CN217822685U - 晶圆分选设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体生产及制造技术领域，本实用新型公开了一种晶圆分选设备。晶圆分选设备设置有至少一个能相对所述壳体在高度和水平方向进行调整的门体，还包括分别与门体和壳体连接的门体调节机构，门体调节机构包括第一调节件、第二调节件，和分别与第一调节件和第二调节件连接的连接件，还包括与第一调节件连接的第一限位件，和与第二调节件连接的第二限位件。第一限位件和第二限位件能分别对门体在第一方向和第二方向提供调节间距，因而能够确保在对门体进行移动时便于操作，且能确保调整后的门体的密封性。

Description

晶圆分选设备

技术领域

本实用新型属于半导体生产及制造技术领域，尤其涉及一种晶圆分选设备。

背景技术

在晶圆的加工和使用的过程中，经常需要根据晶圆的种类和质量以及使用需求而将晶圆进行分选。

目前，已有针对晶圆进行分选的分选设备，现有的晶圆分选设备大多包括一个分选腔室，并在分选腔室内设置有校准器以及机械手臂，经过校准后的晶圆由机械手臂分别转移至上下料口，并从上下料口处被输送至晶圆承载部。

为了确保晶圆在校准和搬运的过程中，不会受到氧化以及外界的污染，需要确保分选腔室内的空气洁净度，并使其内部始终保持一个相对稳定的环境状态，因而，现有技术中大多通过尽量减少分选腔室的侧壁上的门体的设置数量或是在设置门体的区域设置较多的密封件，以保证足够的密封性。

但是，采用减少门体的设置形式，则非常不利于晶圆分选设备内部各个工作区域的零部件的安装和维保。而采用增加门体周围密封件的形式，既增加了设备的整体成本，且随着使用时间的增加，以及加工误差的存在，门体四周与设备主体会形成缝隙，因而很难保证晶圆分选设备的门体与设备主体之间有完美的密封方式，因而，给晶圆分选设备的安装和使用带来了不利的影响。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆分选设备，其包括：壳体；FFU部，所述FFU部靠近所述壳体的顶部设置；分选腔室，所述分选腔室与所述FFU部连通；至少一个承载部，沿着所述壳体的长度方向的两侧壁的外侧分别设置有多个上下料出口，所述承载部对应于每个所述上下料出口处分别设置；传输搬运部，所述传输搬运部设置在所述分选腔室内，并用于将晶圆从各个承载部与分选腔室内部工位的往返运输；在所述壳体的与设置有上下料出口的侧壁相邻的侧壁上设置有至少一个能相对所述壳体在第一方向和第二方向进行调整的门体，所述门体与所述壳体的相对位置可调节，还包括分别与门体和壳体连接的门体调节机构，所述门体调节机构包括：第一调节件；至少一个第一固定件，所述第一固定件用于对所述第一调节件进行固定，所述第一固定件在所述第一调节件上的位置能在第一方向进行调整；第二调节件；至少一个第二固定件，所述第二固定件用于对所述第二调节件进行固定，所述第二固定件在所述第二调节件上的位置能在第二方向进行调整；连接件，所述连接件分别与所述第一调节件和第二调节件连接。因而，通过将门体设置为与壳体的可调节的形式，能够使得门体与壳体之间的连接无缝隙，确保晶圆分选设备的分选腔室的密封性；此外，本实用新型通过在壳体的两侧的外侧壁上分别设置多个上下料出口，因而，能满足多种不同规格的晶片的分选需求；通过对第一固定件在第一调节件上的位置进行调整，通过对第二固定件在第二调节件上的位置进行调整，能分别实现门体在第一方向和第二方向的设置位置的调节。

更进一步的，还包括：至少一个第一限位组件，所述第一限位组件用于对门体在第一方向的调整距离进行限定；至少一个第二限位组件，所述第二限位组件用于对门体在第二方向的调整距离进行限定。因而，避免在进行位置调节时，每次门体的移动距离过大，难以对门体进行准确移动至目标位置，而采用第一限位组件和第二限位组件能确保门体的每次移动都能实现小幅微距的效果，使得门体的调节过程更容易操控。

更进一步的，所述第一调节件包括：第一调节板，在所述第一调节板上设置有至少一个第一调节孔，所述第一固定件穿过所述第一调节孔；第一连接板，所述第一连接板与所述连接件连接；第一安装板，所述第一限位组件与所述第一安装板连接。

更进一步的，所述第一限位组件包括与所述第一安装板连接的第一限位件，所述第一限位件能朝向靠近或远离所述第一固定件的方向移动。因而，通过将第一限位件与第一安装板连接，既使得第一限位件能稳定的向靠近或远离第一固定件的方向移动，且通过将第一限位件设置于第一安装板上能使得第一限位组件和第一调节件的整体连接结构更加紧凑。

更进一步的，还包括用于与所述第一连接板连接的安装件，所述安装件具有向远离所述门体突出的连接区域，在所述连接区域上设置有供所述第一固定件穿过的连接孔。因而，通过将安装件与门体进行固定后，由于连接区域呈突出于门体的方式设置，因而便于将第一调节件与门体进行连接。

更进一步的，所述第二调节件包括：第二调节板，在所述第二调节板上设置有至少一个第二调节孔，所述第二固定件穿过所述第二调节孔；第二连接板，所述第二连接板与所述连接件连接；第二安装板，所述第二限位组件与所述第二安装板连接。

更进一步的，所述第二限位组件包括与所述第二安装板连接的第二限位件，所述第二限位件能朝向靠近或远离所述第二固定件的方向移动，并能与所述第二固定件相抵接。

更进一步的，在所述分选腔室内还设置有电控部、气控部、静电消除部以及校准与读码部；在所述壳体内设置有用于容纳所述气控部和电控部的控制室，所述控制室靠近所述壳体在长度方向的一端设置；所述校准与读码部位于所述控制室的上方；所述静电消除部靠近所述分选腔室的顶部设置，并位于所述FFU部下方；所述承载部沿着所述分选腔室的长度方向两两相对设置；所述传输搬运部位于两排承载部中间，并用于将各个所述承载部中的晶圆在所述校准与读码部和承载部之间往返运输。

更进一步的，所述门体包括对应于所述FFU部设置的上侧门，对应于所述校准与读码部设置的中侧门，以及对应于控制室设置的下侧门。

更进一步的，所述传输搬运部包括机械手，所述机械手在所述壳体内的位置可调节。

更进一步的，还包括用于对所述机械手在三维方向移动的机械手调节部，所述机械手调节部分别与所述机械手和位于壳体内的框架连接。

更进一步的，所述机械手调节部包括：机械手调节件一，在所述机械手调节件一上设置有至少一个沿着第一方向设置的第三调节孔a，和至少一个沿着第二方向设置的第四调节孔；机械手调节件二，在所述机械手调节件二上设置有至少一个沿着第一方向设置的第三调节孔b和沿着第三方向设置的第五调节孔，所述机械手调节件二与所述机械手调节件一通过依次穿过所述第三调节孔a和第三调节孔b的第三固定件连接。因而，可通过对设置于第三调节孔a和第三调节孔b的第三固定件的固定位置沿着第一方向进行调整，而实现对机械手在第一方向的移动；对设置于第四调节孔的第四固定件的固定位置沿着第二方向进行调整，而实现对机械手在第二方向的移动；对设置于第五调节孔的第五固定件的固定位置沿着第三方向进行调整，而实现对机械手在第三方向的移动。

更进一步的，还包括防护光幕，

所述防护光幕包括发射端和接收端，所述发射端和接收端分别在所述晶圆分选设备的设置有上下料出入口的侧壁上，并位于最外侧的上下料出入口的相互远离的一侧设置，

位于所述分选腔室的同一侧的各个承载部位于所述防护光幕的发射端和接收端之间，所述发射端和接收端与所述壳体的距离大于所述承载部的远离所述壳体的表面与所述壳体的距离。因而，在安全光幕范围内，如果有人员或其他物体进入安全光幕的范围内时，会引发机台报警。

更进一步的，在靠近顶部的区域还设置有至少一个OHT接口。因而，可根据需要将各承载部的信息反馈给OHT。

更进一步的，在所述分选腔室内还设置有至少一层调压板。因而，通过将调压板与FFU部配合，能够对分选腔室内外的压差进行调节。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的门体调节机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例一的第一调节件的立体结构示意图；

图3为本实用新型实施例一的第二调节件的立体结构示意图；

图4为本实用新型实施例一的门体调节机构与门体连接时的立体结构示意图；

图5为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的立体结构示意图；

图6为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的半切开结构示意图；

图7为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的机械手调节部的立体结构示意图；

图8为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的机械手与机械手调节部的连接关系示意图；

图9为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的电控部的立体结构示意图；

图10为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的校准与读码部的立体结构示意图；

图11为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的FFU部的立体结构示意图；

图12为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的静电消除部的立体结构示意图；

图13为本实用新型实施例二的晶圆分选设备的人机操控部的立体结构示意图。

图中，

1、门体调节机构；11、第一调节件；111、第一调节孔；112、第一连接板；113、第一调节板；114、第一安装板；12、第一固定件；13、第二调节件；131、第二调节孔；132、第二安装板；133、第二调节板；134、第二连接板；14、第二固定件；15、连接件；16、第一限位件；17、第二限位件；

2、FFU部；21、风机；22、滤芯；23、调压板；

3、承载部；

4、传输搬运部；41、机械手调节件一；411、第三调节孔a；412、第四调节孔；42、机械手调节件二；422、第五调节孔；43、底座；44、调整螺丝；45、水平尺；46、片叉；47、机械手；5、门体；

51、上侧门；52、中侧门；53、下侧门；54、安装件；

6、壳体；61、分选腔室；62、框架；63、OHT接口；64、运输脚轮；65、人机操控部；651、显示器；652、键盘；653、支架；

71、电控部；711、工控机；712、机械手控制器；713、电控板；72、气控部；73、控制室；

8、静电消除部；81、离子发生器；82、支撑件；

9、校准与读码部；91、晶圆校准器；92、晶圆读码器；10、防护光幕。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例一：

参见附图1和图4所示，本实施例为一种门体调节机构1，其用于将门体5在固定部件（固定部件可以为需要设置有门体的箱体的壳体6、需要设置门体的固定框架，等）上的位置进行调整。

本实施例的门体调节机构1包括与门体5连接的第一调节件11、与固定部件连接的第二调节件13，和分别与第一调节件11和第二调节件13连接的连接件15。

结合参见附图2所示，在第一调节件11上设置有至少一个第一调节孔111。通过穿过第一调节孔111的第一固定件12将门体调节机构1与门体5连接，并通过调整第一固定件12在第一调节孔111中的固定位置而实现对门体5在第一方向的设置位置的调节。

在一些实施方式中，第一调节孔111的数量为两个，且二者均沿着第一方向设置。很显然，也可以将第一调节孔111的设置数量进行调整。

本实施例还包括与第一调节件11连接的第一限位件16，第一限位件16的轴向方向沿着第一方向设置，第一限位件16的末端能与第一固定件12相抵接。因而，通过转动第一限位件16，能对其末端与第一固定件12之间的间距进行调整和限定。在需要对门体5在沿着第一方向移动时，首先转动第一限位件16，使得第一限位件16的靠近第一固定件12的末端与第一固定件12之间保持一定的间隙，由此，即可实现对门体5在沿着第一方向的移动距离的较为准确和小幅度的调整。

再次参见附图2所示，在一些实施方式中，第一调节件11包括依次设置的第一连接板112、第一调节板113和第一安装板114。第一连接板112与连接件15连接；第一调节孔111设置在第一调节板113上；第一限位件16穿过第一安装板114并与其通过螺丝连接。

在一些实施方式中，第一调节件11呈“两级阶梯”状，第一安装板114呈与第一调节板113相垂直的方向设置，穿过第一安装板114的第一限位件16能与穿过第一调节板113的第一固定件12相抵接。

在一些实施方式中，还可设置有能与第一安装板114相抵接的第一调节螺母，第一调节螺母套设在第一限位件16上，因而，便于将第一限位件16在第一方向上的位置进行调整和固定。

在一些实施方式中，第一固定件12呈与第一限位件16相垂直的方向设置。很显然，第一限位件16也可以与第一固定件12不相垂直设置，只需要确保在转动第一限位件16后，能对第一固定件12提供出在第一方向上的移动空间即可。

结合参见附图3所示，在第二调节件13上设置有至少一个沿第二方向设置的第二调节孔131，通过穿过第二调节孔131的第二固定件14而实现将门体调节机构1与固定部件的连接，并通过将第二固定件14在第二调节孔131中的设置位置进行调整而实现门体5相对于固定部件在第二方向的位置的调整。

第二调节孔131的设置数量也可以根据需要进行调整。在一些实施方式中，第二调节孔131为两个，并分别上下设置。

本实施例还包括与第二调节件13连接的第二限位件17，每个第二固定件14分别相对应的设置有一个第二限位件17。第二限位件17沿着第二方向设置，第二限位件17的末端能与第二固定件14相抵接，通过转动第二限位件17，并对其末端与第二固定件14之间的间距进行调整，因而，能够给门体5在第二方向的移动提供一定的调节间隙。由此，通过第二限位件17能确保对门体5在第二方向的小幅度移动，和移动准确性。

再次参见附图3所示，在一些实施方式中，第二调节件13包括第二安装板132、第二调节板133和第二连接板134。第二限位件17穿过第二安装板132；在第二调节板133上设置有沿着第二方向设置的至少一个第二调节孔131，第二固定件14穿过第二调节孔131，第二连接板134呈“L”形。

第二调节板133与第二安装板132相垂直设置；第二连接板134与连接件15连接，在一些实施方式中，还可设置有能与第二安装板132相抵接的第二调节螺母，第二调节螺母套设在第二限位件17上，因而，便于将第二限位件17在第二方向上进行调整。

在一些可能的实施方式中，第二限位件17也可以与第二固定件14不相垂直设置，只需要确保在转动第二限位件17后，能对第二固定件14提供出在第二方向上的移动空间即可。

在一些实施方式中，以图7中箭头A所示的方向为第一方向，以图7中箭头B所示的方向为第二方向，以图7中箭头C所示的方向为第三方向。第一方向、第二方向和第三方向任意二者，两两相互垂直。本实用新型中所述的沿着第一方向、第二方向和第三方向的调节是指沿着图7中的第一方向、第二方向和第三方向所在的直线的双向调节。

在一些实施方式中，第一固定件12、第二固定件14、第三固定件、第四固定件和第五固定件可以为螺丝、铆钉、柱形或片形固定件，或其他能实现固定效果的零件。第一限位件16和第二限位件17可以为螺丝、销钉、限位板或其他能对第一固定件12和第二固定件14的位置进行限定的结构。

在利用本实施例的门体调节机构1进行门体5位置的调节时，当需要在第一方向调节时，小幅移动第一限位件16，使得第一限位件16的靠近第一固定件12的末端与第一固定件12之间存在小幅的间隙，随后，松开第一固定件12，并将门体5沿着第一方向向靠近第一限位件16的方向移动即可，随后再次将第一固定件12锁紧；同样的，当需要在第二方向调节时，小幅移动第二限位件17，使得第二限位件17的靠近第二固定件14的末端与第二固定件14之间存在小幅的间隙，随后，松开第二固定件14，并将门体5沿着第二方向移动即可，随后再次锁紧第二固定件14。利用本实施例的门体调节机构1，能够对门体5相对于固定部件的设置位置进行小幅度而准确的调整，能够实现对门体5在固定部件上的设置位置进行准确控制，且整个调节和控制过程操作轻松、简便。

实施例二：

参见附图5-6所示，本实施例为一种晶圆分选设备，其包括壳体6、FFU部2、多个承载部3和传输搬运部4。

FFU部2靠近壳体6的顶部设置，FFU部2的底部与壳体6形成分选腔室61。沿着壳体6的长度方向的两侧壁的外侧分别设置有多个上下料出口，承载部3对应于每个上下料出口处分别设置，承载部3放置有晶圆盒。传输搬运部4设置在分选腔室61内，并用于将晶圆从各个承载部3与分选腔室61内部工位的往返运输。

在壳体6的与设置有上下料出口的侧壁相邻的侧壁上设置有至少一个能相对壳体6在高度和水平方向进行调整的门体5，门体5与壳体6的相对位置可调节。因而，通过对门体5与壳体6的相对位置的调节，能确保门体5与壳体6之间的密封性，减少外界环境对壳体6内的环境的破坏。

在一些实施方式中，可通过设置实施例一的门体调节机构1而实现门体5与壳体6的位置的调整。门体5与第一调节件11连接，壳体6与第二调节件13连接。

再次结合参见附图1所示，在本实用新型的一些实施方式中，还包括与门体5连接的安装件54，在安装件54的中部具有向远离门体5突出的连接区域，在连接区域上设置有供第一固定件12穿过的连接孔。

在一些实施方式中，以第二方向为呈与水平面垂直的方向，第二固定件14为螺丝为例进行说明，第二安装板132分别靠近第二调节板133的上端和下端设置，第二连接板134与第二调节板133的侧边缘连接。因而，在需要将门体5向上移动时，首先转动位于上部的第二安装板132上的第二限位件17，使得第二限位件17与第二固定件14之间在高度上形成了一点调整间隙，此时，转动松开靠近第二调节板133上部的第二固定件14，并向上拉动第二调节板133，使得第二固定件14与位于靠近第二调节板133上部的第二限位件17相抵，此时，再次将第二固定件14拧紧即可。相应的，在需要将门体5向下移动时，首先转动位于下部的第二安装板132上的第二限位件17，使得第二限位件17与第二固定件14之间在高度上形成了一点调整间隙，此时，转动松开靠近第二调节板133下部的第二固定件14，并向下拉动第二调节板133，使得第二固定件14与位于靠近第二调节板133上部的第二限位件17相抵，此时，再次将第二固定件14拧紧即可。

再次结合参见附图5和6所示，在本实用新型的一些实施方式中，在分选腔室61内还设置有电控部71、气控部72、静电消除部8以及校准与读码部9；在壳体6内设置有用于容纳气控部72和电控部71的控制室73，控制室73靠近壳体6在长度方向的一端设置；校准与读码部9位于控制室73的上方；承载部3沿着分选腔室61的长度方向两两相对设置；传输搬运部4位于两排依次设置的承载部3中间，并用于将各个承载部3中的晶圆在校准与读码部9和承载部3之间往返运输。因而，本实用新型的晶圆分选设备通过设置多个不同的承载部3，能够满足实际中多样的晶圆分选需求。

在一些实施方式中，传输搬运部4包括五轴的机械手47，因而能构满足对在反应腔室内的晶圆片的任意移动需求。

在一些实施方式中，机械手47在壳体6内的位置可进行小幅度调节。由此，能够满足更高精度的使用需求。

本实用新型的晶圆分选设备还包括用于对机械手47在三维方向移动的机械手调节部，机械手调节部分别与机械手47和位于壳体6内的框架62连接。

参见附图7所示，也即，在附图8中圆圈A所圈出的区域，机械手调节部包括相互连接的机械手调节件一41和机械手调节件二42。

机械手调节件一41和机械手调节件二42均为“L”形板。在机械手调节件一41的一个板体上设置有至少一个沿着第一方向设置的第三调节孔a411，在机械手调节件一41的另一个板体上设置有至少一个沿着第二方向设置的第四调节孔412；在机械手调节件二42的一个板体上设置有至少一个沿着第一方向设置的第三调节孔b，在机械手调节件二42的另一个板体上设置有至少一个沿着第三方向设置的第五调节孔422，机械手调节件二42与机械手调节件一41通过依次穿过第三调节孔a411和第三调节孔b的螺丝连接。以图7中箭头A所示的方向为第一方向，以图7中箭头B所示的方向为第二方向，以图7中箭头C所示的方向为第三方向。

在一些实施方式中，第三调节孔a411和第三调节孔b分别为3个，并呈三角形的形式布置，因而能够确保机械手调节件一41与机械手调节件二42更加稳定的固定效果。

机械手调节件一41通过穿过第四调节孔412的螺丝与机械手47连接，机械手调节件二42通过穿过第五调节孔422的螺丝与设置于壳体6内的框架62连接。因而，在需要对机械手47在第一方向移动时，只需要沿着第三调节孔a411和第三调节孔b的长度方向移动机械手47后，对其进行固定即可；同样的，在需要对机械手47在第二方向移动时，沿着第二方向移动机械手47，并通过穿过第四调节孔412的螺丝进行固定即可；在需要对机械手47在第三方向移动时，将机械手47连同第机械手调节件一41和机械手调节件二42一起移动至合适的位置后，紧固穿过第五调节孔422的螺丝即可。

参见附图8所示，在本实用新型的一些实施方式中，传输搬运部4还包括用于安装机械手47的底座43，底座43设有调整螺丝44，可通过调整螺丝44对机械手47的水平度进行调整。在底座43上还可设置有用于标记机械手47的水平位置的水平尺45。在机械手47的末端关节安装有可接触晶圆的片叉46，片叉46为单臂双叉的结构，片叉46用来取放晶圆。

再结合参见附图1所示，在本实用新型的一些实施方式中，在晶圆分选设备的设置有上下料出入口的侧壁上位于最外侧的上下料出入口的相互远离的还分别设置有一组防护光幕10，防护光幕10包括沿着高度方向设置的发射端和接收端，位于分选腔室61的同一侧的各个承载部3位于防护光幕10的发射端和接收端之间，发射端和接收端与壳体6的距离大于承载部3的远离壳体6的表面与壳体6的距离。

在本实用新型的一些实施方式中，在靠近顶部的区域还设置有至少一个OHT接口63。OHT(Overhead Hoisttransporter)，即天车输送系统，OHT通常由接口和信息处理模块组成。在一些实施方式中，可将每个OHT设置四组接口，每个接口对应一个承载部3；当设备两侧分别设置有四个承载部3时，则需要配备两个OHT接口63。

在执行对料盒的搬运任务时，需要设备将各承载部3的信息反馈给OHT，通过设置OHT接口63，能使得设备与OHT信息进行交互。

结合参见附图6所示，在本实用新型的一些实施方式中，在分选腔室61内还设置有至少一层调压板23。

在本实用新型的一些实施方式中，门体5包括对应于FFU部2设置的上侧门51，对应于校准与读码部9设置的中侧门52，以及对应于控制室73设置的下侧门53。相应的，上侧门51、中侧门52和下侧门53可分别通过实施例一的门体调节机构1与壳体6连接。因而，通过设置上侧门51、中侧门52和下侧门53，便于对设备内部的工件进行维护。

在本实用新型的一些实施方式中，调压板23与FFU部2配合，实现对分选腔室61内外的压差的控制。

在一些实施方式中，还包括用于构成本实用新型的晶圆分选设备的主体结构的框架62，在框架62的底部设有四个与其可拆卸连接的运输脚轮64，完成运输后可将其拆卸备用。在设备两侧设有防地震脚，在完成设备水平调整后，将地震脚固定，用于降低地震带来的风险。

参见附图9所示，在本实用新型的一些实施方式中，电控部71由工控机711、机械手控制器712和电控板713组件组成，工控机711分别与机械手控制器712和电控板713连接。

参见附图10所示，在本实用新型的一些实施方式中，校准与读码部9包括底板和设置于底板上的晶圆校准器91和晶圆读码器92。也可通过在底板上设置调节螺丝用于调整晶圆校准器91的水平度。

FFU部2，即Fan Filter Units（风机过滤单元）。参见附图11所示，在本实用新型的一些实施方式中，FFU部2由风机21和滤芯22组成，滤芯22位于风机21下部。也可在进风口位置增加化学过滤器。本实施例中显示的FFU部2的顶部为进气口，底部为出气口。

FFU部2可自动调整风速，与分选腔室61的中层调压板23配合，可保证微环境内部与外部的恒定压差。

参见附图12所示，在本实用新型的一些实施方式中，静电消除部8靠近分选腔室61的顶部，并位于FFU部2下方，由离子发生器81和支撑件82组成。离子发生器81设有进气口，电极电离出正负离子后，由洁净压缩空气将离子吹向分选腔室61内部，以此方式达到对晶圆的静电消除作用。

参见附图13所示，在本实用新型的一些实施方式中，还包括人机操控部65，人机操控部65可包括有显示器651、键盘652以及支架653，显示器651和键盘652均与支架653连接，支架653与壳体6可旋转连接，支架653也可采用可升降的设置形式。显示器651也可根据需求拓展为双显示器。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (15)

1.一种晶圆分选设备，包括：

壳体；

FFU部，所述FFU部靠近所述壳体的顶部设置；

分选腔室，所述分选腔室与所述FFU部连通；

至少一个承载部，沿着所述壳体的长度方向的两侧壁的外侧分别设置有多个上下料出口，所述承载部对应于每个所述上下料出口处分别设置；

传输搬运部，所述传输搬运部设置在所述分选腔室内，并用于将晶圆从各个承载部与分选腔室内部工位的往返运输；

其特征在于，在所述壳体的与设置有上下料出口的侧壁相邻的侧壁上设置有至少一个能相对所述壳体在高度和水平方向进行调整的门体，

还包括分别与门体和壳体连接的门体调节机构，所述门体调节机构包括：

第一调节件；

至少一个第一固定件，所述第一固定件用于对所述第一调节件进行固定，所述第一固定件在所述第一调节件上的位置能在第一方向进行调整；

第二调节件；

至少一个第二固定件，所述第二固定件用于对所述第二调节件进行固定，所述第二固定件在所述第二调节件上的位置能在第二方向进行调整；

连接件，所述连接件分别与所述第一调节件和第二调节件连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆分选设备，其特征在于，还包括：

至少一个第一限位组件，所述第一限位组件用于对门体在第一方向的调整距离进行限定；

至少一个第二限位组件，所述第二限位组件用于对门体在第二方向的调整距离进行限定。

3.根据权利要求2所述的晶圆分选设备，其特征在于，所述第一调节件包括：

第一调节板，在所述第一调节板上设置有至少一个第一调节孔，所述第一固定件穿过所述第一调节孔；

第一连接板，所述第一连接板与所述连接件连接；

第一安装板，所述第一限位组件与所述第一安装板连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆分选设备，其特征在于，所述第一限位组件包括与所述第一安装板连接的第一限位件，所述第一限位件能朝向靠近或远离所述第一固定件的方向移动。

5.根据权利要求3所述的晶圆分选设备，其特征在于，还包括用于与所述第一连接板连接的安装件，所述安装件具有向远离所述门体突出的连接区域，在所述连接区域上设置有供所述第一固定件穿过的连接孔。

6.根据权利要求2所述的晶圆分选设备，其特征在于，所述第二调节件包括：

第二调节板，在所述第二调节板上设置有至少一个第二调节孔，所述第二固定件穿过所述第二调节孔；

第二连接板，所述第二连接板与所述连接件连接；

第二安装板，所述第二限位组件与所述第二安装板连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆分选设备，其特征在于，所述第二限位组件包括与所述第二安装板连接的第二限位件，所述第二限位件能朝向靠近或远离所述第二固定件的方向移动，并能与所述第二固定件相抵接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的晶圆分选设备，其特征在于，在所述分选腔室内还设置有电控部、气控部、静电消除部以及校准与读码部；

在所述壳体内设置有用于容纳所述气控部和电控部的控制室，所述控制室靠近所述壳体在长度方向的一端设置；

所述校准与读码部位于所述控制室的上方；

所述静电消除部靠近所述分选腔室的顶部设置，并位于所述FFU部下方；

所述承载部沿着所述分选腔室的长度方向两两相对设置；

所述传输搬运部位于两排承载部中间，并用于将各个所述承载部中的晶圆在所述校准与读码部和承载部之间往返运输。

9.根据权利要求8所述的晶圆分选设备，其特征在于，所述门体包括对应于所述FFU部设置的上侧门，对应于所述校准与读码部设置的中侧门，以及对应于控制室设置的下侧门。

10.根据权利要求1-7任一项所述的晶圆分选设备，其特征在于，所述传输搬运部包括机械手，所述机械手在所述壳体内的位置可调节。

11.根据权利要求10所述的晶圆分选设备，其特征在于，还包括用于对所述机械手在三维方向移动的机械手调节部，所述机械手调节部分别与所述机械手和位于壳体内的框架连接。

12.根据权利要求11所述的晶圆分选设备，其特征在于，所述机械手调节部包括：

机械手调节件一，在所述机械手调节件一上设置有至少一个沿着第一方向设置的第三调节孔a，和至少一个沿着第二方向设置的第四调节孔；

机械手调节件二，在所述机械手调节件二上设置有至少一个沿着第一方向设置的第三调节孔b和沿着第三方向设置的第五调节孔，所述机械手调节件二与所述机械手调节件一通过依次穿过所述第三调节孔a和第三调节孔b的第三固定件连接。

13.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆分选设备，其特征在于，还包括防护光幕，

所述防护光幕包括发射端和接收端，所述发射端和接收端分别在所述晶圆分选设备的设置有上下料出入口的侧壁上，并位于最外侧的上下料出入口的相互远离的一侧设置，

位于所述分选腔室的同一侧的各个承载部位于所述防护光幕的发射端和接收端之间，所述发射端和接收端与所述壳体的距离大于所述承载部的远离所述壳体的表面与所述壳体的距离。

14.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆分选设备，其特征在于，在靠近顶部的区域还设置有至少一个OHT接口。

15.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆分选设备，其特征在于，在所述分选腔室内还设置有至少一层调压板。

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