CN217797915U - 一种半导体用石英平面磨削洗净治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体用石英平面磨削洗净治具,包括吸盘和底座,所述吸盘上设有用于吸附产品的真空槽,所述吸盘一端与底座转动连接,所述底座上设有气缸,所述气缸内设有活塞,所述活塞将气缸分隔为两个腔体,所述活塞一端向气缸外延伸并与吸盘另一端活动连接,还包括双向泵,所述双向泵分别与真空槽和气缸其中一个腔体连通。本实用新型通过双向抽气在保证对产品稳定快速装夹的同时,能够使得产品和治具倾斜,方便高效清洗排屑,不易对产品造成损伤;气缸活塞杆端部通过滑块与治具灵活连接,调节方便;真空槽与气缸连接结构简单,加工方便;通过设置排屑孔降低治具重量的同时进一步方便废屑的排放。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英加工技术领域,尤其是涉及一种半导体用石英平面磨削洗净治具。
背景技术
许多半导体产品以石英作为主要材料,对加工精度以及表面质量要求高,大量石英产品需要通过磨削加工以保证产品表面质量,完成磨削加工后石英产品表面和周围留下大量废屑,为了去除废屑保证产品表面质量,通常需要通过水洗清洗产品。由于废屑较多较密,高压的冲洗效率较高,但容易在洗净过程中对产品造成损坏。另一方面,为了保证加工精度和装夹的稳固,现有石英产品通常粘附或吸附在治具上,产品无法轻易移动,废屑容易堆积在治具上,进一步增大了排屑的难度。
发明内容
本实用新型是为了克服现有技术易对产品造成损害,排屑难度大的问题,提供一种半导体用石英平面磨削洗净治具,方便排屑,不易对产品造成损害。
为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种半导体用石英平面磨削洗净治具,包括吸盘和底座,所述吸盘上设有用于吸附产品的真空槽,所述吸盘一端与底座转动连接,所述底座上设有气缸,所述气缸内设有活塞,所述活塞将气缸分隔为两个腔体,所述活塞一端向气缸外延伸并与吸盘另一端活动连接,还包括双向泵,所述双向泵分别与真空槽和气缸其中一个腔体连通。
本实用新型的特点在于,设置了双向泵用于在真空槽和气缸腔体之间交换气体,当双向泵将真空槽的气体抽至气缸内时,吸盘真空槽内形成负压,将石英产品吸附在吸盘上,同时气缸其中一个腔体膨胀,活塞推拉将吸盘一端顶起或下拉,吸盘另一端沿底座转动,吸盘倾斜,此时对产品进行清洗,产品在保持稳固装夹的同时,倾斜的水流可快速带走治具上的废屑,无需过高压力的冲洗,不易对产品造成损害;完成清洗后,双向泵将气缸内气体抽至真空槽内,气缸高度恢复后,真空槽内压力恢复,产品可从治具上取下。
作为优选,所述吸盘上设有滑轨,所述滑轨上滑动设置有滑块,所述滑块通过活塞杆与活塞连接,所述滑块与活塞杆转动连接。
作为优选,所述吸盘上设有第一通孔,所述第一通孔两端分别与真空槽和双向泵连通,所述气缸上设有第二通孔,所述第二通孔两端分别与气缸内其中一个腔体和双向泵连通。
作为优选,所述吸盘为石英构件。
作为优选,所述吸盘上设有排屑孔。
因此,本实用新型具有如下有益效果:(1)通过双向抽气在保证对产品稳定快速装夹的同时,能够使得产品和治具倾斜,方便高效清洗排屑,不易对产品造成损伤;(2)气缸活塞杆端部通过滑块与治具灵活连接,调节方便;(3)真空槽与气缸连接结构简单,加工方便;(4)通过设置排屑孔降低治具重量的同时进一步方便废屑的排放。
附图说明
图1是本实用新型的一种结构示意图。
图2是本实用新型倾斜状态下的一种结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本实用新型做进一步的描述。
如图1、图2所示的实施例中,一种半导体用石英平面磨削洗净治具,包括吸盘1、底座2、气缸3和双向泵4,吸盘1为石英构件,吸盘1中心设有排屑孔14,吸盘1上凸出设有用于吸附产品的环形真空槽11,吸盘1一端向下延伸形成支撑杆15,支撑杆15底端与底座2通过转轴21转动连接,吸盘1底部横向延伸设有滑轨12。底座2上远离转轴21的一端设有气缸3,气缸竖直设置,底部与底座固定连接,气缸3内设有活塞31,活塞31将气缸3分隔为上下两个腔体,活塞31向上延伸形成活塞杆311,活塞杆311顶部转动连接有滑块32,滑块32滑动设置在滑轨12上。吸盘1上设有第一通孔13,第一通孔13一端与真空槽11底部侧壁连通,另一端通过第一气管41和双向泵4连通,气缸3上设有第二通孔33,第二通孔33一端与气缸3上方腔体连通,另一端通过第二气管42与双向泵4连通。
将磨削完成后的产品放置在吸盘1上,使其覆盖住真空槽11,打开双向泵通过第一气管41将真空槽的气体抽出,再通过第二气管42抽至气缸上方的腔体内,吸盘真空槽内形成负压,将石英产品吸附在吸盘上,同时气缸上方腔体膨胀,活塞下推将吸盘一端下拉,活塞杆311带动滑块32转动并沿滑轨12移动,吸盘另一端沿底座转动,吸盘向下倾斜,此时对产品进行清洗,产品在保持稳固装夹的同时,倾斜的水流可快速带走治具上的废屑,部分废屑可以通过排屑孔14排出,无需过高压力的冲洗,不易对产品造成损害;完成清洗后,双向泵反向抽气,将气缸内气体抽至真空槽内,气缸高度上升恢复原有高度后,真空槽内压力恢复,产品可从治具上取下。
最后应说明的是:以上仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种半导体用石英平面磨削洗净治具,其特征是,包括吸盘(1)和底座(2),所述吸盘(1)上设有用于吸附产品的真空槽(11),所述吸盘(1)一端与底座(2)转动连接,所述底座(2)上设有气缸(3),所述气缸(3)内设有活塞(31),所述活塞(31)将气缸(3)分隔为两个腔体,所述活塞(31)一端向气缸(3)外延伸并与吸盘(1)另一端活动连接,还包括双向泵(4),所述双向泵(4)分别与真空槽(11)和气缸(3)其中一个腔体连通。
2.根据权利要求1所述的一种半导体用石英平面磨削洗净治具,其特征是,所述吸盘(1)上设有滑轨(12),所述滑轨(12)上滑动设置有滑块(32),所述滑块(32)通过活塞杆(311)与活塞(31)连接,所述滑块(32)与活塞杆(311)转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体用石英平面磨削洗净治具,其特征是,所述吸盘(1)上设有第一通孔(13),所述第一通孔(13)两端分别与真空槽(11)和双向泵(4)连通,所述气缸(3)上设有第二通孔(33),所述第二通孔(33)两端分别与气缸(3)内其中一个腔体和双向泵(4)连通。
4.根据权利要求1所述的一种半导体用石英平面磨削洗净治具,其特征是,所述吸盘(1)为石英构件。
5.根据权利要求1所述的一种半导体用石英平面磨削洗净治具,其特征是,所述吸盘(1)上设有排屑孔(14)。
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