TWM633469U - 超潔淨控風系統 - Google Patents

Abstract

一種超潔淨控風系統，包含一製程設備、一抽風設備、一回風單元、一送風單元，及一過濾單元。該製程設備包括一供一氣體進入的進氣部，及一供該氣體排出的排氣部。該抽風設備包括一具有一入風口與一出風口的風道，及一設置於該風道且可驅使該氣體從該入風口吹向該出風口的風機。該回風單元連接於該排氣部與該入風口之間，且供該氣體由該排氣部流回該入風口。該送風單元連接於該出風口與該進氣部之間，且供該氣體由該出風口送入該進氣部。該過濾單元包括至少一設置於該抽風設備、該回風單元及該送風單元之其中至少一者的化學濾網。該超潔淨控風系統藉由該過濾單元的設置，確可提高整體潔淨度。

Description

超潔淨控風系統

本新型是有關於一種潔淨系統，特別是指一種適用於半導體製程的超潔淨控風系統。

隨著高端產品的品質要求越來越高，生產條件日益嚴格，一般生產製程、檢測設備等製程設備為了提高內部潔淨度，除了提高氣體循環次數以外，有的會選用一送風設備來提供較大的氣體風量，此外某些特別需要精密控溫、控濕的製程設備，還會選用一溫控設備來提供經過控溫、控濕的氣體，然而上述設備卻無法對該氣體中包含酸、鹼或有機物的化學物質進行濾除，此將導致產品品質不良，設備使用壽命縮短。

因此，本新型之目的，即在提供一種能夠克服先前技術的至少一個缺點的超潔淨控風系統。

於是，本新型超潔淨控風系統，包含一製程設備、一抽風設備、一回風單元、一送風單元，及一過濾單元。該製程設備包括一供一氣體進入的進氣部，及一供該氣體排出的排氣部。該抽風設備包括一具有一入風口與一出風口的風道，及一設置於該風道且可驅使該氣體從該入風口吹向該出風口的風機。該回風單元連接於該排氣部與該入風口之間，且供該氣體由該排氣部流回該入風口。該送風單元連接於該出風口與該進氣部之間，且供該氣體由該出風口送入該進氣部。該過濾單元包括至少一設置於該抽風設備、該回風單元及該送風單元之其中至少一者的化學濾網，該至少一化學濾網可用於過濾該氣體中之酸、鹼、有機物的其中至少一種物質。

本新型之功效在於：該超潔淨控風系統能藉由該過濾單元去除該氣體中的化學物質，可有效提高生產品質。

參閱圖1，本新型超潔淨控風系統之一實施例，包含一製程設備1、一抽風設備2、一回風單元3、一送風單元4，及一過濾單元5。

該製程設備1適用於進行生產、檢測等作業，並包括一供一氣體進入的進氣部11，及一供該氣體排出的排氣部12。在本實施例中該進氣部11設置於頂側，可具有至少一風機過濾機組111(Fan Filter Unit，FFU)，但由於該製程設備1之構造為一般現有技術並非本新型重點，故在此不再說明。

該抽風設備2包括一具有一入風口211與一出風口212的風道21，及一設置於該風道21且可驅使該氣體從該入風口211吹向該出風口212的風機22。本實施例之該抽風設備2為一溫控設備，可提供控溫、控濕之該氣體，所以該抽風設備2還包括能用於調節該風道21內之該氣體濕度的一除濕模組23及一加濕模組24，及一容裝該風道21、該風機22、該除濕模組23與該加濕模組24的設備本體25，該設備本體25還可具有散熱設計。當然該抽風設備2也可為一送風設備，僅包括該風道21及該風機22，單純用於供氣送風，故設計上不以本實施例為限。

該回風單元3連接於該製程設備1之該排氣部12與該抽風設備2之該入風口211間，且供該氣體由該排氣部12流回該入風口211。該回風單元3包括一設置於該排氣部12的抽風罩31，及一連接於該抽風罩31與該入風口211之間的回風管32。該回風管32僅與該入風口211的一部分對應連接，也就是該入風口211除了吸收由該回風單元3回收的該氣體，還能接收外界環境的氣體，當然在實施上該回風管32也可以對應連接整個該入風口211，使得該入風口211吸收的該氣體全部來自該排氣部12。

該送風單元4連接於該抽風設備2之該出風口212與該製程設備1之該進氣部11間，且供該氣體由該出風口212送入該進氣部11。該送風單元4包括一可以接觸或非接觸方式設置於該進氣部11的供氣模組41，及一連接於該出風口212與該供氣模組41之間的送風管42。

該過濾單元5包括至少一設置於該抽風設備2、該回風單元3及該送風單元4之其中至少一者的化學濾網51，在本實施例中該過濾單元5包括數個該化學濾網51，分別設置在該抽風設備2之該入風口211、該抽風設備2之該出風口212、該送風單元4之該送風管42、該送風單元4之該供氣模組41、該回風單元3之該抽風罩31，及該回風單元3之該回風管32中，要注意的是該等化學濾網51的數目及設置位置不限，在本實施例的其他變化態樣中也可以是一個、二個或二個以上，而且在同一構件或管路上也可以改變設置數量，例如僅一個單獨設置於該回風管32，或是僅一個單獨設置於該送風管42，或是僅二個分別設置於該回風管32及該送風管42，或是僅二個都設置於該送風管42中，在此不再分別舉例說明。該等化學濾網51可用於過濾該氣體中之酸、鹼、有機物的其中至少一種物質，可為單效、雙效、三效或多效的化學濾網51，實施上該等化學濾網51可以相同或不同，而且所述化學濾網51可進行更換或取下再生使用，在此不再說明。需說明的是，該過濾單元5還可以包括一設置於該入風口211外側的微塵濾網52，該微塵濾網52可用於過濾該氣體中之微塵顆粒。

使用時，啟動該風機22抽氣，驅使該製程設備1內的該氣體由該回風單元3吸入該入風口211，再從該出風口212經由該送風單元4送入該製程設備1，如此即能藉由該等化學濾網51過濾抽離該製程設備1的該氣體，並去除該氣體中殘留的化學物質，再將潔淨後的該氣體送回該製程設備1。

綜上所述，本新型超潔淨控風系統，藉由該過濾單元5設置於該抽風設備2、該回風單元3及該送風單元4之其中至少一者的該化學濾網51，能去除該氣體中的化學物質，可有效改善該氣體的潔淨度，維護設備效能，延長使用壽命，並提高生產品質，故確實能達成本新型之目的。

惟以上所述者，僅為本新型之實施例而已，當不能以此限定本新型實施之範圍，凡是依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。

1:製程設備 11:進氣部 111:風機過濾機組 12:排氣部 2:抽風設備 21:風道 211:入風口 212:出風口 22:風機 23:除濕模組 24:加濕模組 25:設備本體 3:回風單元 31:抽風罩 32:回風管 4:送風單元 41:供氣模組 42:送風管 5:過濾單元 51:化學濾網 52:微塵濾網

本新型之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中： 圖1是本新型超潔淨控風系統的一實施例的一局部剖視示意圖。

1:製程設備

11:進氣部

111:風機過濾機組

12:排氣部

2:抽風設備

21:風道

211:入風口

212:出風口

22:風機

23:除濕模組

24:加濕模組

25:設備本體

3:回風單元

31:抽風罩

32:回風管

4:送風單元

41:供氣模組

42:送風管

5:過濾單元

51:化學濾網

52:微塵濾網

Claims (7)

1. 一種超潔淨控風系統，包含： 一製程設備，包括一供一氣體進入的進氣部，及一供該氣體排出的排氣部； 一抽風設備，包括一具有一入風口與一出風口的風道，及一設置於該風道且可驅使該氣體從該入風口吹向該出風口的風機； 一回風單元，連接於該排氣部與該入風口之間，且供該氣體由該排氣部流回該入風口； 一送風單元，連接於該出風口與該進氣部之間，且供該氣體由該出風口送入該進氣部；及 一過濾單元，包括至少一設置於該抽風設備、該回風單元及該送風單元之其中至少一者的化學濾網，該至少一化學濾網可用於過濾該氣體中之酸、鹼、有機物的其中至少一種物質。
2. 如請求項1所述的超潔淨控風系統，其中，該回風單元包括一設置於該製程設備之該排氣部的抽風罩，及一連接於該抽風罩與該入風口之間的回風管，該至少一化學濾網設置在該抽風罩或該回風管中。
3. 如請求項1或2所述的超潔淨控風系統，其中，該送風單元包括一設置於該製程設備之該進氣部的供氣模組，及一連接於該出風口與該供氣模組之間的送風管，該至少一化學濾網設置在該供氣模組或該送風管中。
4. 如請求項1所述的超潔淨控風系統，其中，該至少一化學濾網設置在該抽風設備之該入風口。
5. 如請求項1或4所述的超潔淨控風系統，其中，該至少一化學濾網設置在該抽風設備之該出風口。
6. 如請求項1或4所述的超潔淨控風系統，其中，該過濾單元還包括一設置於該入風口外側的微塵濾網，該微塵濾網可用於過濾該氣體中之微塵顆粒。
7. 如請求項1所述的超潔淨控風系統，其中，該抽風設備還包括能用於調節該風道內之該氣體濕度的一除濕模組及一加濕模組。

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