CN217757745U

CN217757745U - 一种单晶炉摇臂

Info

Publication number: CN217757745U
Application number: CN202222013468.7U
Authority: CN
Inventors: 周云龙; 吴凌锋
Original assignee: Zhejiang Jingtai Semiconductor Co ltd
Current assignee: Zhejiang Jingtai Semiconductor Co ltd
Priority date: 2022-08-02
Filing date: 2022-08-02
Publication date: 2022-11-08
Anticipated expiration: 2032-08-02

Abstract

本实用新型涉及一种单晶炉摇臂。本实用新型要解决的技术问题是提供一种操作方便、安全性高的单晶炉摇臂。本实用新型采用的技术方案:包括总支架、提升装置、旋转装置、摇臂、抓合装置,所述抓合装置包括手操作杠杆装置、联动盘组件和抓合爪组件、联动杆组件、中接杆；所述联动盘组件包括联动盘、转动件、销钉，所述联动杆组件包括联动圆杆、上导向座和下导向座，所述联动盘上设有联动杆定位座，所述联动圆杆下端通过所述销钉与所述联动杆定位座连接。本实用新型的优点在于：三个吊抓爪能进行一体联动，动作一致性高也更方便操作；采用电机通过同步带轮进行摇臂旋转，提高了设备操作的方便性和稳定性。

Description

一种单晶炉摇臂

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉摇臂。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨坩埚将多晶硅等多晶材料熔化用直拉法生长无错位单晶的设备。一般在生产过程中需要通过单晶炉摇臂对单晶炉料筒等设备进行定位固定、提拉、旋转调整位置等操作，而现有的单晶炉摇臂的吊抓爪一般为三个，通过手动操作使其抓合，不能进行联动抓合，操作不便且定位一致性差，另外原来的摇臂旋转均采用人为用手操作，需要较大的力气，而传统的提升方式是采用油缸提升，当油压不稳定时容易出现下滑现象，存在安全隐患。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型要解决的技术问题是提供一种操作方便、安全性高的单晶炉摇臂。

本实用新型单晶炉摇臂采用的技术方案: 包括总支架、设在所述总支架上的提升装置、设在所述提升装置上的旋转装置、设在所述旋转装置上的摇臂、设在所述摇臂上的抓合装置,其特征在于所述抓合装置包括手操作杠杆装置、设在所述摇臂下方的联动盘组件和抓合爪组件、穿设在所述摇臂上且上端与所述手操作杠杆装置连接、下端与所述联动盘组件连接的联动杆组件、中接杆；

所述联动盘组件包括联动盘、绕所述联动盘间隔设置的转动件、销钉，所述联动杆组件包括联动圆杆、套设在所述联动圆杆上的上导向座和下导向座，所述联动盘上设有联动杆定位座，所述联动圆杆下端通过所述销钉与所述联动杆定位座连接，所述转动件包括转动连接头、可转动地嵌在所述转动连接头内的滚珠、螺栓，所述滚珠上设有滚珠安装孔，所述螺栓穿过所述滚珠安装孔将所述转动连接头固定在所述联动盘上；

所述抓合爪组件包括固定在所述摇臂下方的抓合爪安装座和可翻转地设在所述抓合爪安装座上的抓合爪，所述中接杆一端与所述转动连接头连接、另一端与所述抓合爪连接。

所述联动圆杆上下端设有圆杆方形部，所述联动杆定位座内设有与所述圆杆方形部相对应的定位座方形口。

所述旋转装置包括旋转杆、套设在所述旋转杆上且固定在所述提升装置上的第一提升装置连接座和第二提升装置连接座、套设在所述旋转杆上且固定在所述摇臂上的摇臂连接座、固定在所述旋转杆下端的旋转传动轮、设在所述摇臂上的调节装置、设在所述调节装置上的旋转电机、设在所述旋转电机输出端的旋转输出轮、套设在所述旋转传动轮和所述旋转输出轮上的皮带。

所述提升装置包括提升电机、与所述提升电机连接的丝杆减速机、设在所述丝杆减速机上的第一安装板、设在所述丝杆减速机两侧的导轨、第二安装板、设在所述第一安装板与所述导轨之间以及所述第二安装板与所述导轨之间的滑块，所述第一安装板和所述第二安装板通过安装板连接件连接；所述第一提升装置连接座固定在所述第一安装板上，所述第二提升装置连接座固定在所述第二安装板上。

本实用新型单晶炉摇臂的优点在于：三个吊抓爪能进行一体联动，动作一致性高也更方便操作；采用电机通过同步带轮进行摇臂旋转，提高了设备操作的方便性和稳定性；采用电机替代油缸方式进行提升操作，即使电机停止工作，丝杆的螺纹也会锁死，不会使摇臂下滑，提高了安全性。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型单晶炉摇臂的结构示意图；

图2是本实用新型抓合装置的结构示意图；

图3是本实用新型联动盘组件的结构示意图；

图4是本实用新型转动件的分解图；

图5是本实用新型联动杆组件的结构示意图；

图6是本实用新型抓合爪组件的结构示意图；

图7是本实用新型旋转装置的结构示意图；

图8是本实用新型提升装置的结构示意图。

具体实施方式

如图1-8所示，本实用新型涉及的单晶炉摇臂，包括总支架1、设在所述总支架1上的提升装置2、设在所述提升装置2上的旋转装置3、设在所述旋转装置3上的摇臂4、设在所述摇臂4上的抓合装置5,所述抓合装置5包括手操作杠杆装置10、设在所述摇臂4下方的联动盘组件12和抓合爪组件13、穿设在所述摇臂4上且上端与所述手操作杠杆装置10连接、下端与所述联动盘组件12连接的联动杆组件11、中接杆14；所述联动盘组件12包括联动盘16、绕所述联动盘16间隔设置的转动件17、销钉18，所述联动杆组件11包括联动圆杆28、套设在所述联动圆杆28上的上导向座29和下导向座30，所述联动盘16上设有联动杆定位座20，所述联动圆杆28下端通过所述销钉18与所述联动杆定位座20连接，所述转动件17包括转动连接头23、可转动地嵌在所述转动连接头23内的滚珠24、螺栓25，所述滚珠24上设有滚珠安装孔26，所述螺栓25穿过所述滚珠安装孔26将所述转动连接头23固定在所述联动盘16上；所述抓合爪组件13包括固定在所述摇臂4下方的抓合爪安装座31和可翻转地设在所述抓合爪安装座31上的抓合爪32，所述中接杆14一端与所述转动连接头23连接、另一端与所述抓合爪32连接，三个吊抓爪能进行一体联动，动作一致性高也更方便操作。

所述联动圆杆28上下端设有圆杆方形部34，所述联动杆定位座20内设有与所述圆杆方形部34相对应的定位座方形口35，定位准确、防止打滑。

所述旋转装置3包括旋转杆37、套设在所述旋转杆37上且固定在所述提升装置2上的第一提升装置连接座38和第二提升装置连接座39、套设在所述旋转杆37上且固定在所述摇臂4上的摇臂连接座40、固定在所述旋转杆37下端的旋转传动轮41、设在所述摇臂4上的调节装置42、设在所述调节装置42上的旋转电机43、设在所述旋转电机43输出端的旋转输出轮44、套设在所述旋转传动轮41和所述旋转输出轮44上的皮带45，采用电机通过同步带轮进行摇臂旋转，提高了设备操作的方便性和稳定性。

所述提升装置2包括提升电机47、与所述提升电机47连接的丝杆减速机48、设在所述丝杆减速机48上的第一安装板49、设在所述丝杆减速机48（丝杆减速机为一种机械常规设备，可在市面上买到，广泛运用于自动化设备上，此处不做赘述）两侧的导轨52、第二安装板50、设在所述第一安装板49与所述导轨52之间以及所述第二安装板50与所述导轨52之间的滑块53，所述第一安装板49和所述第二安装板50通过安装板连接件51连接；所述第一提升装置连接座38固定在所述第一安装板49上，所述第二提升装置连接座39固定在所述第二安装板50上，采用电机替代油缸方式进行提升操作，即使电机停止工作，丝杆的螺纹也会锁死，不会使摇臂下滑，提高了安全性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种单晶炉摇臂，包括总支架（1）、设在所述总支架（1）上的提升装置（2）、设在所述提升装置（2）上的旋转装置（3）、设在所述旋转装置（3）上的摇臂（4）、设在所述摇臂（4）上的抓合装置（5）,其特征在于：所述抓合装置（5）包括手操作杠杆装置（10）、设在所述摇臂（4）下方的联动盘组件（12）和抓合爪组件（13）、穿设在所述摇臂（4）上且上端与所述手操作杠杆装置（10）连接、下端与所述联动盘组件（12）连接的联动杆组件（11）、中接杆（14）；

所述联动盘组件（12）包括联动盘（16）、绕所述联动盘（16）间隔设置的转动件（17）、销钉（18），所述联动杆组件（11）包括联动圆杆（28）、套设在所述联动圆杆（28）上的上导向座（29）和下导向座（30），所述联动盘（16）上设有联动杆定位座（20），所述联动圆杆（28）下端通过所述销钉（18）与所述联动杆定位座（20）连接，所述转动件（17）包括转动连接头（23）、可转动地嵌在所述转动连接头（23）内的滚珠（24）、螺栓（25），所述滚珠（24）上设有滚珠安装孔（26），所述螺栓（25）穿过所述滚珠安装孔（26）将所述转动连接头（23）固定在所述联动盘（16）上；

所述抓合爪组件（13）包括固定在所述摇臂（4）下方的抓合爪安装座（31）和可翻转地设在所述抓合爪安装座（31）上的抓合爪（32），所述中接杆（14）一端与所述转动连接头（23）连接、另一端与所述抓合爪（32）连接。

2.根据权利要求1所述的单晶炉摇臂，其特征在于：所述联动圆杆（28）上下端设有圆杆方形部（34），所述联动杆定位座（20）内设有与所述圆杆方形部（34）相对应的定位座方形口（35）。

3.根据权利要求1所述的单晶炉摇臂，其特征在于：所述旋转装置（3）包括旋转杆（37）、套设在所述旋转杆（37）上且固定在所述提升装置（2）上的第一提升装置连接座（38）和第二提升装置连接座（39）、套设在所述旋转杆（37）上且固定在所述摇臂（4）上的摇臂连接座（40）、固定在所述旋转杆（37）下端的旋转传动轮（41）、设在所述摇臂（4）上的调节装置（42）、设在所述调节装置（42）上的旋转电机（43）、设在所述旋转电机（43）输出端的旋转输出轮（44）、套设在所述旋转传动轮（41）和所述旋转输出轮（44）上的皮带（45）。

4.根据权利要求3所述的单晶炉摇臂，其特征在于：所述提升装置（2）包括提升电机（47）、与所述提升电机（47）连接的丝杆减速机（48）、设在所述丝杆减速机（48）上的第一安装板（49）、设在所述丝杆减速机（48）两侧的导轨（52）、第二安装板（50）、设在所述第一安装板（49）与所述导轨（52）之间以及所述第二安装板（50）与所述导轨（52）之间的滑块（53），所述第一安装板（49）和所述第二安装板（50）通过安装板连接件（51）连接；所述第一提升装置连接座（38）固定在所述第一安装板（49）上，所述第二提升装置连接座（39）固定在所述第二安装板（50）上。