CN217766212U - 自动进样设备 - Google Patents
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 56
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 45
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 109
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 61
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 16
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 12
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004255 ion exchange chromatography Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种自动进样设备，包括：防尘罩，防尘罩限定出检测空间，防尘罩具有与检测空间连通的进气口和出气口；载台，载台设于防尘罩内，载台设有样品台，样品台与载台可转动相连，样品台用于放置样品瓶，样品瓶包括瓶身和样品盖，瓶身的顶部具有敞开口，样品盖盖设于敞开口处；控制模块、开盖模块和取样模块，控制模块分别与开盖模块和取样模块通讯相连，开盖模块和取样模块位于检测空间内，开盖模块具有真空吸嘴，真空吸嘴适于将样品盖吸住移走，取样模块被构造成在真空吸嘴将样品盖吸住移走后，抽取瓶身内的待测样品。根据本实用新型的自动进样设备，可有效避免在进样过程中引入污染，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片金属杂质检测技术领域，尤其是涉及一种自动进样设备。
背景技术
随着先进制程不断发展，器件关键尺寸越来越小，从65nm到现在7nm、5nm、3nm，对于制造工艺要求越来越高，对于微污染的控制越来越严格，因此对于微污染检测的准确性和检测限要求也越来越高。其中，微污染主要包含：金属污染、颗粒污染和AMC(AirborneMolecular Contamination，分子级污染)等。
针对于微污染检测，主要用到ICP-MS(inductively coupled plasma massspectrometry， ICP-MS，电感耦合等离子质谱仪)检测金属污染物含量，IC(ionchromatography，离子色谱)检测离子浓度和GC-MS(gas chromatograph-massspectrometer，气相色谱-质谱联用仪)检测空气中TVOC(Total Volatile OrganicCompounds，总挥发性有机化合物)含量等。
相关技术中，为避免人为污染，检测仪器均选择使用自动进样器进样，目前自动进样器的步骤，首先手动将样品放置于样品台，取下样品盖，然后将防尘罩罩设样品，编辑软件测试，最后自动进样管插入样品中进样测试。在手动取下样品盖的过程中样品暴露在空气中，以及在进样过程中被测样品暴露于空气中，以上过程均存在样品污染的可能性，影响检测结果的准确性和稳定性。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种自动进样设备，可有效避免在进样过程中引入污染，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。
根据本实用新型实施例的自动进样设备，包括：防尘罩，所述防尘罩限定出检测空间，所述防尘罩具有与所述检测空间连通的进气口和出气口，所述进气口处设有过滤模块，所述过滤模块用于净化所述防尘罩内的空气；载台，所述载台设于所述防尘罩内，所述载台设有样品台，所述样品台与所述载台可转动相连，所述样品台用于放置样品瓶，所述样品瓶包括瓶身和样品盖，所述瓶身的顶部具有敞开口，所述样品盖盖设于所述敞开口处；控制模块、开盖模块和取样模块，所述控制模块分别与所述开盖模块和所述取样模块通讯相连，所述开盖模块和所述取样模块设于所述载台且位于所述检测空间内，所述开盖模块具有真空吸嘴，所述真空吸嘴适于将所述样品盖吸住移走，所述取样模块被构造成在所述真空吸嘴将所述样品盖吸住移走后，抽取所述瓶身内的待测样品。
根据本实用新型实施例的自动进样设备，通过将开盖模块和取样模块设置在检测空间内，当样品瓶放入样品台后，控制模块可以控制开盖模块的真空吸嘴移动到目标样品瓶的上方以将样品盖吸住移走，然后控制取样模块抽取瓶身内的待测样品，在取样完成后，开盖模块的真空吸嘴带动样品盖再次移回到该瓶身的上方并破真空以盖上样品盖，由此，可以在检测空间内实现对样品瓶开盖以及抽取样品瓶内的待测样品，避免了传统的手工开盖以及盖上防尘罩的步骤，可有效避免在进样过程中引入污染，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。
在本实用新型的一些实施例中，所述瓶身的敞开口处设有环形凸起，所述样品盖的底部具有环形翻边，所述环形翻边的内周壁与所述环形凸起的外周壁卡接配合。
在本实用新型的一些实施例中，所述防尘罩的侧壁设有适于所述样品瓶穿过的开口，所述开口处设有用于打开或关闭所述开口的开关门。
在本实用新型的一些实施例中，所述开盖模块还包括第一直线伸缩元件、第一转动驱动元件和真空发生器，所述第一直线伸缩元件设于所述载台，所述第一直线伸缩元件与所述第一转动驱动元件相连以带动所述第一转动驱动元件上下移动，所述第一转动驱动元件与所述真空发生器的一端相连，所述真空发生器的另一端与所述真空吸嘴相连，所述真空吸嘴的直径为所述样品盖的直径的0.4-0.6倍。
在本实用新型的一些实施例中，所述取样模块包括：第二直线伸缩元件、第二转动驱动元件、转动架和进样管，所述第二直线伸缩元件设于所述载台且与所述第一直线伸缩元件间隔开，所述第二直线伸缩元件与所述第二转动驱动元件相连以带动所述第二转动驱动元件上下移动，所述转动架的一端与所述第二转动驱动元件的相连，所述转动架的另一端朝向靠近所述样品台的方向水平延伸，所述进样管与所述转动架的另一端相连，所述进样管的进口端向下延伸，所述进样管的出口端与检测设备相连。
在本实用新型的一些实施例中，所述防尘罩设有避让孔，所述检测设备设于所述防尘罩的外侧，所述进样管的出口端穿过所述避让孔与所述检测设备相连。
在本实用新型的一些实施例中，所述载台的顶面设有第一存液槽和第二存液槽，所述第一存液槽和所述第二存液槽间隔开排布且位于所述进样管的进口端的转动轨迹上，所述第一存液槽用于盛放超纯水，所述第二存液槽用于存放进样管清洗液。
在本实用新型的一些实施例中，所述第一存液槽的侧壁设有第一进液口，所述第一进液口通过第一管道与超纯水源连通，所述第一管道设有第一开关阀；所述第一存液槽的底壁设有第一排液口，所述第一排液口通过第二管道与废液池连通，所述第二管道设有第二开关阀。
在本实用新型的一些实施例中，所述第二存液槽的侧壁设有第二进液口，所述第二进液口通过第三管道与进样管清洗液液源连通，所述第三管道设有第三开关阀；所述第二存液槽的底壁设有第二排液口，所述第二排液口通过第四管道与废液池连通，所述第四管道设有第四开关阀。
在本实用新型的一些实施例中，所述载台的顶面还设于第三存液槽，所述第三存液槽与所述第一存液槽和所述第二存液槽间隔开排布且位于所述进样管的进口端的转动轨迹上，所述第三存液槽用于存放待测样品，所述第三存液槽的容量为10mL-30mL。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
图1是根据本实用新型一个实施例的自动进样设备和检测设备的主视示意图，图中箭头方向为气流流动方向；
图2是图1中A处的放大示意图；
图3是根据本实用新型一个实施例的样品瓶的结构示意图；
图4是根据本实用新型一个实施例自动进样设备的内部结构的俯视示意图；
图5是根据本实用新型一个实施例的第一存液槽、第一管道、第一开关阀、第二管道、第二开关阀、第二存液槽、第三管道、第三开关阀、第四管道和第四开关阀的连接示意图。
附图标记：
自动进样设备100；
防尘罩10；检测空间11；进气口12；出气口13；过滤模块14；风机141；过滤件142；开口15；开关门16；避让孔17；
载台20；样品台21；第一瓶槽211；第二瓶槽212；冲孔板213；
第一存液槽22；第一进液口221；第一管道222；第一开关阀223；第一排液口224；第二管道225；第二开关阀226；
第二存液槽23；第二进液口231；第三管道232；第三开关阀233；第二排液口234；第四管道235；第四开关阀236；
第三存液槽24；伺服电机25；
开盖模块30；第一直线伸缩元件31；第一转动驱动元件32；真空发生器33；真空吸嘴34；
取样模块40；第二直线伸缩元件41；第二转动驱动元件42；转动架43；进样管44；进口端441；出口端442；
样品瓶200；瓶身201；环形凸起2011；样品盖202；环形翻边2021；
检测设备300。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。
下面参考图1-图5描述根据本实用新型实施例的自动进样设备100。
参照图1所示，根据本实用新型实施例的自动进样设备100，可以包括：防尘罩10、载台20、控制模块(图未示出)、开盖模块30和取样模块40。
参照图1所示，防尘罩10限定出检测空间11，防尘罩10具有与检测空间11连通的进气口12和出气口13，进气口12处设有过滤模块14，过滤模块14用于净化防尘罩10内的空气。例如，如图1所示，进气口12设于防尘罩10的顶壁，过滤模块14包括风机141和过滤件142，过滤件142设于进气口12处，风机141与防尘罩10相连且与过滤件142相对设置，风机141用于驱动外界空气通过过滤件142流入检测空间11内，出气口13设于防尘罩10的侧壁，经过滤件142过滤后的空气最后通过出气口13排出。可选地，过滤件 142可以为HEPA(Highefficiency particulate air Filter，高效过滤网)，其中，达到HEPA标准的高效过滤网，对于0.1微米-0.3微米的微粒有效率达到99.7％。
可以理解的是，在风机141运行的作用下，外部空气可以通过过滤件142与检测空间 11内的空气强制对流，过滤件142对流经其的空气具有过滤净化的作用，从而有利于提高检测空间11内的空气洁净度，减少检测空间11内的微污染含量。
参照图1所示，载台20设于防尘罩10内，载台20设有样品台21，样品台21与载台 20可转动相连，样品台21用于放置样品瓶200，参照图3所示，样品瓶200包括瓶身201 和样品盖202，瓶身201的顶部具有敞开口，样品盖202盖设于敞开口处。
可选地，结合图1和图4所示，载台20内还设有伺服电机25，伺服电机25的输出端与样品台21相连以带动样品台21转动，样品台21设有第一瓶槽组和第二瓶槽组，第一瓶槽组环绕第二瓶槽组设置，第一瓶槽组包括多个第一瓶槽211(参照图4)，多个第一瓶槽 211在样品台21的周向上间隔开排布，第一瓶槽211用于放置容量为1ml-2ml的样品瓶200，第二瓶槽组包括多个第二瓶槽212(参照图4)，多个第二瓶槽212在样品台21的周向上间隔开排布，第二瓶槽212用于放置容量为3ml-4mL的样品瓶200。
可选地，结合图1和图4所示，样品台21的底部还设有冲孔板213，冲孔板213水平设置，冲孔板213上设有多个在上下方向上贯穿其的通孔，由此有利于保证样品台21下方的空气流通，有利于进一步减少检测空间11内的微污染含量。
参照图1和图2所示，控制模块分别与开盖模块30和取样模块40通讯相连，开盖模块30和取样模块40设于载台20且位于检测空间11内，开盖模块30具有真空吸嘴34，真空吸嘴34适于将样品盖202吸住移走，取样模块40被构造成在真空吸嘴34将样品盖 202吸住移走后，抽取瓶身201内的待测样品。
可以理解的是，通过将开盖模块30和取样模块40设置在检测空间11内，当样品瓶200 放入样品台21后，控制模块可以控制开盖模块30的真空吸嘴34移动到目标样品瓶200的上方以将样品盖202吸住移走，然后控制取样模块40抽取瓶身201内的待测样品，在取样完成后，开盖模块30的真空吸嘴34带动样品盖202再次移回到该瓶身201的上方并破真空以盖上样品盖202，接着样品台21可转动至下一目标位置，开盖模块30和取样模块40 继续上述配合以对下一个目标样品瓶200进行取样，由此，可以在检测空间11内可实现对样品瓶200开盖以及抽取样品瓶200内的待测样品，避免了传统的手工开盖以及盖上防尘罩的步骤，可有效避免在进样过程中引入污染，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。
在本实用新型的一些实施例中，参照图3所示，瓶身201的敞开口处设有环形凸起2011，样品盖202的底部具有环形翻边2021，环形翻边2021的内周壁与环形凸起2011的外周壁卡接配合。可以理解的是，通过使得环形翻边2021的内周壁与环形凸起2011的外周壁卡接配合，便于真空吸嘴34打开以及关闭样品盖202，操作方便，可靠性强。
在本实用新型的一些实施例中，参照图1所示，防尘罩10的侧壁设有适于样品瓶200 穿过的开口15，开口15处设有用于打开或关闭开口15的开关门16。可以理解的是，通过设置用于打开或关闭开口15的开关门16，一方面开关门16可以打开开口15，从而便于取放样品瓶200，有利于提高对样品的检测效率，另一方面开关门16可以关闭开口15，从而可以保证在检测时检测空间11与外部环境的隔离效果，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。
在本实用新型的一些实施例中，参照图1-图2所示，开盖模块30还包括第一直线伸缩元件31、第一转动驱动元件32和真空发生器33，第一直线伸缩元件31设于载台20，第一直线伸缩元件31与第一转动驱动元件32相连以带动第一转动驱动元件32上下移动，第一转动驱动元件32与真空发生器33的一端相连，真空发生器33的另一端与真空吸嘴34 相连，真空吸嘴34的直径为样品盖202的直径的0.4-0.6倍。例如，第一直线伸缩元件31 可以为气缸或电机丝杠组合结构，第一转动驱动元件32为电机以驱动真空发生器33绕第一转动驱动元件32的中心轴线转动，真空吸嘴34的直径可以为样品盖202的直径的0.4 倍、0.45倍、0.5倍、0.55倍或0.6倍等。
可以理解的是，当样品瓶200放入样品台21后，第一直线伸缩元件31伸长以带动第一转动驱动元件32和真空发生器33整体向上移动，接着第一转动驱动元件32控制真空发生器33的真空吸嘴34转动到目标样品瓶200的上方，然后第一直线伸缩元件31收缩以带动真空吸嘴34向下移动以接近样品盖202的上表面，真空发生器33抽真空以将样品盖202 吸起，最后第一转动驱动元件32控制真空发生器33转动以将样品盖202移走，从而完成了开盖模块30将样品盖202吸住移走的动作，工作的可靠性高，有利于减少安全隐患，同时，通过使得真空吸嘴34的直径为样品盖202的直径的0.4-0.6倍，有利于保证真空吸嘴 34将样品盖202可靠吸起和放下，从而可以进一步保证开盖模块30工作的可靠性。
在本实用新型的一些可选的实施例中，参照图1和图2所示，取样模块40包括：第二直线伸缩元件41、第二转动驱动元件42、转动架43和进样管44，第二直线伸缩元件41 设于载台20且与第一直线伸缩元件31间隔开，例如，参照图1所示，第二直线伸缩元件 41与第一直线伸缩元件31在左右方向上间隔开，第二直线伸缩元件41与第二转动驱动元件42相连以带动第二转动驱动元件42上下移动，转动架43的一端与第二转动驱动元件 42的相连，转动架43的另一端朝向靠近样品台21的方向水平延伸，进样管44与转动架 43的另一端相连，进样管44的进口端441向下延伸，进样管44的出口端442与检测设备 300相连。例如，检测设备300可以为电感耦合等离子质谱仪，电感耦合等离子质谱仪与控制模块通讯相连，检测设备300用于检测样品的金属杂质含量。由此，取样模块40不仅可以驱动进样管44的进口端441相对样品瓶200上下移动，还可以驱动进样管44的进口端441相对样品瓶200转动，从而取样方便，且有利于减少安全隐患。
在本实用新型的一些可选的实施例中，参照图1所示，防尘罩10设有避让孔17，检测设备300设于防尘罩10的外侧，进样管44的出口端442穿过避让孔17与检测设备300 相连。例如，检测人员可在检测设备300选择样品瓶200对应的编号，检测人员可点击样品编号进行采集，操作方便。由此，通过将检测设备300设置在防尘罩10外，有利于减小防尘罩10的体积，从降低自动进样设备100的生产成本，同时，用户可在防尘罩10的外部操作检测设备300，便于操作。
在本实用新型的一些可选的实施例中，参照图4所示，载台20的顶面设有第一存液槽 22和第二存液槽23，第一存液槽22和第二存液槽23间隔开排布且位于进样管44的进口端441的转动轨迹上，第一存液槽22用于盛放超纯水，第二存液槽23用于存放进样管清洗液。例如，进样管清洗液可以为硝酸与双氧水混合的稀释液、氢氟酸稀释液等，在取样前，首先让进样管44的进口端441吸入第一存液槽22内的超纯水以清洗10S左右，清洗完成后后控制转动架43转动以使得进样管44的进口端441转动到第二存液槽23的上方，接着第二直线伸缩元件41控制进样管44的进口端441向下移动以吸取进样管清洗液以清洗15S左右，在进样管44完成以上清洗步骤后再利用开盖模块30打开样品盖202以进行取样。由此，在取样前，可以实现对进样管44的清洗，有利于避免进样管44上一次采集的样品对下一次采集造成影响，有利于进一步提高采集的准确性和稳定性。
在本实用新型的一些可选的实施例中，参照图4和图5所示，第一存液槽22的侧壁设有第一进液口221，第一进液口221通过第一管道222与超纯水源连通，第一管道222设有第一开关阀223；第一存液槽22的底壁设有第一排液口224，第一排液口224通过第二管道225与废液池连通，第二管道225设有第二开关阀226。可以理解的是，通过设置第一开关阀223和第二开关阀226，检测人员可通过控制第一开关阀223以及第二开关阀226 的通断，更换第一存液槽22内的超纯水，可避免人工加水和排水，有利于进一步减少污染的引入。
在本实用新型的一些可选的实施例中，参照图4和图5所示，第二存液槽23的侧壁设有第二进液口231，第二进液口231通过第三管道232与进样管清洗液液源连通，第三管道232设有第三开关阀233；第二存液槽23的底壁设有第二排液口234，第二排液口234 通过第四管道235与废液池连通，第四管道235设有第四开关阀236。可以理解的是，通过设置第三开关阀233和第四开关阀236，检测人员可通过控制第三开关阀233以及第四开关阀236的通断，更换第二存液槽23内的进样管清洗液，可避免人工加入以及排出进样管清洗液，有利于进一步减少污染的引入。
在本实用新型的一些可选的实施例中，参照图4所示，载台20的顶面还设于第三存液槽24，第三存液槽24与第一存液槽22和第二存液槽23间隔开排布且位于进样管的进口端441的转动轨迹上，第三存液槽24用于存放待测样品,第三存液槽24的容量为 10mL-30mL。例如，第三存液槽24的容量可以为10mL、15mL、20mL、25mL、28mL、 30mL等。可以理解的是，通过设置容量为10mL-30mL的第三存液槽24，第三存液槽24 可以用于存放大容量的样品，由此可满足对大容量的样品的检测需要。
在本实用新型的一个具体示例中，参照图1-图5所示，对样品金属杂质含量的检测可以包括如下步骤：
S1：取样，将待测样品倒入样品瓶200中，盖好样品盖202；
S2：打开自动进样设备100的开关门16，将样品瓶200放置于的样品台21的对应位置，关上开关门16；
S3：在检测设备300选择样品瓶200对应位置的编号，点击对应编号进行样品采集；
S4：在采样前，首先对进样管44进行清洗，先将进样管44的进口端441插入第一存液槽22吸入超纯水清洗10s左右，然后再转动至第二存液槽23通入进样管清洗液清洗15s左右；
S5：对进样管44清洗后，开盖模块30的真空吸嘴34到达待测样品瓶200上方将样品盖202吸住移走，进样管44的进口端441由第二存液槽23移至该待测样品瓶200 处进行进样；
S6：样品通入检测设备300后，检测设备300开始分析样品，进样管44移至第一存液槽22的超纯水中，真空吸嘴34移至待测样品瓶200的上方破真空，将样品盖202 盖至瓶身201，回归原位；
S7：数据分析，检测样品的金属杂质含量。
有鉴于此，根据本实用新型实施例的自动进样设备100，可以在检测空间11内可实现对样品瓶200开盖以及抽取样品瓶200内的待测样品，避免了传统的手工开盖以及盖上防尘罩10的步骤，可有效避免在进样过程中引入污染，有利于提高检测结果的准确性和稳定性。
根据本实用新型实施例的自动进样设备100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种自动进样设备，其特征在于，包括：
防尘罩，所述防尘罩限定出检测空间，所述防尘罩具有与所述检测空间连通的进气口和出气口，所述进气口处设有过滤模块，所述过滤模块用于净化所述防尘罩内的空气；
载台，所述载台设于所述防尘罩内，所述载台设有样品台，所述样品台与所述载台可转动相连，所述样品台用于放置样品瓶，所述样品瓶包括瓶身和样品盖，所述瓶身的顶部具有敞开口，所述样品盖盖设于所述敞开口处；
控制模块、开盖模块和取样模块，所述控制模块分别与所述开盖模块和所述取样模块通讯相连，所述开盖模块和所述取样模块设于所述载台且位于所述检测空间内，所述开盖模块具有真空吸嘴，所述真空吸嘴适于将所述样品盖吸住移走，所述取样模块被构造成在所述真空吸嘴将所述样品盖吸住移走后，抽取所述瓶身内的待测样品。
2.根据权利要求1所述的自动进样设备，其特征在于，所述瓶身的敞开口处设有环形凸起，所述样品盖的底部具有环形翻边，所述环形翻边的内周壁与所述环形凸起的外周壁卡接配合。
3.根据权利要求1所述的自动进样设备，其特征在于，所述防尘罩的侧壁设有适于所述样品瓶穿过的开口，所述开口处设有用于打开或关闭所述开口的开关门。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的自动进样设备，其特征在于，所述开盖模块还包括第一直线伸缩元件、第一转动驱动元件和真空发生器，所述第一直线伸缩元件设于所述载台，所述第一直线伸缩元件与所述第一转动驱动元件相连以带动所述第一转动驱动元件上下移动，所述第一转动驱动元件与所述真空发生器的一端相连，所述真空发生器的另一端与所述真空吸嘴相连，所述真空吸嘴的直径为所述样品盖的直径的0.4-0.6倍。
5.根据权利要求4所述的自动进样设备，其特征在于，所述取样模块包括：第二直线伸缩元件、第二转动驱动元件、转动架和进样管，所述第二直线伸缩元件设于所述载台且与所述第一直线伸缩元件间隔开，所述第二直线伸缩元件与所述第二转动驱动元件相连以带动所述第二转动驱动元件上下移动，所述转动架的一端与所述第二转动驱动元件的相连，所述转动架的另一端朝向靠近所述样品台的方向水平延伸，所述进样管与所述转动架的另一端相连，所述进样管的进口端向下延伸，所述进样管的出口端与检测设备相连。
6.根据权利要求5所述的自动进样设备，其特征在于，所述防尘罩设有避让孔，所述检测设备设于所述防尘罩的外侧，所述进样管的出口端穿过所述避让孔与所述检测设备相连。
7.根据权利要求5所述的自动进样设备，其特征在于，所述载台的顶面设有第一存液槽和第二存液槽，所述第一存液槽和所述第二存液槽间隔开排布且位于所述进样管的进口端的转动轨迹上，所述第一存液槽用于盛放超纯水，所述第二存液槽用于存放进样管清洗液。
8.根据权利要求7所述的自动进样设备，其特征在于，所述第一存液槽的侧壁设有第一进液口，所述第一进液口通过第一管道与超纯水源连通，所述第一管道设有第一开关阀；所述第一存液槽的底壁设有第一排液口，所述第一排液口通过第二管道与废液池连通，所述第二管道设有第二开关阀。
9.根据权利要求7所述的自动进样设备，其特征在于，所述第二存液槽的侧壁设有第二进液口，所述第二进液口通过第三管道与进样管清洗液液源连通，所述第三管道设有第三开关阀；所述第二存液槽的底壁设有第二排液口，所述第二排液口通过第四管道与废液池连通，所述第四管道设有第四开关阀。
10.根据权利要求7所述的自动进样设备，其特征在于，所述载台的顶面还设于第三存液槽，所述第三存液槽与所述第一存液槽和所述第二存液槽间隔开排布且位于所述进样管的进口端的转动轨迹上，所述第三存液槽用于存放待测样品，所述第三存液槽的容量为10mL-30mL。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221113215.0U CN217766212U (zh) | 2022-05-10 | 2022-05-10 | 自动进样设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202221113215.0U CN217766212U (zh) | 2022-05-10 | 2022-05-10 | 自动进样设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN217766212U true CN217766212U (zh) | 2022-11-08 |
Family
ID=83883213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221113215.0U Active CN217766212U (zh) | 2022-05-10 | 2022-05-10 | 自动进样设备 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN217766212U (zh) |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN117491358A (zh) * | 2024-01-03 | 2024-02-02 | 四川省中医药科学院 | 一种基于显微观测的中药材鉴定装置及鉴定方法 |
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| CN117491358B (zh) * | 2024-01-03 | 2024-03-22 | 四川省中医药科学院 | 一种基于显微观测的中药材鉴定装置及鉴定方法 |
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