CN217786351U - 一种可调节测温装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及机械技术领域。一种可调节测温装置，包括用于安装红外测温仪的支架，还包括安装在炉顶部的固定板；还包括一可前后滑动以及左右滑动的二维直线滑台机构，二维直线滑台机构安装在固定板上，二维直线滑台机构的滑台上安装有手动旋转调节机构；手动旋转调节机构包括固定座，固定座通过转轴与支架旋转连接；支架上开设有定位柱的穿孔；固定座上开设有引导定位柱运动的弧形导向槽；定位柱上连接有锁紧支架与固定座的把手。本实用新型通过二维直线滑台机构实现了红外测温仪的二维调节，通过支架与固定座的摆动，实现了红外侧温仪的摆动。实现测温仪光轴的位置调整。相对于传统固定的形式，大大的扩展了可测温的区域范围。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及适用于石墨坩埚热场温度监测的测温装置。
背景技术
PVT法(中文名为物理气相传输法)碳化硅长晶炉是生产优质半导体用碳化硅材料的常用设备，该生晶方法的实现过程是将碳化硅粉末源置于石墨坩埚内，碳化硅籽晶粘接在石墨坩埚盖内侧，坩埚及坩埚盖包覆保温层放置于真空腔内。坩埚受高频电磁场作用产生涡流自发热至2150°以上，坩埚内从上至下形成温度梯度，碳化硅粉末源受高温影响升华向上传输，在顶部低温区遇到碳化硅籽晶形成结晶，从而实现碳化硅晶体生长。在该过程中，石墨坩埚及保温层组成的热场温度是保证碳化硅晶体能否有效生晶、生晶效率以及最终晶体品质的最重要参数。因此，有效且准确的监控热场实际温度变得尤为重要。
PVT法碳化硅长晶炉测温方式是采用红外测温仪通过炉顶的测温窗来实现的，红外测温仪固定在炉顶的固定架上，每次进上料完成后由于坩埚位置重置，测温仪都需重新调整位置，以尽量测取坩埚盖的最高温度点，但由于装配过程等累计误差影响，测温仪光轴与测温窗口轴线存在一定夹角，该夹角的存在使得快速准确查找坩埚盖中心点(最高温度点)变得困难。影响温度监控效率及精度。
综上，传统的固定设置的红外测温仪，无旋转调节功能，测温轴与测温窗轴线不一致时，难以根据需求调节测温点的位置。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种可调节测温装置，已解决上述至少一个技术问题。
本实用新型的技术方案是：一种可调节测温装置，包括用于安装红外测温仪的支架，其特征在于，还包括安装在炉顶部的固定板；
还包括一可前后滑动以及左右滑动的二维直线滑台机构，所述二维直线滑台机构安装在所述固定板上，所述二维直线滑台机构的滑台上安装有手动旋转调节机构；
所述手动旋转调节机构包括固定座，所述固定座通过转轴与所述支架旋转连接；
所述支架上开设有定位柱的穿孔；
所述固定座上开设有引导定位柱运动的弧形导向槽；
所述定位柱上连接有锁紧所述支架与所述固定座的把手。
本实用新型通过二维直线滑台机构实现了红外测温仪的二维调节，通过支架与固定座的摆动，实现了红外侧温仪的摆动。实现测温仪光轴的位置调整。相对于传统固定的形式，大大的扩展了可测温的区域范围。通过把手，便于手动锁紧与放松的切换。
进一步优选的，所述固定座包括竖直设置的竖板以及水平设置的横板，所述竖板上开设有所述弧形导向槽；
所述横板与所述二维直线滑台机构的滑台可拆卸连接。
进一步优选的，所述支架包括竖直设置的纵向板以及水平设置的横向板，所述横向板上安装有所述红外测温仪；
所述纵向板上开设有所述穿孔。
进一步优选的，所述横向板上开设有穿过所述红外测温仪的通孔；
所述红外测温仪通过锁紧螺母夹持固定在所述横向板上。
进一步优选的，所述支架上焊接有螺母；
所述定位柱与所述螺母螺纹连接，所述定位柱与所述把手可拆卸连接。
便于通过把手的运动，带动定位柱与螺母的锁紧与旋松的调整。
进一步优选的，所述二维直线滑台机构包括第一滑动台以及第二滑动台；
所述第一滑动台与所述固定板滑动连接，并通过第一锁紧螺钉锁定；
所述第二滑动台与所述第一滑动台滑动连接，并通过第二锁紧螺钉锁定；
所述第二滑动台上安装有所述固定座。
便于实现二维调节。
进一步优选的，所述固定板上通过轴承转动连接有第一丝杆，所述第一丝杆的端部连接有第一旋转把手，所述第一丝杆与第一滑动台螺纹连接；
所述第一滑动台通过轴承转动连接有第二丝杆，所述第二丝杆的端部连接有第二旋转把手，所述第二丝杆与所述第二滑动台螺纹连接；
所述第一丝杆与所述第二丝杆的长度方向相互垂直。
便于实现二维手动调节。
附图说明
图1为本实用新型具体实施例1一种结构示意图；
图2为本实用新型具体实施例1手动旋转调节机构的一种结构示意图；
图3为本实用新型具体实施例1手动旋转调节机构的一种俯视图；
图4为本实用新型具体实施例1二维直线滑台机构的俯视图。
图中：1为红外测温仪，2为手动旋转调节机构，3为二维直线滑台机构，4为固定板，5 为立柱，6为观察窗，7为红外光，8为籽晶，9为石墨坩埚，10为粉末源，11为真空腔，12 为固定座，13为支架，14为把手，31为第一滑动台，32为第二滑动台。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1至图4，具体实施例1，一种可调节测温装置，包括用于安装红外测温仪1的支架13，还包括安装在炉顶部的固定板4；还包括一可前后滑动以及左右滑动的二维直线滑台机构3，二维直线滑台机构3安装在固定板4上，二维直线滑台机构33的滑台上安装有手动旋转调节机构2；手动旋转调节机构2包括固定座12，固定座12通过转轴与支架13旋转连接；支架13上开设有定位柱的穿孔；固定座12上开设有引导定位柱运动的弧形导向槽；定位柱上连接有锁紧支架13与固定座12的把手14。本实用新型通过二维直线滑台机构3实现了红外测温仪的二维调节，通过支架13与固定座12的摆动，实现了红外侧温仪的摆动。实现测温仪光轴的位置调整。相对于传统固定的形式，大大的扩展了可测温的区域范围。通过把手，便于手动锁紧与放松的切换。
固定座12包括竖直设置的竖板以及水平设置的横板，竖板上开设有弧形导向槽；横板与二维直线滑台机构3的滑台可拆卸连接。支架13包括竖直设置的纵向板以及水平设置的横向板，横向板上安装有红外测温仪；纵向板上开设有穿孔。横向板上开设有穿过红外测温仪的通孔；红外测温仪通过锁紧螺母夹持固定在横向板上。支架13上焊接有螺母；定位柱与螺母螺纹连接，定位柱与把手可拆卸连接。便于通过把手的运动，带动定位柱与螺母的锁紧与旋松的调整。定位柱也可以与把手固定连接。或者，定位柱通过螺钉与把手可拆卸连接。
二维直线滑台机构33包括第一滑动台以及第二滑动台；第一滑动台与固定板4滑动连接，并通过第一锁紧螺钉锁定。第一滑动台与固定板可以通过相互匹配的滑槽与滑块滑动连接。或者，第一滑动台与固定板通过相互匹配的导向杆与导向孔滑动连接。第二滑动台32与第一滑动台31滑动连接，并通过第二锁紧螺钉锁定。第一滑动台与第二滑动台通过相互匹配的滑槽与滑块滑动连接。或者，第一滑动台与第二滑动台通过相互匹配的导向杆与导向孔滑动连接。第二滑动台32上安装有固定座12。便于实现二维调节。固定板4上通过轴承转动连接有第一丝杆，第一丝杆的端部连接有第一旋转把手，第一丝杆与第一滑动台31螺纹连接；第一滑动台31通过轴承转动连接有第二丝杆，第二丝杆的端部连接有第二旋转把手，第二丝杆与第二滑动台32螺纹连接；第一丝杆与第二丝杆的长度方向相互垂直。便于实现二维手动调节。第一丝杆位于第一滑动台的下侧。第一滑动台的下侧设有螺纹连接第一丝杆的螺母。第二丝杆位于第二滑动台的下侧。第二滑动台的下侧设有螺纹连接第二丝杆的螺母。
固定板上设有用于标识第一滑动台移动距离的刻度线。第一滑动台上设有用于标识第二滑动台移动距离的刻度线。
固定板4连接有竖直设置的立柱5。立柱5安装在炉盖上。立柱可以是伸缩杆。
粉末源10置于石墨坩埚9内，籽晶8粘接在石墨坩埚9的盖内侧，坩埚及坩埚盖包覆保温层放置于真空腔11内。真空腔的顶部设有炉盖，炉盖上安装有观察窗6。使用时，红外测温仪1的红外光7通过观察窗6，测定石墨坩埚9顶部的温度。通过把手14的松紧程度并转动支架13的角度，达到测温仪光轴角度调节的目的；通过调节二维直线滑台机构3的前后、左右方向的调节，达到测温仪水平面内位移的目的。调节可在长晶过程任意时间点进行，方便改变测量点位置，使测量更精确的追踪到坩埚顶部的最高温度点，提高调节效率及精度，更准确的测量坩埚实际温度，提高了长晶过程的工艺控制及监控精度。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种可调节测温装置，包括用于安装红外测温仪的支架，其特征在于，还包括安装在炉顶部的固定板；
还包括一可前后滑动以及左右滑动的二维直线滑台机构，所述二维直线滑台机构安装在所述固定板上，所述二维直线滑台机构的滑台上安装有手动旋转调节机构；
所述手动旋转调节机构包括固定座，所述固定座通过转轴与所述支架旋转连接；
所述支架上开设有定位柱的穿孔；
所述固定座上开设有引导定位柱运动的弧形导向槽；
所述定位柱上连接有锁紧所述支架与所述固定座的把手。
2.根据权利要求1所述的一种可调节测温装置，其特征在于：所述固定座包括竖直设置的竖板以及水平设置的横板，所述竖板上开设有所述弧形导向槽；
所述横板与所述二维直线滑台机构的滑台可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的一种可调节测温装置，其特征在于：所述支架包括竖直设置的纵向板以及水平设置的横向板，所述横向板上安装有所述红外测温仪；
所述纵向板上开设有所述穿孔。
4.根据权利要求3所述的一种可调节测温装置，其特征在于：所述横向板上开设有穿过所述红外测温仪的通孔；
所述红外测温仪通过锁紧螺母夹持固定在所述横向板上。
5.根据权利要求1所述的一种可调节测温装置，其特征在于：所述支架上焊接有螺母；
所述定位柱与所述螺母螺纹连接，所述定位柱与所述把手可拆卸连接。
6.根据权利要求1所述的一种可调节测温装置，其特征在于：所述二维直线滑台机构包括第一滑动台以及第二滑动台；
所述第一滑动台与所述固定板滑动连接，并通过第一锁紧螺钉锁定；
所述第二滑动台与所述第一滑动台滑动连接，并通过第二锁紧螺钉锁定；
所述第二滑动台上安装有所述固定座。
7.根据权利要求6所述的一种可调节测温装置，其特征在于：所述固定板上通过轴承转动连接有第一丝杆，所述第一丝杆的端部连接有第一旋转把手，所述第一丝杆与第一滑动台螺纹连接；
所述第一滑动台通过轴承转动连接有第二丝杆，所述第二丝杆的端部连接有第二旋转把手，所述第二丝杆与所述第二滑动台螺纹连接；
所述第一丝杆与所述第二丝杆的长度方向相互垂直。
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| CN202221384736.XU CN217786351U (zh) | 2022-06-06 | 2022-06-06 | 一种可调节测温装置 |
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| CN202221384736.XU Active CN217786351U (zh) | 2022-06-06 | 2022-06-06 | 一种可调节测温装置 |
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