果：

本实用新型的ITO靶材生产用边角保护装置，使用时，将ITO靶材放置于第三板件上完成定位，通过过渡板包裹靶胚的棱角，第一板件和第二板件包裹靶胚的棱边，从而形成靶胚与袋子之间的阻隔，防止靶胚的棱边棱角刺破用于包裹靶胚的袋子，此外，凸起部的厚度与过渡板连接的一端向远离过渡板的一端逐渐减小，使得袋子从与过渡板接触、到与第一板件或第二板件接触、再到与ITO靶材接触的过程中近似于一条直线，减少了袋子弯折率过大造成破损的可能性。

附图说明

图1是本实用新型实施例所述的ITO靶材生产用边角保护装置的结构示意图。

图2是本实用新型实施例所述的ITO靶材生产用边角保护装置的俯视图。

图3是本实用新型实施例所述的不同参数下的ITO靶材生产用边角保护装置的效果对比。

附图标记说明：

100、ITO靶材生产用边角保护装置，

1、第一板件，11、平板部，12、凸起部，13、倒角，

2、第二板件，3、第三板件，31、圆弧段，

4、过渡板，

A、平板部的长度，B、第一板件、第二板件和过渡板的高度，

C、平板部和倒角的最小厚度，D、第三板件的厚度，

E、圆弧段与过渡板的最短距离，L、第一板件、第二板件、过渡板的第一侧边，R、圆弧段的半径。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，本实用新型中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本实用新型范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。

参照图1和图2，本实施例提供一种ITO靶材生产用边角保护装置100，包括第一板件1、第二板件2、第三板件3和过渡板4，第一板件1的一端和第二板件2的一端通过过渡板4弧状过渡连接，第三板件3连接于第一板件1、第二板件2、过渡板4的第一侧边L，第一板件1和第二板件2均包括平板部11和凸起部12，平板部11的两侧分别与凸起部12和第三板件3连接，凸起部12的厚度从与过渡板4连接的一端向远离过渡板4的一端逐渐减小。使用时，将ITO靶材放置于第三板件3上完成定位，通过过渡板4包裹靶胚的棱角，第一板件1和第二板件2包裹靶胚的棱边，从而形成靶胚与袋子之间的阻隔，防止靶胚的棱边棱角刺破用于包裹靶胚的袋子，此外，凸起部12的厚度与过渡板4连接的一端向远离过渡板4的一端逐渐减小，使得袋子从与过渡板4接触、到与第一板件1或第二板件2接触、再到与ITO靶材接触的过程中近似于一条直线，减少了袋子弯折率过大造成破损的可能性。

较佳的，参照图1和图2，在本实施例中，凸起部12的形状为半椎体，凸起部12的底部与过渡板4相接，且向远离过渡板4的一端延伸。半椎体的凸起部12使得平板部11与袋子的接触面在各个方向都是圆滑过渡，且袋子与半椎体之间也是圆滑过渡，进一步降低了了袋子弯折率过大造成破损的可能性。

较佳的，参照图1和图2，在本实施例中，平板部11的长度为A，A≥40mm。第一板件1、第二板件2和过渡板4的高度为B，30mm≥B≥5mm。平板部11的长宽过小时，在使用时对ITO靶材的棱边棱角的包裹度不足，且不具有足够的距离使得袋子形变后呈圆滑状。

较佳的，参照图1和图2，在本实施例中，平板部11远离过渡板4的一端设有倒角13，倒角13设于平板部11靠近凸起部12的一面。倒角13减少了平板部11一端的厚度，对袋子与第一板件1或第二板件2接触向与ITO靶材接触中形成过渡，避免在此过程之中袋子形状发生突变造成袋子的破裂。

较佳的，参照图1和图2，在本实施例中，平板部11和倒角13的最小厚度为C，C≤0.5mm。倒角13过小时，倒角13与袋子接触的过程中容易造成袋子的划伤。

较佳的，参照图1和图2，在本实施例中，第三板件3的厚度为D，D≤0.2mm。第三板件3厚度过大时，袋子从与第三板件3接触向ITO靶材接触的过程中形变过大，容易造成袋子的破裂。

较佳的，参照图1和图2，在本实施例中，第三板件3设有圆弧段31，圆弧段31的两端分别与第一板件1和第二板件2连接，且向过渡板4所在方向弯曲。在圆弧段31的作用下，袋子从与第三板件3接触向ITO靶材接触的过程中，形成呈弧形的过渡段，可以避免过渡段发生应力集中，造成袋子在过渡段发生破裂。具体的，在本实施例中，圆弧段31的半径为R，圆弧段31与过渡板4的最短距离为E，且R＊30％≤E。圆弧段31与过渡板4的距离过小时，无法对ITO靶材起到定位作用。

较佳的，在本实施例中，第一板件1、第二板件2、第三板件3和过渡板4为一体结构，且邵氏硬度为80±30度。避免在CIP工艺的过程中，受到高压作用的影响，造成该ITO靶材生产用边角保护装置100破裂，与ITO靶材混为一体造成ITO靶材的生产不良。

具体的，参照图3，经过试验，采用不同邵氏硬度和不同尺寸的ITO靶材生产用边角保护装置100，相较于未采用该ITO靶材生产用边角保护装置100，进水率、崩角率和开裂率都有较大的改进。

本实施例的ITO靶材生产用边角保护装置100，具有以下有益效果：

一、使用时，将ITO靶材放置于第三板件3上完成定位，通过过渡板4包裹靶胚的棱角，第一板件1和第二板件2包裹靶胚的棱边，从而形成靶胚与袋子之间的阻隔，防止靶胚的棱边棱角刺破用于包裹靶胚的袋子，此外，凸起部12的厚度与过渡板4连接的一端向远离过渡板4的一端逐渐减小，使得袋子从与过渡板4接触、到与第一板件1或第二板件2接触、再到与ITO靶材接触的过程中近似于一条直线，减少了袋子弯折率过大造成破损的可能性。

二、半椎体的凸起部12使得平板部11与袋子的接触面在各个方向都是圆滑过渡，且袋子与半椎体之间也是圆滑过渡，进一步降低了了袋子弯折率过大造成破损的可能性。

三、倒角13减少了平板部11一端的厚度，对袋子与第一板件1或第二板件2接触向与ITO靶材接触中形成过渡，避免在此过程之中袋子形状发生突变造成袋子的破裂。

四、在圆弧段31的作用下，袋子从与第三板件3接触向ITO靶材接触的过程中，形成呈弧形的过渡段，可以避免过渡段发生应力集中，造成袋子在过渡段发生破裂。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，包括第一板件、第二板件、第三板件和过渡板，所述第一板件的一端和所述第二板件的一端通过所述过渡板弧状过渡连接，所述第三板件连接于所述第一板件、所述第二板件、所述过渡板的第一侧边，所述第一板件和所述第二板件均包括平板部和凸起部，所述平板部的两侧分别与所述凸起部和所述第三板件连接，所述凸起部的厚度从与所述过渡板连接的一端向远离所述过渡板的一端逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述凸起部的形状为半椎体，所述凸起部的底部与所述过渡板相接，且向远离所述过渡板的一端延伸。

3.根据权利要求1所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述平板部的长度为A，A≥40mm。

4.根据权利要求1所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述第一板件、所述第二板件和所述过渡板的高度为B，30mm≥B≥5mm。

5.根据权利要求1所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述平板部远离所述过渡板的一端设有倒角，所述倒角设于所述平板部靠近所述凸起部的一面。

6.根据权利要求5所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述平板部和所述倒角的最小厚度为C，C≤0.5mm。

7.根据权利要求1所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述第三板件的厚度为D，D≤0.2mm。

8.根据权利要求1所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述第三板件设有圆弧段，所述圆弧段的两端分别与所述第一板件和所述第二板件连接，且向所述过渡板所在方向弯曲。

9.根据权利要求8所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述圆弧段的半径为R，所述圆弧段与所述过渡板的最短距离为E，且R＊30％≤E。

10.根据权利要求1所述的ITO靶材生产用边角保护装置，其特征在于，所述第一板件、第二板件、第三板件和过渡板为一体结构，且邵氏硬度为80±30度。