CN217802579U - 多线切割冷却液喷嘴 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了多线切割冷却液喷嘴,包括盒体,所述盒体前端上方壁体上设有固定板,所述固定板前端壁体上设有导流板,所述导流板顶部前端设有缓冲罩,且所述盒体内腔体与固定板、导流板内腔体连通,所述盒体内侧壁体中设有连接管,所述内腔体与盒体外部连通,所述盒体背部壁体上设有固定管,所述连接管内设有连接轴,所述固定管外壁上设有调节环。本实用新型所述的多线切割冷却液喷嘴,涉及切割冷却设备技术领域,通过盒体内的连接管设置,便于对进入到盒体内的冷却液进行缓冲,并通过固定板与导流板对金属丝与工件进行缓慢的滴流,同时,通过限位环与调节环、弧形压杆能够对盒体的角度进行快速调节。
Description
技术领域
本实用新型涉及切割冷却设备技术领域,特别涉及多线切割冷却液喷嘴。
背景技术
硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式,也不同于先进的激光切割和内圆切割,它的原理是通过一根高速运动的金属丝带动附着在金属丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦,从而达到切割效果。在整个过程中,金属丝通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。在硅片多线切割过程中,会通过喷嘴对切割处进行冷却液的喷淋,进而对硅棒切割处以及金属丝降温。
但是,大部分的喷嘴在对金属丝进行冷却液喷淋时,由于冷却液喷射具有一定的冲击力,进而会导致金属丝晃动,进而导致切割不均匀,同时,由于半导体硅片规格很多,切割会频繁更换导轮,由于开槽次数不同使得每个导轮直径都不尽相同,切割时需要调整喷液角度,大部分的冷却液喷嘴在对其进行角度调节时,需要对螺丝进行拆装,影响对喷嘴喷向的快速调节。
因此,急需多线切割冷却液喷嘴来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供多线切割冷却液喷嘴,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
多线切割冷却液喷嘴,包括盒体,所述盒体前端上方壁体上设有固定板,所述固定板前端壁体上设有导流板,所述导流板顶部前端设有缓冲罩,且所述盒体内腔体与固定板、导流板内腔体连通,所述盒体内侧壁体中设有连接管,所述内腔体与盒体外部连通,所述盒体背部壁体上设有固定管,所述连接管内设有连接轴,所述固定管外壁上设有调节环。
优选的,所述盒体两侧在位于连接管管口外侧位置的壁体中均开设有齿槽。
优选的,所述连接轴两侧壁体上均设有侧板,所述侧板通过焊接的方式固定安装在连接轴一侧壁体上,两个所述侧板相对一侧壁体之间设有连接板,所述连接板两侧壁体均通过焊接的方式固定安装在其中侧板一侧壁体上,所述连接板壁体中开设有固定口,所述连接轴两侧外壁的滑槽中均设有限位环。
优选的,所述限位环通过壁体中的通孔穿插安装在连接轴一侧外壁的滑槽中,所述限位环顶部与底部壁体上均设有固定块,所述固定块通过焊接的方式固定安装在限位环外壁上,两个所述限位环相对一侧的壁体上还分别固定安装有环形齿块,且所述环形齿块与盒体一侧壁体中的齿槽卡接,所述连接轴两侧在位于限位环与侧板之间的轴体上均套装有压缩弹簧。
优选的,所述调节环顶部与底部壁体上均设有连接杆,所述连接杆通过焊接的方式固定安装在调节环外壁上,所述连接杆前端两侧壁体上均设有弧形压杆,所述弧形压杆通过焊接的方式固定安装在连接杆一侧壁体上,且所述弧形压杆一侧壁体贴附在盒体一侧位于固定块位置的壁体上,所述调节环穿插安装在固定管上,且所述调节环通过内壁的橡胶垫与固定管外壁限位固定。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
本实用新型所述的多线切割冷却液喷嘴,通过盒体内的连接管设置,便于对进入到盒体内的冷却液进行缓冲,并通过固定板与导流板对金属丝与工件进行缓慢的滴流,同时,通过限位环与调节环、弧形压杆能够对盒体的角度进行快速调节。
附图说明
图1为本实用新型的主体结构示意图;
图2为本实用新型的主体结构拆分图;
图3为图2中A处的放大图。
图中:1、盒体;2、固定板;3、导流板;4、缓冲罩;5、连接管;6、固定管;7、连接轴;8、限位环;9、调节环;10、齿槽;11、侧板;12、连接板;13、固定口;14、固定块;15、环形齿块;16、压缩弹簧;17、连接杆;18、弧形压杆。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
实施例一:
如图1-图3所示,本实用新型提供的多线切割冷却液喷嘴,包括盒体1,盒体1前端上方壁体上设有固定板2,固定板2前端壁体上设有导流板3,导流板3顶部前端设有缓冲罩4,且盒体1内腔体与固定板2、导流板3内腔体连通,盒体1内侧壁体中设有连接管5,内腔体与盒体1外部连通,盒体1背部壁体上设有固定管6,连接管5内设有连接轴7,固定管6外壁上设有调节环9。
实施例二:
盒体1两侧在位于连接管5管口外侧位置的壁体中均开设有齿槽10,连接轴7两侧壁体上均设有侧板11,侧板11通过焊接的方式固定安装在连接轴7一侧壁体上,两个侧板11相对一侧壁体之间设有连接板12,连接板12两侧壁体均通过焊接的方式固定安装在其中侧板11一侧壁体上,连接板12壁体中开设有固定口13,连接轴7两侧外壁的滑槽中均设有限位环8,限位环8通过壁体中的通孔穿插安装在连接轴7一侧外壁的滑槽中,限位环8顶部与底部壁体上均设有固定块14,固定块14通过焊接的方式固定安装在限位环8外壁上,两个限位环8相对一侧的壁体上还分别固定安装有环形齿块15,且环形齿块15与盒体1一侧壁体中的齿槽10卡接,连接轴7两侧在位于限位环8与侧板11之间的轴体上均套装有压缩弹簧16,通过限位环8以及限位环8一侧的环形齿块15设置,便于对盒体1进行限位固定,调节环9顶部与底部壁体上均设有连接杆17,连接杆17通过焊接的方式固定安装在调节环9外壁上,连接杆17前端两侧壁体上均设有弧形压杆18,弧形压杆18通过焊接的方式固定安装在连接杆17一侧壁体上,且弧形压杆18一侧壁体贴附在盒体1一侧位于固定块14位置的壁体上,调节环9穿插安装在固定管6上,且调节环9通过内壁的橡胶垫与固定管6外壁限位固定,通过调节环9与连接杆17上的弧形压杆18的设置,便于对限位环8外壁的固定块14进行控制。
需要说明的是,本实用新型为多线切割冷却液喷嘴,在使用时,冷却液通过泵注入到固定管6内时,通过位于盒体1内连接管5进行缓冲,进而使得冷却液缓慢的进入到盒体1内,并经过固定板2与导流板3流出,进而对金属丝以及工件切割处进行降温,而当需要对导流板3的滴流角度进行调节时,只需将调节环9在固定管6上向盒体1方向推动,进而使得调节环9带动顶部与底部的连接杆17移动,进而使得两个连接杆17两侧的弧形压杆18向前移动,进而使得四个弧形压杆18同步的将两个限位环8外壁的固定块14向一侧挤压移动,进而使得两个固定块14带动限位环8在连接轴7一侧外壁的滑槽中向一侧移动,进而使得限位环8一侧的环形齿块15从盒体1一侧的齿槽10中脱离,随后,即可将盒体1通过壁体内的连接管5在连接轴7上转动调节,当盒体1带动导流板3调节完成后,只需将调节环9松开,进而通过连接轴7两侧外壁的压缩弹簧16回弹,进而将限位环8一侧的环形齿块15重新卡入到齿槽10中,进而对盒体1进行限位固定。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.多线切割冷却液喷嘴,包括盒体(1),所述盒体(1)前端上方壁体上设有固定板(2),所述固定板(2)前端壁体上设有导流板(3),所述导流板(3)顶部前端设有缓冲罩(4),其特征在于:且所述盒体(1)内腔体与固定板(2)、导流板(3)内腔体连通,所述盒体(1)内侧壁体中设有连接管(5),所述内腔体与盒体(1)外部连通,所述盒体(1)背部壁体上设有固定管(6),所述连接管(5)内设有连接轴(7),所述固定管(6)外壁上设有调节环(9)。
2.根据权利要求1所述的多线切割冷却液喷嘴,其特征在于:所述盒体(1)两侧在位于连接管(5)管口外侧位置的壁体中均开设有齿槽(10)。
3.根据权利要求2所述的多线切割冷却液喷嘴,其特征在于:所述连接轴(7)两侧壁体上均设有侧板(11),所述侧板(11)通过焊接的方式固定安装在连接轴(7)一侧壁体上,两个所述侧板(11)相对一侧壁体之间设有连接板(12),所述连接板(12)两侧壁体均通过焊接的方式固定安装在其中侧板(11)一侧壁体上,所述连接板(12)壁体中开设有固定口(13),所述连接轴(7)两侧外壁的滑槽中均设有限位环(8)。
4.根据权利要求3所述的多线切割冷却液喷嘴,其特征在于:所述限位环(8)通过壁体中的通孔穿插安装在连接轴(7)一侧外壁的滑槽中,所述限位环(8)顶部与底部壁体上均设有固定块(14),所述固定块(14)通过焊接的方式固定安装在限位环(8)外壁上,两个所述限位环(8)相对一侧的壁体上还分别固定安装有环形齿块(15),且所述环形齿块(15)与盒体(1)一侧壁体中的齿槽(10)卡接,所述连接轴(7)两侧在位于限位环(8)与侧板(11)之间的轴体上均套装有压缩弹簧(16)。
5.根据权利要求4所述的多线切割冷却液喷嘴,其特征在于:所述调节环(9)顶部与底部壁体上均设有连接杆(17),所述连接杆(17)通过焊接的方式固定安装在调节环(9)外壁上,所述连接杆(17)前端两侧壁体上均设有弧形压杆(18),所述弧形压杆(18)通过焊接的方式固定安装在连接杆(17)一侧壁体上,且所述弧形压杆(18)一侧壁体贴附在盒体(1)一侧位于固定块(14)位置的壁体上,所述调节环(9)穿插安装在固定管(6)上,且所述调节环(9)通过内壁的橡胶垫与固定管(6)外壁限位固定。
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