CN217785353U - 温控设备 - Google Patents

Abstract

一种温控设备，包含设备主体、送风系统、湿控系统，及外气洁净系统。所述设备主体包括温控箱、入风口与出风口，及进气口与排气口。所述送风系统设置于所述温控箱内，并包括设置于所述入风口与所述出风口间的风道，及可驱使气体从所述入风口送出所述出风口的风机。所述湿控系统设置于所述温控箱内，且用于调节所述风道内的所述气体的湿度。所述外气洁净系统包括至少一用于过滤由所述进气口进入所述温控箱的外气的滤网，所述温控箱内的所述外气从所述排气口排出。所述外气洁净系统能确保进入所述温控箱内的所述外气洁净，不会污染损坏所述送风系统与所述湿控系统，所以可延长使用寿命。

Description

温控设备

技术领域

本实用新型涉及一种温控设备，特别是涉及一种适用于半导体制程的温控设备。

背景技术

随着半导体制程技术的精进，对于送入生产制程及检测设备中的气体质量要求也越来越高，除了需要控制所述气体的洁净度以外，有的还需要控制所述气体的温度及湿度，此时即须安装一温控设备，用于供给经过精密控温、控湿的所述气体。所述温控设备包含一中空的设备主体、一设置于所述设备主体内且用于供气给所述生产制程及检测设备的送风系统，及一设置于所述设备主体内且用于调节所述气体湿度的湿控系统。

由于所述温控设备运作时，所述送风系统及所述湿控系统会产生热量，进而导致所述温控设备的运转效能受到影响，所以一般会在所述设备主体上设置一进气口与一排气口，可供一外气进出所述设备主体，使所述送风系统及所述湿控系统冷却降温，以维护设备效能。但因所述进气口并未设有任何过滤构件，所以当所述温控设备所处环境的微尘颗粒过高时，容易随着所述外气进入所述设备主体内污染内部构造，此外，所述送风系统的一风道盘管及所述湿控系统的一管路，通常使用铜材制作，所以当进入所述设备主体内的所述外气携带有酸、碱或有机物时，将会导致所述铜材构件发生腐蚀，造成设备损坏，无法提供所需的精密控温、控湿条件，缩短使用寿命。因此现有的所述温控设备设计仍有待改善。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的温控设备。

本实用新型的温控设备，包含设备主体、送风系统、湿控系统，及外气洁净系统。所述设备主体包括中空的温控箱、间隔设置于所述温控箱的入风口与出风口，及间隔设置于所述温控箱的进气口与排气口。所述送风系统设置于所述温控箱内，所述送风系统包括设置于所述入风口与所述出风口之间的风道，及安装于所述风道并能驱使气体从所述入风口送出所述出风口的风机。所述湿控系统设置于所述温控箱内，且用于调节所述风道内的所述气体的湿度。所述外气洁净系统包括用于过滤由所述进气口进入所述温控箱的外气的至少一滤网，所述温控箱内的所述外气从所述排气口排出。

本实用新型的温控设备，所述外气洁净系统的至少一滤网为化学滤网，能用于过滤所述外气中的酸、碱、有机物的其中至少一种物质。

本实用新型的温控设备，所述外气洁净系统的至少一滤网为微尘滤网，能用于过滤所述外气中的微尘颗粒。

本实用新型的温控设备，所述外气洁净系统的至少一滤网设置于所述进气口的内侧。

本实用新型的温控设备，所述外气洁净系统的至少一滤网设置于所述进气口的外侧。

本实用新型的温控设备，所述外气洁净系统还包括设置于所述进气口附近并能抽吸所述外气进入所述温控箱的抽风扇。

本实用新型的温控设备，所述外气洁净系统还包括设置于所述排气口附近并能将所述外气排出所述温控箱外的排风扇。

本实用新型的温控设备，所述湿控系统包括连通所述风道的除湿单元，及连通所述风道的加湿单元。

本实用新型的有益效果在于：所述温控设备通过所述外气洁净系统的设置，能过滤洁净进入所述温控箱内的所述外气，避免所述送风系统与所述湿控系统受到污染而损坏，可延长使用寿命。

附图说明

本实用新型的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是本实用新型温控设备的第一实施例的局部剖视示意图；

图2是所述第一实施例的不完整的局部剖视放大图；

图3是所述第一实施例的立体分解图，说明外气洁净系统的部分构造；

图4是本实用新型温控设备的第二实施例的不完整的局部剖视放大图。

具体实施方式

在本实用新型被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，相同的组件是以相同的编号来表示。

参阅图1、图2与图3，本实用新型温控设备的第一实施例，包含一设备主体1、一送风系统2、一湿控系统3，及一外气洁净系统4。

所述设备主体1包括一中空的温控箱11、间隔设置于所述温控箱11的一入风口12与一出风口13，及间隔设置于所述温控箱11的一进气口14与一排气口15。在本第一实施例中，所述入风口12设置于所述温控箱11的前侧，所述出风口13位置高于所述入风口12且设置于所述温控箱11的顶侧，所述进气口14设置于所述温控箱11的前侧且位于所述入风口12下方，所述排气口15位置高于所述进气口14且相对设置于所述温控箱11的另一侧，但实施上所述入风口12与所述出风口13的设置位置，所述进气口14与所述排气口15的设置位置，都可以改变，不受限于本第一实施例。

所述送风系统2设置于所述温控箱11内，可用于供气给一生产制程、检测设备(图未示)。所述送风系统2包括一设置于所述入风口12与所述出风口13间的风道21，及一安装于所述风道21上并可驱使一气体从所述入风口12送出所述出风口13的风机22。在本第一实施例中，所述风道21由所述入风口12弯折向上往所述出风口13的方向延伸，所述风机22是设置在所述风道21靠近所述出风口13的一侧，但实施上不以此为限。

所述湿控系统3设置于所述温控箱11内，且能用于调节所述风道21内的所述气体的湿度。所述湿控系统3包括一连通所述风道21且能减少所述气体湿度的除湿单元31，及一连通所述风道21且能增加所述气体湿度的加湿单元32。由于所述除湿单元31及所述加湿单元32都是一般现有技术，所以在此不再说明。

所述外气洁净系统4包括一设置于所述进气口14的进气网41、一设置于所述进气口14附近并能抽吸一外气进入所述温控箱11的抽风扇42、一用于过滤由所述进气口14进入所述温控箱11的所述外气的滤网43、一设置于所述排气口15的排气网44，及一设置于所述排气口15附近并能将所述外气排出所述温控箱11外的排风扇45。所述进气网41及所述排气网44的构造大致相同，可供所述外气进出并能用于阻挡大型外物例如但不限于蟑螂、蚊虫、纸屑等进入所述温控箱11。而所述抽风扇42安装在所述进气网41的内侧，所述排风扇45安装在所述排气网44的内侧，能用于电动强制抽气及排气，值得一提的是，在实施上也可以省略所述抽风扇42与所述排风扇45的其中之一，甚至是两个都省略设置，省略处能使用自然进气或/及自然出气。

本第一实施例的所述滤网43设置在所述进气口14的内侧，并安装在所述抽风扇42上，且所述滤网43为一化学滤网，能用于过滤所述外气中的酸、碱、有机物的其中至少一种物质，可为单效、双效、三效或多效的化学滤网，当然在其他实施态样中，所述滤网43也可以为一微尘滤网，能用于过滤所述外气中的微尘颗粒，而且所述滤网43可进行更换或取下再生使用，在此不再说明。要注意的是本实用新型的所述滤网43的数目不限于一个，依实际需求可以是两个或两个以上，例如所述外气洁净系统4可以包括两个所述滤网43，分别为一个化学滤网与一个微尘滤网，或是两个相同的化学滤网，或是两个不同属性、不同滤材型式或不同吸附能力的化学滤网，甚至可以另外搭配一高效过滤(HEPA)滤网或一超高效过滤(ULPA)滤网，能过滤不同微量化学成分或微粒粉尘。

所述温控设备使用时，启动所述送风系统2及所述湿控系统3，能将精密控温、控湿的所述气体供给所述生产制程、检测设备，而所述外气洁净系统4则能利用所述滤网43过滤由所述进气口14进入的所述外气，使得所述温控箱11内的所述外气洁净不含污染杂质，能与运转发热的所述送风系统2及所述湿控系统3进行热交换，使所述送风系统2及所述湿控系统3降温冷却，而不会对所述送风系统2及所述湿控系统3发生污染或腐蚀等损坏，以维护设备效能，而后携带热量的所述外气再从所述排气口15排出。

参阅图4，本实用新型温控设备的第二实施例的构造大致相同于所述第一实施例，其差别在于：所述外气洁净系统4的所述滤网43设置于所述进气口14的外侧。当然，在实施上还可以增加所述滤网43的数量，在所述进气口14的内侧及外侧都各设有至少一个所述滤网43，更能增加过滤净化效果，在此不再举例说明。

综上所述，本实用新型温控设备通过所述外气洁净系统4的设置，能利用所述至少一滤网43过滤洁净进入所述温控箱11内的所述外气，避免所述送风系统2与所述湿控系统3受到酸、碱、有机物或微尘颗粒等污染物的影响而损坏，可以维护设备效能，并延长使用寿命，所以确实能达成本实用新型的目的。

以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。

Claims (8)

1.一种温控设备，包含：设备主体、送风系统，及湿控系统，所述设备主体包括中空的温控箱、间隔设置于所述温控箱的入风口与出风口，及间隔设置于所述温控箱的进气口与排气口，所述送风系统设置于所述温控箱内，所述送风系统包括设置于所述入风口与所述出风口之间的风道，及安装于所述风道并能驱使气体从所述入风口送出所述出风口的风机，所述湿控系统设置于所述温控箱内，且用于调节所述风道内的所述气体的湿度；

其特征在于：所述温控设备还包含外气洁净系统，所述外气洁净系统包括用于过滤由所述进气口进入所述温控箱的外气的至少一滤网，所述温控箱内的所述外气从所述排气口排出。

2.根据权利要求1所述的温控设备，其特征在于：所述外气洁净系统的至少一滤网为化学滤网，能用于过滤所述外气中的酸、碱、有机物的其中至少一种物质。

3.根据权利要求1或2所述的温控设备，其特征在于：所述外气洁净系统的至少一滤网为微尘滤网，能用于过滤所述外气中的微尘颗粒。

4.根据权利要求1所述的温控设备，其特征在于：所述外气洁净系统的至少一滤网设置于所述进气口的内侧。

5.根据权利要求1或4所述的温控设备，其特征在于：所述外气洁净系统的至少一滤网设置于所述进气口的外侧。

6.根据权利要求1所述的温控设备，其特征在于：所述外气洁净系统还包括设置于所述进气口附近并能抽吸所述外气进入所述温控箱的抽风扇。

7.根据权利要求1或6所述的温控设备，其特征在于：所述外气洁净系统还包括设置于所述排气口附近并能将所述外气排出所述温控箱外的排风扇。

8.根据权利要求1所述的温控设备，其特征在于：所述湿控系统包括连通所述风道的除湿单元，及连通所述风道的加湿单元。

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