CN209570109U - 一种可移动调节的晶体测距检验装置 - Google Patents
一种可移动调节的晶体测距检验装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209570109U CN209570109U CN201920365505.6U CN201920365505U CN209570109U CN 209570109 U CN209570109 U CN 209570109U CN 201920365505 U CN201920365505 U CN 201920365505U CN 209570109 U CN209570109 U CN 209570109U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ranging
- swingle
- rod
- crystal
- verifying attachment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种可移动调节的晶体测距检验装置,属于半导体加工领域;所要解决的技术问题是提供了一种结构简单,操作方便,测量准确,精度可靠,满足后续需求的可移动调节的晶体测距检验装置;解决该技术问题采用的技术方案为:一种可移动调节的晶体测距检验装置,包括底座,底座上设置有切割板,切割板上设置有可滑动的U型座,U型座上方设置有支撑板,支撑板与U型座相互垂直,支撑板上设置有旋转杆,旋转杆与底座相互平行,旋转杆一端与支撑板相连,另一端设置有测距控制杆,测距控制杆与旋转杆相互垂直,测距控制杆一端与旋转杆相连,另一端设置有测距表;本实用新型可广泛应用于半导体加工领域。
Description
技术领域
本实用新型一种可移动调节的晶体测距检验装置,属于半导体加工技术领域。
背景技术
目前半导体及泛半导体材料被广泛的应用在工业、国防、科研、民用等领域,越来越多的被用在固体激光、红外窗口、半导体衬底片、发光二极管衬底片、精密耐磨轴承、3G手机面板、高档手表表面等诸多产品中,半导体由晶锭加工为衬底必须经过切割工作,目前,在切割中最多使用的是线切割,在进行线切割前必须将晶体粘接在切割底板上,衬底的偏向角度就决定了后续的切割偏差,这一步工序非常的关键,目前,主要的粘结后检测方法有角尺测量、上机后打表、定向仪检测等方法,这些方法有的不准确,这种操作繁琐影响生产效率,有的不利于后续的调整。
实用新型内容
本实用新型克服了现有技术存在的不足,提供了一种结构简单,操作方便,测量准确,精度可靠,满足后续需求的可移动调节的晶体测距检验装置。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:一种可移动调节的晶体测距检验装置,包括底座,底座上设置有切割板,切割板上设置有可滑动的U型座,U型座上方设置有支撑板,支撑板与U型座相互垂直,支撑板上设置有旋转杆,旋转杆与底座相互平行,旋转杆一端与支撑板相连,另一端设置有测距控制杆,测距控制杆与旋转杆相互垂直,测距控制杆一端与旋转杆相连,另一端设置有测距表。
所述的支撑板在支撑板与旋转杆相连的位置设置有轴承座,所述的轴承座内设置有轴承,所述的轴承与轴承座之间通过卡簧固定,所述的旋转杆设置在轴承中。
所述的测距控制杆为方形杆,所述的旋转杆在旋转杆与测距控制杆相连处设置有方孔,所述的测距控制杆通过方孔与旋转杆固定相连。
所述的测距表为千分表或百分表。
所述的U型座一侧设置有固定螺钉。
所述的轴承座外圈上均布有4个刻度。
所述的测距控制杆上设置有刻度。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果:切割板上设置U型滑动座,通过滑动座在切割板上来回移动,可以方便的对不同厚度的晶体进行测量,确定不同的偏差,操作简单,使用方便,测量准确,测量效率高。
附图说明
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为图1的侧视图。
图中1为底座、2为切割板、3为U型座、4为支撑板、5为旋转杆、6为测距控制杆、7为测距表、8为晶体、9为轴承。
具体实施方式
如图1、图2所示,本实用新型一种可移动调节的晶体测距检验装置,包括底座1,底座1上设置有切割板2,切割板2上设置有可滑动的U型座3,U型座3上方设置有支撑板4,支撑板4与U型座3相互垂直,支撑板4上设置有旋转杆5,旋转杆5与底座1相互平行,旋转杆5一端与支撑板4相连,另一端设置有测距控制杆6,测距控制杆6与旋转杆5相互垂直,测距控制杆6一端与旋转杆4相连,另一端设置有测距表7,支撑板4在支撑板4与旋转杆5相连的位置设置有轴承座,所述的轴承座内设置有轴承9,所述的轴承9与轴承座之间通过卡簧固定,所述的旋转杆5设置在轴承9中,测距控制杆6为方形杆,所述的旋转杆5在旋转杆5与测距控制杆6相连处设置有方孔,所述的测距控制杆6通过方孔与旋转杆5固定相连,测距表7为千分表或百分表,U型座3一侧设置有固定螺钉,轴承座外圈上均布有4个刻度,测距控制杆6上设置有刻度。
本实用新型在使用时,将粘接有晶体的切割板放置在底座上,找到适合的距离,然后调整前后位置,将U型座紧固在切割板上,圆柱形旋转杆底部固定在支撑板上部的轴承中,旋转杆前部设置测距控制杆,测距控制杆前部设置有测距表,测距表为千分表或百分表,将表针接触晶体基准面,根据晶体尺寸调整测距杆长度,旋转测距控制杆至表盘指针指向水平刻度,清零测距表,然后旋转测距控制杆测量另一个水平刻度位置和两个竖直位置,分别记录测试数据,然后根据测量数据判断晶体横纵偏角方向,利用正弦公式计算出横纵偏向角度,根据算出的偏向角度、偏向方向,调整多线切割机工作,进行角度补偿,测量准确度高,使用简单,方便。
本实用新型的底座可以是普通底座,也可以是磁吸附底座或其他底座。
上面结合附图对本实用新型的实施例作了详细说明,但是本实用新型并不限于上述实施例,在本领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (7)
1.一种可移动调节的晶体测距检验装置,其特征在于:包括底座(1),底座(1)上设置有切割板(2),切割板(2)上设置有可滑动的U型座(3),U型座(3)上方设置有支撑板(4),支撑板(4)与U型座(3)相互垂直,支撑板(4)上设置有旋转杆(5),旋转杆(5)与底座(1)相互平行,旋转杆(5)一端与支撑板(4)相连,另一端设置有测距控制杆(6),测距控制杆(6)与旋转杆(5)相互垂直,测距控制杆(6)一端与旋转杆(5)相连,另一端设置有测距表(7)。
2.根据权利要求1所述的一种可移动调节的晶体测距检验装置,其特征在于:所述的支撑板(4)在支撑板(4)与旋转杆(5)相连的位置设置有轴承座,所述的轴承座内设置有轴承(9),所述的轴承(9)与轴承座之间通过卡簧固定,所述的旋转杆(5)设置在轴承(9)中。
3.根据权利要求1所述的一种可移动调节的晶体测距检验装置,其特征在于:所述的测距控制杆(6)为方形杆,所述的旋转杆(5)在旋转杆(5)与测距控制杆(6)相连处设置有方孔,所述的测距控制杆(6)通过方孔与旋转杆(5)固定相连。
4.根据权利要求1所述的一种可移动调节的晶体测距检验装置,其特征在于:所述的测距表(7)为千分表或百分表。
5.根据权利要求1所述的一种可移动调节的晶体测距检验装置,其特征在于:所述的U型座(3)一侧设置有固定螺钉。
6.根据权利要求2所述的一种可移动调节的晶体测距检验装置,其特征在于:所述的轴承座外圈上均布有4个刻度。
7.根据权利要求1所述的一种可移动调节的晶体测距检验装置,其特征在于:所述的测距控制杆(6)上设置有刻度。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920365505.6U CN209570109U (zh) | 2019-03-21 | 2019-03-21 | 一种可移动调节的晶体测距检验装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920365505.6U CN209570109U (zh) | 2019-03-21 | 2019-03-21 | 一种可移动调节的晶体测距检验装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN209570109U true CN209570109U (zh) | 2019-11-01 |
Family
ID=68335478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201920365505.6U Active CN209570109U (zh) | 2019-03-21 | 2019-03-21 | 一种可移动调节的晶体测距检验装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN209570109U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110006309A (zh) * | 2019-03-21 | 2019-07-12 | 山西烁科晶体有限公司 | 可移动调节的晶体测距检验装置 |
CN113427650A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-24 | 西北工业大学 | 一种定向凝固合金单晶取向测定及籽晶切割的方法 |
-
2019
- 2019-03-21 CN CN201920365505.6U patent/CN209570109U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110006309A (zh) * | 2019-03-21 | 2019-07-12 | 山西烁科晶体有限公司 | 可移动调节的晶体测距检验装置 |
CN113427650A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-24 | 西北工业大学 | 一种定向凝固合金单晶取向测定及籽晶切割的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN209570109U (zh) | 一种可移动调节的晶体测距检验装置 | |
CN106908199B (zh) | 大质偏工件质心高精度测量装置 | |
CN204100955U (zh) | 一种多用途高度尺 | |
CN102506669B (zh) | 刀具角度测量仪 | |
CN201548181U (zh) | 高精密直线度检查仪 | |
CN202757568U (zh) | 锥齿轮内孔圆弧倒角深度量具 | |
CN208765680U (zh) | 一种直线度测量装置 | |
CN108240790A (zh) | 一种新型涡轮机叶片平面度快速测量方法 | |
CN206593571U (zh) | 一种外齿轮跨棒距检测装置 | |
CN201720739U (zh) | 轴承套圈测量工装 | |
CN110006309A (zh) | 可移动调节的晶体测距检验装置 | |
CN208736273U (zh) | 一种用于检测产品装配位置的测量支架 | |
CN108615546B (zh) | 一种测量齿轮齿根残余应力角度调节装置 | |
CN206869329U (zh) | 一种激光加工辅助测焦仪 | |
CN106145658B (zh) | 玻璃切割方法 | |
CN206944950U (zh) | 多轴联动的视觉、激光复合式非接触式测量装置 | |
CN210025870U (zh) | 一种多线切割机工作台校正装置 | |
CN102032857A (zh) | 径向垂直度检测台 | |
CN109986705A (zh) | 多线切割机工作台校正装置 | |
CN110360927B (zh) | 一种长大部件挠度快速测量装置及测量方法 | |
CN208833184U (zh) | 一种激光测厚治具 | |
CN201449235U (zh) | 一种crt玻锥定位块高度测量仪 | |
CN208108993U (zh) | 一种光学镜片检测用中心仪 | |
CN207751444U (zh) | 一种玻璃屏幕高度及平面度检测装置 | |
CN217058540U (zh) | 一种线纹钢直尺检定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |