CN102032857A - 径向垂直度检测台 - Google Patents

径向垂直度检测台 Download PDF

Info

Publication number
CN102032857A
CN102032857A CN 201010511924 CN201010511924A CN102032857A CN 102032857 A CN102032857 A CN 102032857A CN 201010511924 CN201010511924 CN 201010511924 CN 201010511924 A CN201010511924 A CN 201010511924A CN 102032857 A CN102032857 A CN 102032857A
Authority
CN
China
Prior art keywords
radial
verticality
column
base
detection platform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 201010511924
Other languages
English (en)
Other versions
CN102032857B (zh
Inventor
林玉往
杨阳
赵建兴
王永平
吴伟忠
常青
Original Assignee
YOUZE TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YOUZE TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical YOUZE TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201010511924XA priority Critical patent/CN102032857B/zh
Publication of CN102032857A publication Critical patent/CN102032857A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102032857B publication Critical patent/CN102032857B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

一种径向垂直度检测台，用于光伏行业检测单晶圆棒的径向垂直度，它由底板(10)、转盘(11)、带刻度尺(2-1)的立柱(2)、深度测量尺(7)和分度表(8)组成，立柱(2)的下端具有底座(1)，该底座(1)固定在底板(10)上，转盘(11)可旋转地支撑在底板(10)上，深度测量尺(7)和分度表(8)可移动地安装在立柱(2)上，且深度测量尺(7)位于分度表(8)的下方。本发明既能保证单晶圆棒垂直精度，又能保证单晶圆棒对中精度，同时不需要二次检测圆跳动。

Description

径向垂直度检测台
技术领域
本发明涉及一种径向垂直度检测台，用于光伏行业检测单晶圆棒的径向垂直度。
背景技术
目前现在大部分光伏企业对质量要求提高又上了新的一个台阶，电池片企业对硅片制造的要求提高，处理不良品硅片也由之前的全部接受降至崩边和边长偏小的一类，对产生的未滚磨片一概不予接受，未滚磨和偏心的产生有两种来源：一是圆棒粘接过程中的偏心，由于现在粘接工装缺乏检测手段，所以粘好后就直接上机切割；二是线开过程中产生，由于设备是进口，所以程序和操作的失误有时会带来影响。
圆棒粘接是硅片制造车间的第一道工序，硅片的成品率提高必须从该岗位抓起，现在各光伏企业都是通过线开方来出方棒；所以将圆棒粘接到晶托上，保证圆棒粘接精度是第一要素，圆棒粘接好后现在是通过单向百分表检测圆跳动，所以对偏心和倾斜的晶棒无法保证对中精度，从而影响方棒收率。
发明内容
本发明的目的提供一种既能保证单晶圆棒垂直精度，又能保证单晶圆棒对中精度，同时不需要二次检测圆跳动的径向垂直度检测台。
实现上述目的的技术方案是：一种径向垂直度检测台，由底板、转盘、带刻度尺的立柱、深度测量尺和分度表组成，立柱的下端具有底座，该底座固定在底板上，转盘可旋转地支撑在底板上，深度测量尺和分度表可移动地安装在立柱上，且深度测量尺位于分度表的下方。
采用上述技术方案后，首先将粘接好的单晶圆棒连同晶托放入转动盘内，调节深度测量尺位置，测量凹凸部位四个径向线的距离，看是否一致，以判断单晶圆棒倾斜度，用移动分度表从上之下测量多点处跳动，以判断单晶圆棒垂直倾斜的范围，这样便于控制未滚磨的位置，以便及时调整和判断，因而采用本发明的径向垂直度检测台既能保证单晶圆棒垂直精度，又能保证单晶圆棒对中精度，同时不需要二次检测圆跳动，可以减少不良品产生的几率。
附图说明
图1为本发明的装配结构示意图；
图2本发明的立柱部位的立体结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。
如图1、2所示，一种径向垂直度检测台，由底板10、转盘11、带刻度尺2-1的立柱2、深度测量尺7和分度表8组成，立柱2的下端具有底座1，该底座1通过其四个定位孔固定在底板10上，转盘11通过轴承可旋转地支撑在底板10上，深度测量尺7通过移动套3可移动地安装在立柱2上，深度测量尺7通过内六角螺栓9固定在移动套3上，移动套3套装在立柱2上，分度表8通过表架移动套4可移动地安装在立柱2上，分度表8的表杆6通过压板5固定在表架移动套4上，表架移动套4套装在立柱2上，深度测量尺7位于分度表8的下方。
分度表8可以采用百分表，也可以采用千分表。
本发明的工作原理如下：
首先将粘接好的单晶圆棒13连同晶托12放入转盘11内，调节深度测量尺7位置，测量凹凸部位四个径向线的距离，看是否一致，以判断单晶圆棒13倾斜度，用移动分度表8从上之下测量多点处跳动，以判断单晶圆棒垂直倾斜的范围，这样便于控制未滚磨的位置，以便及时调整和判断。

Claims (2)

1.一种径向垂直度检测台，其特征在于：它由底板(10)、转盘(11)、带刻度尺(2-1)的立柱(2)、深度测量尺(7)和分度表(8)组成，立柱(2)的下端具有底座(1)，该底座(1)固定在底板(10)上，转盘(11)可旋转地支撑在底板(10)上，深度测量尺(7)和分度表(8)可移动地安装在立柱(2)上，且深度测量尺(7)位于分度表(8)的下方。
2.根据权利要求1所述的径向垂直度检测台，其特征在于：所述的分度表(8)为百分表或千分表。
CN201010511924XA 2010-10-20 2010-10-20 单晶圆棒的径向垂直度检测台 Expired - Fee Related CN102032857B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010511924XA CN102032857B (zh) 2010-10-20 2010-10-20 单晶圆棒的径向垂直度检测台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010511924XA CN102032857B (zh) 2010-10-20 2010-10-20 单晶圆棒的径向垂直度检测台

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102032857A true CN102032857A (zh) 2011-04-27
CN102032857B CN102032857B (zh) 2012-11-14

Family

ID=43886069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201010511924XA Expired - Fee Related CN102032857B (zh) 2010-10-20 2010-10-20 单晶圆棒的径向垂直度检测台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102032857B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106425587A (zh) * 2016-12-09 2017-02-22 无锡银联齿轮传动机械有限公司 铣刀盘快速中心导正装置
CN106643435A (zh) * 2016-12-25 2017-05-10 重庆市骞焰机械有限责任公司 平衡轴的检测装置
CN108407115A (zh) * 2018-01-18 2018-08-17 浙江晶盛机电股份有限公司 一种用于单晶硅棒的对中检测机构及检测方法
CN108414029A (zh) * 2018-05-25 2018-08-17 中冶建工集团有限公司 墙柱垂直度、平整度、水平度检测尺及其检测方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5133135A (en) * 1990-12-28 1992-07-28 Susan M. Durfee Angle gauge
JPH07332962A (ja) * 1994-06-07 1995-12-22 Kuroda Precision Ind Ltd 平面度測定装置
CN2589931Y (zh) * 2002-12-29 2003-12-03 太原双塔刚玉股份有限公司 检测垂直度的量具
CN2638025Y (zh) * 2003-06-28 2004-09-01 东风汽车公司 滑套式示值垂直度测量仪
CN200968859Y (zh) * 2006-11-11 2007-10-31 安徽华茂纺织股份有限公司 垂直度检查仪
CN201229161Y (zh) * 2008-07-28 2009-04-29 潍坊盛瑞动力机械科技有限公司 平面对螺栓孔垂直度检测装置
CN101545751A (zh) * 2008-03-25 2009-09-30 力帆实业(集团)股份有限公司 一种垂直度测具及其测量方法
CN201811707U (zh) * 2010-10-20 2011-04-27 常州有则科技有限公司 径向垂直度检测台

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5133135A (en) * 1990-12-28 1992-07-28 Susan M. Durfee Angle gauge
JPH07332962A (ja) * 1994-06-07 1995-12-22 Kuroda Precision Ind Ltd 平面度測定装置
CN2589931Y (zh) * 2002-12-29 2003-12-03 太原双塔刚玉股份有限公司 检测垂直度的量具
CN2638025Y (zh) * 2003-06-28 2004-09-01 东风汽车公司 滑套式示值垂直度测量仪
CN200968859Y (zh) * 2006-11-11 2007-10-31 安徽华茂纺织股份有限公司 垂直度检查仪
CN101545751A (zh) * 2008-03-25 2009-09-30 力帆实业(集团)股份有限公司 一种垂直度测具及其测量方法
CN201229161Y (zh) * 2008-07-28 2009-04-29 潍坊盛瑞动力机械科技有限公司 平面对螺栓孔垂直度检测装置
CN201811707U (zh) * 2010-10-20 2011-04-27 常州有则科技有限公司 径向垂直度检测台

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106425587A (zh) * 2016-12-09 2017-02-22 无锡银联齿轮传动机械有限公司 铣刀盘快速中心导正装置
CN106643435A (zh) * 2016-12-25 2017-05-10 重庆市骞焰机械有限责任公司 平衡轴的检测装置
CN108407115A (zh) * 2018-01-18 2018-08-17 浙江晶盛机电股份有限公司 一种用于单晶硅棒的对中检测机构及检测方法
CN108407115B (zh) * 2018-01-18 2024-04-16 浙江晶盛机电股份有限公司 一种用于单晶硅棒的对中检测机构及检测方法
CN108414029A (zh) * 2018-05-25 2018-08-17 中冶建工集团有限公司 墙柱垂直度、平整度、水平度检测尺及其检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102032857B (zh) 2012-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102175207B (zh) 一种基于反向和多传感器法结合的高精度圆度检测方法
CN102032857B (zh) 单晶圆棒的径向垂直度检测台
CN100509226C (zh) 转台框架精加工方法
CN205228343U (zh) 一种可同时测量轴承内/外滚道套圈尺寸及角度的仪器
CN203298723U (zh) 绝缘子形位公差组合检验工装
CN208704692U (zh) 一种晶圆抽检器
CN102735191A (zh) 一种蜂窝陶瓷垂直度测定装置
CN107883964B (zh) 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法
CN201811707U (zh) 径向垂直度检测台
CN203981133U (zh) 一种单激光单psd储存式深孔直线度检测装置
CN108287523A (zh) 一种带外支架立式机床几何精度检测方法
CN206772165U (zh) 一种测量飞轮内孔跳动量的检具
CN102494600B (zh) 高速加工刀柄多尺寸测量装置
CN202511748U (zh) 一种同心度检具
CN101886920B (zh) 一种电机后端盖检测工装
CN103776354A (zh) 同心检测仪
CN205014972U (zh) 传感器安装调整装置
CN210242661U (zh) 一种梅花片孔径检测装置
CN204177315U (zh) 一种分离杯杯底焊接高度检测装置
CN203956635U (zh) 一种水平检测装置
CN102519343B (zh) 蓄电池支架检具
CN202066477U (zh) 法兰定位用激光测量靶座
CN203298686U (zh) 检测轴类件深孔壁厚差的检具
CN202947672U (zh) 偏心距检具
CN103353272B (zh) 斜齿轮相对位置角度的测量工具及其测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee
CP03 Change of name, title or address

Address after: 213031 No. 66 science Avenue, Xinbei District, Jiangsu, Changzhou

Patentee after: Youze Technology Co., Ltd.

Address before: 213022 No. 18, Leshan Road, Xinbei District, Jiangsu, Changzhou

Patentee before: Youze Technology Co., Ltd.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20121114

Termination date: 20201020